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玻璃材料激光加工技术的研究进展
被引量：
16
1
作者
庞继伟
王超
蔡玉奎
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期417-428,共12页
玻璃材料因其优良、独特的理化性能在半导体、微流控芯片、微机电系统、光通讯及光存储等新兴领域有广泛的应用。激光技术作为一种新型非接触加工方法,可以对玻璃材料表面或其内部进行高精度、高效率的微加工,在玻璃材料加工领域展现出...
玻璃材料因其优良、独特的理化性能在半导体、微流控芯片、微机电系统、光通讯及光存储等新兴领域有广泛的应用。激光技术作为一种新型非接触加工方法,可以对玻璃材料表面或其内部进行高精度、高效率的微加工,在玻璃材料加工领域展现出巨大潜力。归纳了激光刻蚀、激光打孔、激光焊接及激光制备功能结构4种典型的激光加工玻璃工艺的基本原理及关键问题,指出了玻璃材料激光加工的最新研究进展、工艺水平及应用现状,其中激光刻蚀包括了激光直写刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀与激光背部湿法刻蚀;激光打孔包括了远红外CO_(2)激光打孔、超快激光打孔及改进的打孔方法;激光焊接玻璃工艺包括远红外CO_(2)激光焊接、纳秒激光焊接、超快激光焊接,以及激光制备表面和内部3维功能结构。同时总结了4类激光加工玻璃工艺的优缺点,分析了目前的瓶颈问题。在此基础上,对激光加工玻璃材料的发展前景进行总结和展望。
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关键词
激光技术
玻璃材料加工
超快激光
CO2激光
功能结构
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职称材料
题名
玻璃材料激光加工技术的研究进展
被引量：
16
1
作者
庞继伟
王超
蔡玉奎
机构
山东职业学院智能制造学院
山东大学机械工程学院
山东大学深圳研究院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期417-428,共12页
基金
广东省基础与应用基础研究基金资助项目(2019A1515110553)
山东省重点研发计划(软科学)资助项目(2019RZB01084)。
文摘
玻璃材料因其优良、独特的理化性能在半导体、微流控芯片、微机电系统、光通讯及光存储等新兴领域有广泛的应用。激光技术作为一种新型非接触加工方法,可以对玻璃材料表面或其内部进行高精度、高效率的微加工,在玻璃材料加工领域展现出巨大潜力。归纳了激光刻蚀、激光打孔、激光焊接及激光制备功能结构4种典型的激光加工玻璃工艺的基本原理及关键问题,指出了玻璃材料激光加工的最新研究进展、工艺水平及应用现状,其中激光刻蚀包括了激光直写刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀与激光背部湿法刻蚀;激光打孔包括了远红外CO_(2)激光打孔、超快激光打孔及改进的打孔方法;激光焊接玻璃工艺包括远红外CO_(2)激光焊接、纳秒激光焊接、超快激光焊接,以及激光制备表面和内部3维功能结构。同时总结了4类激光加工玻璃工艺的优缺点,分析了目前的瓶颈问题。在此基础上,对激光加工玻璃材料的发展前景进行总结和展望。
关键词
激光技术
玻璃材料加工
超快激光
CO2激光
功能结构
Keywords
laser technique
glass materials machining
ultrafast laser
CO_(2)laser
functional structures
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
玻璃材料激光加工技术的研究进展
庞继伟
王超
蔡玉奎
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2021
16
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