期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
用空间载频法测量玻璃平板的厚度均匀性
被引量：
6
1
作者
蔡怀宇
李宏跃
+1 位作者
朱猛
黄战华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期260-266,共7页
设计了一种基于迈克耳逊干涉光路的相位测量系统,将单臂作为检测端完成了对玻璃平板厚度均匀性的直接测量和分析。该系统由CCD采集干涉图样,利用傅里叶变换条纹分析术和相位解包裹技术提取干涉图中所包含的待测相位信息;对于傅里叶变换...
设计了一种基于迈克耳逊干涉光路的相位测量系统,将单臂作为检测端完成了对玻璃平板厚度均匀性的直接测量和分析。该系统由CCD采集干涉图样,利用傅里叶变换条纹分析术和相位解包裹技术提取干涉图中所包含的待测相位信息;对于傅里叶变换法中频谱旁瓣中心无法准确定位的问题,采用三角变换法去载频,从而不需要准确地得知频谱旁瓣的中心位置就可以计算出相位结果,消除了人为估算和垂轴方向上的微小载频分量给测量结果带来的误差。实验测量了多块玻璃平板的厚度均匀性。测量结果显示:使用像元大小为4.65μm×4.65μm的CCD相机,测量玻璃平板两表面在长度方向和宽度方向上的厚度均匀性的理论精度分别达到0.93%和0.92%,表明本系统基本满足玻璃平板厚度均匀性测量的要求,且对干涉图频谱旁瓣的定位精度和载频的方向精度要求较低。
展开更多
关键词
干涉测量
玻璃平板检测
厚度测量
傅里叶变换法
空间载频
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
用空间载频法测量玻璃平板的厚度均匀性
被引量：
6
1
作者
蔡怀宇
李宏跃
朱猛
黄战华
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室(天津大学)
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期260-266,共7页
基金
高等学校博士点专项科研基金资助项目(No.20110032120059)
文摘
设计了一种基于迈克耳逊干涉光路的相位测量系统,将单臂作为检测端完成了对玻璃平板厚度均匀性的直接测量和分析。该系统由CCD采集干涉图样,利用傅里叶变换条纹分析术和相位解包裹技术提取干涉图中所包含的待测相位信息;对于傅里叶变换法中频谱旁瓣中心无法准确定位的问题,采用三角变换法去载频,从而不需要准确地得知频谱旁瓣的中心位置就可以计算出相位结果,消除了人为估算和垂轴方向上的微小载频分量给测量结果带来的误差。实验测量了多块玻璃平板的厚度均匀性。测量结果显示:使用像元大小为4.65μm×4.65μm的CCD相机,测量玻璃平板两表面在长度方向和宽度方向上的厚度均匀性的理论精度分别达到0.93%和0.92%,表明本系统基本满足玻璃平板厚度均匀性测量的要求,且对干涉图频谱旁瓣的定位精度和载频的方向精度要求较低。
关键词
干涉测量
玻璃平板检测
厚度测量
傅里叶变换法
空间载频
Keywords
interferometry
glass plate detection
thickness measurement
Fourier transform method
spatial carrier
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用空间载频法测量玻璃平板的厚度均匀性
蔡怀宇
李宏跃
朱猛
黄战华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
