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超高速CMOS/SOI51级环振电路的研制
被引量:
2
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作者
奚雪梅
张兴
+2 位作者
倪卫华
阎桂珍
王阳元
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期44-46,共3页
利用CMOS/SOI工艺在 4英寸SIMOX材料上成功制备出沟道长度为 1μm、器件性能良好的CMOS/SOI部分耗尽器件和电路 ,从单管的开关电流比看 ,电路可以实现较高速度性能的同时又可以有效抑制泄漏电流 .所研制的 5 1级CMOS/SOI环振电路表现出...
利用CMOS/SOI工艺在 4英寸SIMOX材料上成功制备出沟道长度为 1μm、器件性能良好的CMOS/SOI部分耗尽器件和电路 ,从单管的开关电流比看 ,电路可以实现较高速度性能的同时又可以有效抑制泄漏电流 .所研制的 5 1级CMOS/SOI环振电路表现出优越的高速度性能 ,5V电源电压下单门延迟时间达到 92ps,同时可工作的电源电压范围较宽 ,说明CMOS/SOI技术在器件尺寸降低后将表现出比体硅更具吸引力的应用前景 .
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关键词
CMOS/SOI
环振电路
集成
电
路
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职称材料
0.8μm PDSOI CMOS器件和环振电路研究
2
作者
毕津顺
海潮和
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期490-493,共4页
研究了0.8μm部分耗尽绝缘体上硅(PDSOI)CMOS器件和电路,开发出成套的0.8μmPDSOI CMOS工艺。经过工艺投片,获得了性能良好的器件和电路。其中,当工作电压为5 V时,基于浮体SOI CMOS技术的0.8μm101级环振单级延时为49.5 ps;基于H型栅体...
研究了0.8μm部分耗尽绝缘体上硅(PDSOI)CMOS器件和电路,开发出成套的0.8μmPDSOI CMOS工艺。经过工艺投片,获得了性能良好的器件和电路。其中,当工作电压为5 V时,基于浮体SOI CMOS技术的0.8μm101级环振单级延时为49.5 ps;基于H型栅体引出SOI CMOS技术的0.8μm101级环振单级延时为158 ps。同时,对PDSOI CMOS器件的特性,如浮体效应、背栅特性、反常亚阈值斜率、击穿特性和输出电导变化等进行了讨论。
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部分耗尽绝缘体上硅
CMOS器件
环振电路
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职称材料
题名
超高速CMOS/SOI51级环振电路的研制
被引量:
2
1
作者
奚雪梅
张兴
倪卫华
阎桂珍
王阳元
机构
北京大学微电子研究所
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期44-46,共3页
文摘
利用CMOS/SOI工艺在 4英寸SIMOX材料上成功制备出沟道长度为 1μm、器件性能良好的CMOS/SOI部分耗尽器件和电路 ,从单管的开关电流比看 ,电路可以实现较高速度性能的同时又可以有效抑制泄漏电流 .所研制的 5 1级CMOS/SOI环振电路表现出优越的高速度性能 ,5V电源电压下单门延迟时间达到 92ps,同时可工作的电源电压范围较宽 ,说明CMOS/SOI技术在器件尺寸降低后将表现出比体硅更具吸引力的应用前景 .
关键词
CMOS/SOI
环振电路
集成
电
路
Keywords
CMOS/SOI
MOSFET
ring oscillator
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
0.8μm PDSOI CMOS器件和环振电路研究
2
作者
毕津顺
海潮和
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期490-493,共4页
文摘
研究了0.8μm部分耗尽绝缘体上硅(PDSOI)CMOS器件和电路,开发出成套的0.8μmPDSOI CMOS工艺。经过工艺投片,获得了性能良好的器件和电路。其中,当工作电压为5 V时,基于浮体SOI CMOS技术的0.8μm101级环振单级延时为49.5 ps;基于H型栅体引出SOI CMOS技术的0.8μm101级环振单级延时为158 ps。同时,对PDSOI CMOS器件的特性,如浮体效应、背栅特性、反常亚阈值斜率、击穿特性和输出电导变化等进行了讨论。
关键词
部分耗尽绝缘体上硅
CMOS器件
环振电路
Keywords
partially depleted silicon-on-insulator
CMOS devices
ring oscillators
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超高速CMOS/SOI51级环振电路的研制
奚雪梅
张兴
倪卫华
阎桂珍
王阳元
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
2
在线阅读
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职称材料
2
0.8μm PDSOI CMOS器件和环振电路研究
毕津顺
海潮和
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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