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大型环抛机蜡盘平面度的测量
被引量：
8
1
作者
王哲
徐学科
+6 位作者
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3048-3053,共6页
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛...
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛机抛光蜡盘平面度测量专用装置。分析了环抛过程中蜡盘表面平面度和工件面型PV值之间的变化规律和相关性,根据测量数据得出了蜡盘平面度数据和工件面形的对应关系。实验显示:当平面度和面形曲线相差较大时,工件面形可快速收敛至1λ左右,并由粗抛向精抛工序快速过渡。提出的大型环抛机抛光蜡盘平面度监测装置实现了对湿滑胶体平面的高精度、快速测量,为环抛的确定性抛光工艺提供了重要的技术支持。
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关键词
环
形
抛
光
大型
环抛机
抛
光蜡盘
平面度测量
在线阅读
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职称材料
超精密环抛机控制系统设计
被引量：
4
2
作者
马进
朱祥龙
+3 位作者
金洙吉
董志刚
李俊卿
高航
《制造技术与机床》
北大核心
2020年第3期39-42,共4页
针对激光晶体材料的高精度和高表面质量加工要求,超精密环抛机采用“工控机—运动控制卡—驱动器—电动机”的总体控制方案。结合研华API通用运动架构,在LabVIEW环境下设计并开发了超精密环抛机控制系统。经调试验证,主轴抛光盘速度波...
针对激光晶体材料的高精度和高表面质量加工要求,超精密环抛机采用“工控机—运动控制卡—驱动器—电动机”的总体控制方案。结合研华API通用运动架构,在LabVIEW环境下设计并开发了超精密环抛机控制系统。经调试验证,主轴抛光盘速度波动范围小于1%,工件进给单元速度波动范围小于5%,启动平稳且无超调现象,可满足对激光晶体的环形抛光加工。
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关键词
环抛机
控制系统
晶体
抛
光
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职称材料
大型环抛面形实时监测与控制
被引量：
3
3
作者
欧光亮
杨李茗
+2 位作者
王琳
何曼泽
刘义彬
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期399-402,共4页
为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度收敛不稳定的难题,分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质,找到了传统调节控制和判断方法中的缺陷,提出了一种对环抛机面形变化基本实时的...
为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度收敛不稳定的难题,分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质,找到了传统调节控制和判断方法中的缺陷,提出了一种对环抛机面形变化基本实时的离线监测方法。这种监测方法具有结构简单、检测判断时间短和面形变化反应直观的优点。通过建立实验监测装置和实际加工验证,获得了较好的面形趋势判断和实时控制效果。
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关键词
光学制造
面形监测
环抛机
关键参数
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职称材料
题名
大型环抛机蜡盘平面度的测量
被引量：
8
1
作者
王哲
徐学科
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
上海恒益光学精密机械有限公司
华中科技大学光学与电子信息学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3048-3053,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605228)
文摘
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛机抛光蜡盘平面度测量专用装置。分析了环抛过程中蜡盘表面平面度和工件面型PV值之间的变化规律和相关性,根据测量数据得出了蜡盘平面度数据和工件面形的对应关系。实验显示:当平面度和面形曲线相差较大时,工件面形可快速收敛至1λ左右,并由粗抛向精抛工序快速过渡。提出的大型环抛机抛光蜡盘平面度监测装置实现了对湿滑胶体平面的高精度、快速测量,为环抛的确定性抛光工艺提供了重要的技术支持。
关键词
环
形
抛
光
大型
环抛机
抛
光蜡盘
平面度测量
Keywords
continuous polishing
large continuous polisher
pitch lap
flatness measurement
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
超精密环抛机控制系统设计
被引量：
4
2
作者
马进
朱祥龙
金洙吉
董志刚
李俊卿
高航
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《制造技术与机床》
北大核心
2020年第3期39-42,共4页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFB1102205)
科学挑战专题资助(JCKY2016212A506-0103)
国家自然科学基金面上项目(51775084)。
文摘
针对激光晶体材料的高精度和高表面质量加工要求,超精密环抛机采用“工控机—运动控制卡—驱动器—电动机”的总体控制方案。结合研华API通用运动架构,在LabVIEW环境下设计并开发了超精密环抛机控制系统。经调试验证,主轴抛光盘速度波动范围小于1%,工件进给单元速度波动范围小于5%,启动平稳且无超调现象,可满足对激光晶体的环形抛光加工。
关键词
环抛机
控制系统
晶体
抛
光
Keywords
continuous polisher
control system
crystal
polishing
分类号
TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
大型环抛面形实时监测与控制
被引量：
3
3
作者
欧光亮
杨李茗
王琳
何曼泽
刘义彬
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期399-402,共4页
基金
总装技术基础质量与可靠性项目
文摘
为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度收敛不稳定的难题,分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质,找到了传统调节控制和判断方法中的缺陷,提出了一种对环抛机面形变化基本实时的离线监测方法。这种监测方法具有结构简单、检测判断时间短和面形变化反应直观的优点。通过建立实验监测装置和实际加工验证,获得了较好的面形趋势判断和实时控制效果。
关键词
光学制造
面形监测
环抛机
关键参数
Keywords
optical fabrication
surface figure monitoring
annular lapping
key parameter
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大型环抛机蜡盘平面度的测量
王哲
徐学科
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
超精密环抛机控制系统设计
马进
朱祥龙
金洙吉
董志刚
李俊卿
高航
《制造技术与机床》
北大核心
2020
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
大型环抛面形实时监测与控制
欧光亮
杨李茗
王琳
何曼泽
刘义彬
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
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