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环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜
1
作者
马文英
魏耀华
+1 位作者
汪为民
王强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期29-33,共5页
微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环...
微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。
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关键词
微光机电系统
微镜
表面工艺
静电排斥
环形驱动器
旋转角
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职称材料
题名
环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜
1
作者
马文英
魏耀华
汪为民
王强
机构
成都信息工程大学通信工程学院
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期29-33,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11403029)
中国科学院青年创新促进会资助项目(2014346)
+1 种基金
四川省科技创新苗子工程资助项目(2015064)
成都信息工程大学科研基金项目(J201505)
文摘
微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。
关键词
微光机电系统
微镜
表面工艺
静电排斥
环形驱动器
旋转角
Keywords
micro opto electro mechanical systems
micro mirror
surface micromachining
electrostatic repulsive
circular actuator
rotation angle
分类号
TP211.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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被引量
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1
环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜
马文英
魏耀华
汪为民
王强
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
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