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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究 被引量:21
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作者 王孝坤 张学军 +1 位作者 王丽辉 郑立功 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期527-532,共6页
利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了... 利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。 展开更多
关键词 环形子孔径拼接 非球面检验 干涉术 Zernike多项式拟合 计算机模拟
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环形子孔径拼接检测的中心偏移误差补偿 被引量:2
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作者 李兵 刘晓 +1 位作者 康晓清 高芬 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期87-92,共6页
为了减小非球面环形子孔径拼接测量时的中心偏移误差,根据检测原理及几何关系,分析了中心偏移误差在面形测量中的作用机理,推导了中心偏移误差模型,并在此基础上提出了一种基于二维像素矩阵的中心偏移误差补偿方法.该方法可以有效地得... 为了减小非球面环形子孔径拼接测量时的中心偏移误差,根据检测原理及几何关系,分析了中心偏移误差在面形测量中的作用机理,推导了中心偏移误差模型,并在此基础上提出了一种基于二维像素矩阵的中心偏移误差补偿方法.该方法可以有效地得到初始面形测量数据的中心偏移量,在拼接之前减小由中心偏移误差引起的波前偏差的剔除误差,同时减小各环形子孔径中心之间的偏差.利用Zygo干涉仪进行了非球面环形子孔径拼接的中心偏移误差补偿实验,与零位检测结果相比,峰谷值残差为-0.015λ,均方根残差为0.003λ,表明该补偿方法大大减小了面形测量误差,提高了环形子孔径拼接的测量精度. 展开更多
关键词 光学测试 环形子孔径拼接 二维像素矩阵 非球面 中心偏移误差
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环形子孔径测试的迭代拼接算法及其实验验证 被引量:3
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作者 戴一帆 曾生跃 陈善勇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期251-256,共6页
在子孔径拼接和定位算法的基础上研究了环形子孔径迭代拼接算法。该算法可通过精确找出重叠点对和寻找最优位形两个步骤来简化。研究了该算法在环形子孔径拼接测量中出现的如何确定重叠点的问题,并详细介绍了该算法的步骤。最后对160 m... 在子孔径拼接和定位算法的基础上研究了环形子孔径迭代拼接算法。该算法可通过精确找出重叠点对和寻找最优位形两个步骤来简化。研究了该算法在环形子孔径拼接测量中出现的如何确定重叠点的问题,并详细介绍了该算法的步骤。最后对160 mm口径的抛物面进行了拼接测量实验,拼接结果的PV值为0.186λ,RMS值为0.019λ,与自准直全口径测量结果基本一致。结果表明,环形子孔径的迭代拼接算法能够满足非球面镜的高精度测量。 展开更多
关键词 环形子孔径拼接 迭代算法 非球面检测
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高陡度保形光学非球面环形子孔径检测方法 被引量:3
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作者 王洪浩 明名 +1 位作者 吕天宇 邹惠莹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第4期141-147,共7页
环形子孔径拼接技术检测大口径、高陡度光学非球面具有低成本、高效率的特点。提出一种基于最小二乘法和泽尼克多项式拟合的环形子孔径拼接方法检测高陡度光学非球面。研究了环形子孔径拼接算法的基本原理,对环形子孔径的划分方式进行... 环形子孔径拼接技术检测大口径、高陡度光学非球面具有低成本、高效率的特点。提出一种基于最小二乘法和泽尼克多项式拟合的环形子孔径拼接方法检测高陡度光学非球面。研究了环形子孔径拼接算法的基本原理,对环形子孔径的划分方式进行数学公式推导及参数运算,建立被测非球面的有效数学模型。全口径的拼接结果与原始波面基本一致,二者PV和RMS差值分别为0.015 1λ、0.004 7λ(λ为632.8 nm),残差的PV和RMS值为0.043 5λ、0.005 2λ,验证该算法的有效性和准确性。 展开更多
关键词 高陡度 高精度检测 环形子孔径拼接 拼接算法
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用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜 被引量:15
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作者 王孝坤 王丽辉 +1 位作者 邓伟杰 郑立功 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期520-528,共9页
研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量。分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔... 研究了利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的方法,以实现非零位补偿法对大口径非球面的测量。分析和研究了该技术的基本原理,并基于齐次坐标变换和最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;分别开发了圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接检测非球面的算法软件;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并分别利用圆形子孔径拼接和环形子孔径拼接实现了对一口径为350 mm的双曲面的检测。对待测非球面进行了零位补偿检测实验,结果显示,圆形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.031λ和0.004λ;环形子孔径拼接与全口径补偿测量结果的PV值和RMS值的偏差分别为0.028λ和0.006λ;3种方法测量所得的面形分布都是一致的。所提出的方法提供了除零位补偿检测外的另一种定量测试大口径非球面的手段。 展开更多
关键词 光学检测 圆形孔径拼接干涉 环形子孔径拼接干涉 大口径非球面 最小二乘拟合
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《光学精密工程》总目次
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《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期I0001-I0014,共14页
关键词 DESIGN 光学精密工程 孙立宁 环形子孔径拼接 FSS PING 目次
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光学加工工艺与设备
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《中国光学与应用光学》 2007年第1期92-93,共2页
关键词 非球面镜 光机所 长春 吉林 环形子孔径拼接 光学加工
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