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环形压电振子面内弯曲模态特征及控制
被引量:
4
1
作者
何勍
王丹妮
王宏祥
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第4期585-587,共3页
以超声物料输送装置的环形压电振子为研究对象,分析了环形封闭梁结构的模态特征,指出环形压电振子的面内弯曲振动,其偶数阶模态关于两对称轴均对称或关于中心对称,而奇数阶模态分别关于两对称轴对称。提出了在压电环梁上开设合适的沟槽...
以超声物料输送装置的环形压电振子为研究对象,分析了环形封闭梁结构的模态特征,指出环形压电振子的面内弯曲振动,其偶数阶模态关于两对称轴均对称或关于中心对称,而奇数阶模态分别关于两对称轴对称。提出了在压电环梁上开设合适的沟槽来控制压电梁的满足行波驱动的振型及频率差的方法,并根据优化结果试制了压电输送振子,通过实验验证了模态控制的可行性。
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关键词
环形压电振子
行波
面内弯曲
模态分析
超声物料输送
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职称材料
垂直驱动式压电振动送料器的设计
被引量:
6
2
作者
沈燕虎
杨志刚
+2 位作者
刘勇
田丰君
苏江
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期1149-1154,共6页
利用环形压电陶瓷微位移和大输出力的特点,设计了一种垂直驱动的新型结构送料器,分析了该结构送料器的工作原理并建立了整个振动系统的动力学模型.通过理论分析,确定了系统振动模态、振幅、固有频率和物料运动状态等决定送料器性能的重...
利用环形压电陶瓷微位移和大输出力的特点,设计了一种垂直驱动的新型结构送料器,分析了该结构送料器的工作原理并建立了整个振动系统的动力学模型.通过理论分析,确定了系统振动模态、振幅、固有频率和物料运动状态等决定送料器性能的重要参数.通过样机制作和实验测试得到了系统固有频率的分布曲线以及振幅与输送速度的关系曲线.实验结果表明,样机的最佳工作频率为195Hz;滑动输送振幅区间为17~27μm,输送速度可达到123.5mm/s;抛掷输送振幅区间为27~32μm,输送速度可达到140.5mm/s.与同型号悬臂梁式压电振动送料器相对比,该送料器性能有所提高、结构空间更紧凑,可以满足工业生产的使用要求.
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关键词
压电
振动送料器
环形压电振子
垂直驱动
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职称材料
块体物料超声输送能力测试实验装置的研究
被引量:
8
3
作者
何勍
董瑞芳
王宏祥
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第1期145-148,共4页
基于行波超声物料输送原理,提出并研制了一种多驱动频率的环形压电式超声输送实验装置,该实验装置可对块状单体物料或物料群的运行状况进行不限时、不限输送长度的精确观测,进而能精确计算物料速度等性能参数。在振幅为1μm,驱动频率分...
基于行波超声物料输送原理,提出并研制了一种多驱动频率的环形压电式超声输送实验装置,该实验装置可对块状单体物料或物料群的运行状况进行不限时、不限输送长度的精确观测,进而能精确计算物料速度等性能参数。在振幅为1μm,驱动频率分别为24.69 kHz及39.31 kHz的实验环境下,对黄铜圆柱和钢圆锥滚子两种规则试件进行了实验测试,实验结果表明,试件具有很均匀的运行速度,输送振子在相同振幅的条件下,输送速度与输送振子的波数及频率成正比。
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关键词
超声物料输送
环形压电振子
行波
输送速度
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职称材料
行波超声振动抛光实验装置的研究
被引量:
1
4
作者
徐俊艳
陈晔
+1 位作者
刘政
何勍
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013年第S2期25-28,215,共5页
为研究环形行波压电振子的硅片超声复合抛光工艺,改装现有钻床,研制出一种可控转速的超声抛光实验装置,该装置主轴的转速通过变频器可在0~3 150r/min范围内调节,从而实现不同线速度的抛光需求。实验装置将USR30超声电机振子改造为具有...
为研究环形行波压电振子的硅片超声复合抛光工艺,改装现有钻床,研制出一种可控转速的超声抛光实验装置,该装置主轴的转速通过变频器可在0~3 150r/min范围内调节,从而实现不同线速度的抛光需求。实验装置将USR30超声电机振子改造为具有装夹圆柄和抛光垫的抛光压电振子。改造后的振子的实际模态测试表明,装夹圆柄的安装并未改变原有超声电机振子的驱动频率。抛光实验过程中,抛光振子(含抛光垫)只做微观超声振动,而振子齿面下方的硅片做宏观的旋转运动,抛光垫与硅片之间注入一定流速的抛光液实现抛光。吸盘与动密封装置相联并通过主轴实现正(反)向旋转。为了研究压力对抛光表面质量的影响,该超声振动实验装置专门设计了重力加压装置,实现抛光振子与硅片之间的接触压力调节。该实验装置可完成改变抛光转速、抛光压力、抛光时振子表面振幅的大小及抛光液流量粒度等参数在不同工况下的抛光实验。
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关键词
环形压电振子
行波
超声振动
化学机械抛光
硅片
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职称材料
一类面内弯曲模态行波直线超声电机的研究
5
作者
杨金波
何勍
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第6期976-980,共5页
提出了一种新型含有不完全齿的圆环型行波直线超声电机,电机的动子滑块在一定预压力下紧贴在圆环型振子外表面齿形结构的端面上,4个压电陶瓷片间隔90°均布于圆环型结构的内侧,4组驱动齿分别与压电陶瓷片位置间隔45°布置。电...
提出了一种新型含有不完全齿的圆环型行波直线超声电机,电机的动子滑块在一定预压力下紧贴在圆环型振子外表面齿形结构的端面上,4个压电陶瓷片间隔90°均布于圆环型结构的内侧,4组驱动齿分别与压电陶瓷片位置间隔45°布置。电机工作时,仅一处驱动齿工作,通过轮换不同工作齿的方式可提高超声电机的寿命。电机利用两个同频正交的面内三阶弯曲模态工作。利用有限元软件对振子进行了动态设计与仿真,分析了结构参数对模态的影响。加工制作了原理样机,并测试了样机的振动特性及输出性能。实验结果表明,该电机在激励电压峰-峰值为240 V,激振频率为30.459 kHz,预压力为0.6 N时,电机运行平稳,最大输出力为90 mN,电机的空载速度为102 mm/s。
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关键词
直线超声电机
行波
环形压电振子
不完全齿
面内弯曲模态
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职称材料
题名
环形压电振子面内弯曲模态特征及控制
被引量:
4
1
作者
何勍
王丹妮
王宏祥
机构
辽宁工业大学振动工程研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第4期585-587,共3页
基金
国家自然基金资助项目(50675094)
文摘
以超声物料输送装置的环形压电振子为研究对象,分析了环形封闭梁结构的模态特征,指出环形压电振子的面内弯曲振动,其偶数阶模态关于两对称轴均对称或关于中心对称,而奇数阶模态分别关于两对称轴对称。提出了在压电环梁上开设合适的沟槽来控制压电梁的满足行波驱动的振型及频率差的方法,并根据优化结果试制了压电输送振子,通过实验验证了模态控制的可行性。
关键词
环形压电振子
行波
面内弯曲
模态分析
超声物料输送
Keywords
ring type piezoelectric vibrator
traveling wave
bending vibration in plane
modal analysis
ultrasonic feeding
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TB535 [理学—声学]
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职称材料
题名
垂直驱动式压电振动送料器的设计
被引量:
6
2
作者
沈燕虎
杨志刚
刘勇
田丰君
苏江
机构
吉林大学机械科学与工程学院
吉林大学
吉林大学链传动研究所
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期1149-1154,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51075175)
文摘
利用环形压电陶瓷微位移和大输出力的特点,设计了一种垂直驱动的新型结构送料器,分析了该结构送料器的工作原理并建立了整个振动系统的动力学模型.通过理论分析,确定了系统振动模态、振幅、固有频率和物料运动状态等决定送料器性能的重要参数.通过样机制作和实验测试得到了系统固有频率的分布曲线以及振幅与输送速度的关系曲线.实验结果表明,样机的最佳工作频率为195Hz;滑动输送振幅区间为17~27μm,输送速度可达到123.5mm/s;抛掷输送振幅区间为27~32μm,输送速度可达到140.5mm/s.与同型号悬臂梁式压电振动送料器相对比,该送料器性能有所提高、结构空间更紧凑,可以满足工业生产的使用要求.
关键词
压电
振动送料器
环形压电振子
垂直驱动
Keywords
piezoelectric vibration feeder
circinate piezoelectric actuator
vertical driven
分类号
TH237.1 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
块体物料超声输送能力测试实验装置的研究
被引量:
8
3
作者
何勍
董瑞芳
王宏祥
机构
辽宁工业大学振动工程研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第1期145-148,共4页
基金
国家自然基金资助项目(50675094)
文摘
基于行波超声物料输送原理,提出并研制了一种多驱动频率的环形压电式超声输送实验装置,该实验装置可对块状单体物料或物料群的运行状况进行不限时、不限输送长度的精确观测,进而能精确计算物料速度等性能参数。在振幅为1μm,驱动频率分别为24.69 kHz及39.31 kHz的实验环境下,对黄铜圆柱和钢圆锥滚子两种规则试件进行了实验测试,实验结果表明,试件具有很均匀的运行速度,输送振子在相同振幅的条件下,输送速度与输送振子的波数及频率成正比。
关键词
超声物料输送
环形压电振子
行波
输送速度
Keywords
ultrasonic feeding, ring type piezoelectric vibrator, traveling wave, driving velocity
分类号
TB535 [理学—声学]
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职称材料
题名
行波超声振动抛光实验装置的研究
被引量:
1
4
作者
徐俊艳
陈晔
刘政
何勍
机构
辽宁工业大学振动工程研究所
出处
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013年第S2期25-28,215,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51075195)
文摘
为研究环形行波压电振子的硅片超声复合抛光工艺,改装现有钻床,研制出一种可控转速的超声抛光实验装置,该装置主轴的转速通过变频器可在0~3 150r/min范围内调节,从而实现不同线速度的抛光需求。实验装置将USR30超声电机振子改造为具有装夹圆柄和抛光垫的抛光压电振子。改造后的振子的实际模态测试表明,装夹圆柄的安装并未改变原有超声电机振子的驱动频率。抛光实验过程中,抛光振子(含抛光垫)只做微观超声振动,而振子齿面下方的硅片做宏观的旋转运动,抛光垫与硅片之间注入一定流速的抛光液实现抛光。吸盘与动密封装置相联并通过主轴实现正(反)向旋转。为了研究压力对抛光表面质量的影响,该超声振动实验装置专门设计了重力加压装置,实现抛光振子与硅片之间的接触压力调节。该实验装置可完成改变抛光转速、抛光压力、抛光时振子表面振幅的大小及抛光液流量粒度等参数在不同工况下的抛光实验。
关键词
环形压电振子
行波
超声振动
化学机械抛光
硅片
Keywords
ring type piezoelectric vibrator,traveling wave,ultrasonic vibration,chemical mechanical polishing,silicon wafer
分类号
TG663 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
一类面内弯曲模态行波直线超声电机的研究
5
作者
杨金波
何勍
机构
辽宁工业大学机械工程与自动化学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第6期976-980,共5页
文摘
提出了一种新型含有不完全齿的圆环型行波直线超声电机,电机的动子滑块在一定预压力下紧贴在圆环型振子外表面齿形结构的端面上,4个压电陶瓷片间隔90°均布于圆环型结构的内侧,4组驱动齿分别与压电陶瓷片位置间隔45°布置。电机工作时,仅一处驱动齿工作,通过轮换不同工作齿的方式可提高超声电机的寿命。电机利用两个同频正交的面内三阶弯曲模态工作。利用有限元软件对振子进行了动态设计与仿真,分析了结构参数对模态的影响。加工制作了原理样机,并测试了样机的振动特性及输出性能。实验结果表明,该电机在激励电压峰-峰值为240 V,激振频率为30.459 kHz,预压力为0.6 N时,电机运行平稳,最大输出力为90 mN,电机的空载速度为102 mm/s。
关键词
直线超声电机
行波
环形压电振子
不完全齿
面内弯曲模态
Keywords
linear ultrasonic motor
traveling wave
ring type piezoelectric vibrator
incomplete teeth
in-plane bending mode
分类号
TM356 [电气工程—电机]
TB535 [理学—声学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
环形压电振子面内弯曲模态特征及控制
何勍
王丹妮
王宏祥
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010
4
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职称材料
2
垂直驱动式压电振动送料器的设计
沈燕虎
杨志刚
刘勇
田丰君
苏江
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
在线阅读
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职称材料
3
块体物料超声输送能力测试实验装置的研究
何勍
董瑞芳
王宏祥
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010
8
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下载PDF
职称材料
4
行波超声振动抛光实验装置的研究
徐俊艳
陈晔
刘政
何勍
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
一类面内弯曲模态行波直线超声电机的研究
杨金波
何勍
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
0
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职称材料
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