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微型惯性测量组合的关键技术
被引量：
3
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作者
丁衡高
章燕申
+1 位作者
马新宇
张斌
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期31-35,共5页
采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。
关键词
微型惯性测量组合
关键技术
环形光波导
零偏稳定性
技术关键
加速度计
品质因数
纳米技术
微型光学陀螺仪
声光移频器
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职称材料
题名
微型惯性测量组合的关键技术
被引量：
3
1
作者
丁衡高
章燕申
马新宇
张斌
机构
清华大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期31-35,共5页
文摘
采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。
关键词
微型惯性测量组合
关键技术
环形光波导
零偏稳定性
技术关键
加速度计
品质因数
纳米技术
微型光学陀螺仪
声光移频器
分类号
TH70 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微型惯性测量组合的关键技术
丁衡高
章燕申
马新宇
张斌
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
3
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