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题名激光干涉位移测量系统的环境误差补偿
被引量：3
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作者
曲军
张国雄
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机构
美国北卡州立大学机械与航空系
天津大学精密仪器学院
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出处
《航空发动机》
2001年第3期43-44,3,共3页
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文摘
激光干涉仪在长度测量领域应用十分广泛,然而其测量精度直接受环境的影响,特别是空气折射率变化会引入标尺误差。通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差补偿模型,消除了零点误差和空气折射率误差。设计了分别适用于环境条件好、小量程测量的双干涉自补偿系统和适用于复杂环境、大量程测量的多点测量综合修正的补偿系统,对环境误差进行修正。
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关键词
激光干涉测量
空气折射率
实时补偿
零点误差
环境误差
位移测量
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分类号
TH822
[机械工程—精密仪器及机械]
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名反辐射导引头测试环境误差分析
被引量：2
- 2
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作者
易红樱
王开斌
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机构
空军驻中国航天科工集团二院
中国航天科工集团二院二十五所
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出处
《航天电子对抗》
2010年第6期20-21,60,共3页
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文摘
对于干涉仪体制的反辐射导引头,测试环境的好坏对其性能的正确评价具有非常大的影响。为了得到准确的测试结果,采用暗室测试,并在此基础上分析测试环境误差,如偏心距离、等相位面波动等对导引头测角特性的影响,分别给出了理论分析与仿真结果。所得结果为干涉仪体制反辐射导引头的工程测试和性能评估提供了理论依据,对完善导引头测试条件具有一定的意义。
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关键词
反辐射导引头
测试环境
误差分析
TEST
仿真结果
干涉仪
正确评价
性能评估
体制
偏心距离
理论依据
理论分析
环境误差
工程测试
分析测试
等相位面
测试条件
测试结果
角特性
基础
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Keywords
anti-radiation seeker
angle measuring characteristic
anechoic chamber test
error analysis
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分类号
TJ765.331
[兵器科学与技术—武器系统与运用工程]
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题名型煤力学参数测定中的误差分析
- 3
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作者
王晓
董立军
李文峰
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机构
中国矿业大学煤炭资源与安全开采国家重点实验室
中国矿业大学矿业工程学院
中国矿业大学应用技术学院
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出处
《能源技术与管理》
2009年第6期116-118,共3页
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文摘
在型煤力学参数的测定中,需要根据事先计算好的比例来进行煤、水泥、石膏等一些材料的配比,但在配比过程中有很多环节出现误差。阐明了测定中出现的计量器具误差、环境误差及人员误差,分析了实验误差对结果产生的影响。
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关键词
型煤力学参数
计量器具误差
环境误差
人员误差
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分类号
TQ531
[化学工程—煤化学工程]
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题名球面绝对检测方法的误差影响分析及实验研究
被引量：5
- 4
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作者
彭建华
沈亦兵
汪凯巍
王东升
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机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第5期1345-1350,共6页
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文摘
球面绝对检测方法可以去除参考面面形误差的影响,从而提高了被检面的检测精度。在此高精度的检测中,被检面机构调整误差和环境扰动误差是影响检测结果的两个主要因素。将机构调整误差理解成一种特殊的面形误差,通过这一思路分析了该误差对最终检测结果的影响。为了提高检测精度,根据高阶离焦模型去除了调整误差中的离焦误差,并且设计了一种简易有效的旋转角度控制机构用来控制旋转错位误差。将环境扰动误差看作是随机误差,分析了该误差对三步检测每一步的影响,并采用多次测量取平均的办法减小其影响。基于Zygo干涉仪,使用六自由度高精度调整机构对精度优于λ/40的被检球面进行了绝对检测。绝对检测三步法测得的被检面面形误差的评价值小于单步法的测得结果对应的评价值,各评价值置信概率为0.99的置信区间长度很小,说明采用文中的装置和数据处理方法能实现绝对检测的高重复性和有效性。
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关键词
绝对检测:
机构调整误差
环境扰动误差
旋转误差控制装置
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Keywords
absolute testing
alignment error
environmental perturbation error
mount for controlling rotary error
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
TH744
[机械工程—光学工程]
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题名基于离散化路径与拼接的高精度光学检测方法
- 5
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作者
沈正祥
王旭
余俊
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机构
同济大学先进微结构材料教育部重点实验室
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第11期316-325,共10页
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基金
国家自然科学基金(11873004,61621001)。
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文摘
在超精密光学元件制造中,高精度光学检测技术是进一步提升光学加工精度和表征评价光学表面形貌的基础关键。非接触式光学检测方法凭借高效和无损伤检测的特点,取得广泛应用。但外界环境扰动容易对光学检测探针产生影响,降低检测精度。为此,文中提出了一种离散化检测路径与拼接方法,将传统螺旋线路径离散为多圆周和多径向路径,并通过路径间数据的相互拼接,减小了环境扰动误差。分析了离散化检测路径的参数设置,给出了一种均匀化的圆周路径分布策略。最后,基于自行搭建的光学检测平台,进行了环境误差抑制方法的验证实验。相较于抑制前的面形,抑制后的测量相对误差从24.3%降到了4.3%。
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关键词
光学检测
环境误差
路径规划
数据拼接
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Keywords
optical measurement
environmental error
path generation
data splicing
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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