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机器学习探究电子气体在沸石分子筛上的吸附 被引量:2
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作者 陈佳丽 赵国祥 +3 位作者 颜亚玉 夏万厅 李巧红 张健 《无机化学学报》 北大核心 2025年第1期155-164,共10页
使用机器学习进行高通量筛选是一种新的材料筛选方法,我们结合巨正则蒙特卡罗(GCMC)模拟和机器学习方法研究了沸石分子筛对气体的吸附。使用GCMC模拟方法,计算了12种电子气体在240种纯硅沸石分子筛上的绝对吸附量,并通过Zeo++程序分析... 使用机器学习进行高通量筛选是一种新的材料筛选方法,我们结合巨正则蒙特卡罗(GCMC)模拟和机器学习方法研究了沸石分子筛对气体的吸附。使用GCMC模拟方法,计算了12种电子气体在240种纯硅沸石分子筛上的绝对吸附量,并通过Zeo++程序分析了沸石分子筛的17种结构特征。在此基础上,建立了2种机器学习模型:多元线性回归模型和随机森林回归模型,旨在预测沸石分子筛对各类电子气体的吸附能力。同时,通过相关性分析和模型性能评估,揭示了不同结构特征对气体吸附容量的影响程度,并对模型的稳定性和预测精度进行了讨论。 展开更多
关键词 电子特种气体 沸石分子筛 机器学习 巨正则蒙特卡罗模拟
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国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况 被引量:3
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作者 梁国仑 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 1995年第11期1-12,共12页
综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术,一体化供气系统,超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术,电子材种气体市场以及ISO9000系列认证。
关键词 气体 提纯 超净技术 集成电路 电子特种气体
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我国电子化学品现状及发展趋势 被引量:6
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作者 丁建良 吴坚 《化工新型材料》 CAS CSCD 2002年第10期4-7,20,共5页
关键词 中国 电子信息产业 化工材料 印制电路板 特种电子气体 封装材料 光刻胶 电子化学品现状 发展趋势
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NF3与CF4分离纯化技术路线研究进展 被引量:3
4
作者 周言 钟强 +1 位作者 刘倩 黄国强 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期266-272,共7页
在NF_(3)的工业化生产中,会与原料氟气(F_(2))一起引入不纯物质四氟甲烷(CF_(4)),严重影响了NF_(3)的品质。需要开发出具有经济效益成本的NF_(3)和CF_(4)分离纯化技术方法。CF_(4)和NF_(3)这两种气体具有非常相似的物理特性,很难通过传... 在NF_(3)的工业化生产中,会与原料氟气(F_(2))一起引入不纯物质四氟甲烷(CF_(4)),严重影响了NF_(3)的品质。需要开发出具有经济效益成本的NF_(3)和CF_(4)分离纯化技术方法。CF_(4)和NF_(3)这两种气体具有非常相似的物理特性,很难通过传统的技术进行分离。因此,总结了NF_(3)中CF_(4)杂质的分离纯化技术研究进展,从纯度、效率、成本和安全等角度对比分析了包括低温精馏、吸附、膜分离、萃取精馏和吸收在内的5种纯化技术路线的优势和不足。低温精馏通常需要在-100~-192℃的低温下操作,而膜技术和使用沸石和分子筛的吸附技术过程在能耗、维护成本、连续化和处理能力等方面受到分离材料性能的显著限制。在此基础上,提出了克服当前工业挑战的潜在的分离纯化方法。指出基于吸收和萃取精馏的方法适用于从NF_(3)中纯化CF_(4)杂质的最佳的工艺技术路线。 展开更多
关键词 三氟化氮 四氟甲烷 电子特种气体 杂质 分离纯化
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