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题名机器学习探究电子气体在沸石分子筛上的吸附
被引量:2
- 1
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作者
陈佳丽
赵国祥
颜亚玉
夏万厅
李巧红
张健
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机构
中国科学院福建物质结构研究所结构化学国家重点实验室
福州大学化学学院
中国科学院大学福建学院
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出处
《无机化学学报》
北大核心
2025年第1期155-164,共10页
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基金
国家重点研发计划(No.2021YFA1501500)资助。
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文摘
使用机器学习进行高通量筛选是一种新的材料筛选方法,我们结合巨正则蒙特卡罗(GCMC)模拟和机器学习方法研究了沸石分子筛对气体的吸附。使用GCMC模拟方法,计算了12种电子气体在240种纯硅沸石分子筛上的绝对吸附量,并通过Zeo++程序分析了沸石分子筛的17种结构特征。在此基础上,建立了2种机器学习模型:多元线性回归模型和随机森林回归模型,旨在预测沸石分子筛对各类电子气体的吸附能力。同时,通过相关性分析和模型性能评估,揭示了不同结构特征对气体吸附容量的影响程度,并对模型的稳定性和预测精度进行了讨论。
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关键词
电子特种气体
沸石分子筛
机器学习
巨正则蒙特卡罗模拟
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Keywords
electronic specialty gas
zeolite molecular sieve
machine learning
grand canonical Monte Carlo simulation
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分类号
O647.3
[理学—物理化学]
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题名国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况
被引量:3
- 2
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作者
梁国仑
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机构
大连化工部光明化工研究所
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出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第11期1-12,共12页
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文摘
综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术,一体化供气系统,超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术,电子材种气体市场以及ISO9000系列认证。
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关键词
气体
提纯
超净技术
集成电路
电子特种气体
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ028.2
[化学工程]
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题名我国电子化学品现状及发展趋势
被引量:6
- 3
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作者
丁建良
吴坚
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机构
无锡市化工研究设计院
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出处
《化工新型材料》
CAS
CSCD
2002年第10期4-7,20,共5页
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关键词
中国
电子信息产业
化工材料
印制电路板
特种电子气体
封装材料
光刻胶
电子化学品现状
发展趋势
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分类号
F426.7
[经济管理—产业经济]
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题名NF3与CF4分离纯化技术路线研究进展
被引量:3
- 4
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作者
周言
钟强
刘倩
黄国强
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机构
天津大学浙江研究院(绍兴)
天津大学化工学院
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出处
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期266-272,共7页
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文摘
在NF_(3)的工业化生产中,会与原料氟气(F_(2))一起引入不纯物质四氟甲烷(CF_(4)),严重影响了NF_(3)的品质。需要开发出具有经济效益成本的NF_(3)和CF_(4)分离纯化技术方法。CF_(4)和NF_(3)这两种气体具有非常相似的物理特性,很难通过传统的技术进行分离。因此,总结了NF_(3)中CF_(4)杂质的分离纯化技术研究进展,从纯度、效率、成本和安全等角度对比分析了包括低温精馏、吸附、膜分离、萃取精馏和吸收在内的5种纯化技术路线的优势和不足。低温精馏通常需要在-100~-192℃的低温下操作,而膜技术和使用沸石和分子筛的吸附技术过程在能耗、维护成本、连续化和处理能力等方面受到分离材料性能的显著限制。在此基础上,提出了克服当前工业挑战的潜在的分离纯化方法。指出基于吸收和萃取精馏的方法适用于从NF_(3)中纯化CF_(4)杂质的最佳的工艺技术路线。
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关键词
三氟化氮
四氟甲烷
电子特种气体
杂质
分离纯化
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Keywords
nitrogen trifluoride
tetrafluoromethane
electronic special gas
impurities
separation and purification
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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