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题名头盔式单目微光夜视仪中非球面物镜系统的设计
被引量：7
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作者
刘钧
尚华
宋波
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2006年第4期308-311,共4页
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文摘
为提高头盔式微光夜视系统的成像质量,并满足整个夜视系统体积小、重量轻的指标要求,提出了非球面物镜系统的设计。通过在物镜系统中引入高次项非球面结构,不仅使系统成像质量在空间频率为40 lp/mm时,轴上传递函数可以达到0.62,轴外可以达到0.42;而且光学系统的质量约为300 g,物镜由原来的9片减少到6片,仪器总长由原来的81 mm减少为72 mm。设计结果表明,在头盔式单目微光夜视系统中采用非球面结构可以使系统的成像质量有很大提高,并可使系统结构大大简化。
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关键词
微光夜视仪
高次非球面
物镜系统设计
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Keywords
LLL night-vision system
high-order aspheric surface
lens design
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分类号
TN223
[电子电信—物理电子学]
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题名高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计
被引量：15
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作者
毛姗姗
李艳秋
刘克
刘丽辉
郑猛
闫旭
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机构
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第8期170-176,共7页
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基金
国家科技重大专项(ZX02702001-002)
国家自然科学基金(61675026)
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(11627808)
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文摘
高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求,往往造成遮拦,破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面EUVL物镜设计方法。依据物镜形态参数判别引入自由曲面的最佳位置,能够有效校正系统像差,在不影响成像性能的情况下增大系统NA。应用该方法设计了一套高NA自由曲面EUVL投影物镜(PO)。与初始非球面物镜相比,通过增加四面自由曲面,将物镜数值孔径从0.3增大至0.35,波像差均方根(RMS)值从1nm减小至0.4nm,整个系统光路无遮拦。设计结果表明:该方法有效提高了自由曲面EUVL物镜设计效率,在不产生遮拦的情况下,不但增大了系统NA且减小了系统波像差,提高了物镜整体性能。
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关键词
物镜系统设计
几何光学设计
自由曲面
极紫外
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Keywords
lens system design
geometric optical design
freeform surface
extreme ultraviolet
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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