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用于薄液膜厚度测量的面阵列电导传感器的设计与验证
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作者 魏欢 胡珀 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1667-1673,共7页
液膜厚度是研究降液膜展开及发展演化所需的重要参数,目前市面上主流的膜厚探头主要是基于点探测原理、无法满足液膜展开的面厚度测量需求,本研究基于降液膜厚度的范围,自主设计了基于柔性印刷电路板的电导法同轴圆环面阵列传感器。成... 液膜厚度是研究降液膜展开及发展演化所需的重要参数,目前市面上主流的膜厚探头主要是基于点探测原理、无法满足液膜展开的面厚度测量需求,本研究基于降液膜厚度的范围,自主设计了基于柔性印刷电路板的电导法同轴圆环面阵列传感器。成功制造的传感器在42 mm×57 mm面积上有3×4个同轴圆环探测单元,探头间距为15 mm,实现了0.3 mm~3 mm范围内的液膜厚度测量,测量电阻换算厚度的误差在10%以内,能满足薄液膜的面厚度测量需求。 展开更多
关键词 物理量传感器 液膜厚度测量 电导法 探点阵列 柔性印刷电路板
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用于薄液膜检测的同轴环盘电导传感器优化设计 被引量:3
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作者 王超 王青天 +1 位作者 赵宁 胡凤红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期35-38,共4页
液膜厚度是研究环状流液膜演化发展的重要参数,基于环状流薄液膜厚度范围,设计了基于电导法的非侵入式同轴环盘液膜测量传感器。通过有限元分析,对同轴环盘液膜测量传感器电极结构参数进行了优化设计,确定了传感器结构参数最优选择。实... 液膜厚度是研究环状流液膜演化发展的重要参数,基于环状流薄液膜厚度范围,设计了基于电导法的非侵入式同轴环盘液膜测量传感器。通过有限元分析,对同轴环盘液膜测量传感器电极结构参数进行了优化设计,确定了传感器结构参数最优选择。实验表明:传感器在50μm^200μm的液膜厚度范围内具有很高的灵敏度,液膜厚度的测量误差在±3.7%以内。 展开更多
关键词 物理量传感器 液膜厚度检测 COMSOL 同轴环盘电极
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基于MEMS的固态风速风向传感器及其最优结构参数 被引量:1
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作者 杨帆 赵湛 杜利东 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期342-345,共4页
基于圆柱绕流的理论分析给出圆柱体周边压强分布方程,并据此提出了一种新型的基于MEMS的固态风速风向传感器结构。建立了其内部流体流动的理论模型,并利用该模型进行数值计算得到了这种传感器的最优结构参数。分析表明,利用相互正交的M... 基于圆柱绕流的理论分析给出圆柱体周边压强分布方程,并据此提出了一种新型的基于MEMS的固态风速风向传感器结构。建立了其内部流体流动的理论模型,并利用该模型进行数值计算得到了这种传感器的最优结构参数。分析表明,利用相互正交的MEMS风速传感器测量风向是可行的,并且具有多个通风孔结构的传感器可以有更高的精度。 展开更多
关键词 物理量传感器 结构参数 圆柱绕流 风速风向传感器 MEMS
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基于SAW原理汽车转向扭矩测量的研究 被引量:10
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作者 李志鹏 李晓英 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期764-768,共5页
针对市场上已有的电动助力转向EPS(Electric Steering System)扭矩测量装置存在的易受噪声干扰、寿命较短、构造复杂且供电困难等缺点[1],提出基于声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)原理对转向扭矩进行测量的方案,能够进一步实现EPS... 针对市场上已有的电动助力转向EPS(Electric Steering System)扭矩测量装置存在的易受噪声干扰、寿命较短、构造复杂且供电困难等缺点[1],提出基于声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)原理对转向扭矩进行测量的方案,能够进一步实现EPS系统扭矩测量装置的轻型化和数字化。基于COMSOL软件强大的物理分析功能,对测量方案中关键的主轴和压电基片进行理论和仿真研究,并且基于Matlab软件对仿真结果进行统计和分析,验证了该方案的可实施性。 展开更多
关键词 物理量传感器 转向扭矩 声表面波原理 COMSOL MATLAB
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