-
题名底发射VCSEL片上点阵结构光投影装置设计
- 1
-
-
作者
阮仁杰
曹银花
王晓帆
马艳红
王智勇
兰天
-
机构
北京工业大学北京市激光应用技术工程技术研究中心
北京工业大学跨尺度激光成型制造技术教育部重点实验室
北京工业大学材料与制造学部先进半导体光电技术研究所
-
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期261-269,共9页
-
基金
北京市博士后工作经费(2020-Z2-043)。
-
文摘
为解决现有点阵结构光投影装置中准直透镜会导致较强的零级衍射而造成投影点阵光强分布不均匀的问题,提出了一种基于底发射垂直腔面发射激光器的片上点阵光投影装置结构,并给出了衍射光学元件设计思路。首先对目标光场进行光强调整和坐标变换,在无准直透镜情况下利用基于瑞利-索末菲衍射积分的Gerchberg-Saxton改进算法获得片上衍射光学元件的相位分布,并最终对该点阵投影装置的投影效果进行评估。结果表明:在衍射光学元件设计过程中采用高斯光束作为光源时,该结构能更好地抑制零级衍射,获得光强分布更加均匀的投影点阵。此外,该结构不仅可省去透镜的安装,减小投影装置尺寸,还可通过流片工艺实现光源和衍射光学元件一体化集成。
-
关键词
衍射光学
片上结构光
瑞利-索末菲衍射积分
衍射光学元件
Gerchberg-Saxton算法
底发射VCSEL
-
Keywords
diffractive optics
on-chip structured light
Rayleigh-Sommerfeld diffraction integral
diffractive optical element
Gerchberg-Saxton algorithm
bottom-emitting VCSEL
-
分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
-
