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半导体硅熔体电导率的间接测量
被引量：
3
1
作者
徐岳生
刘彩池
+2 位作者
王海云
张雯
石义情
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期102-103,101,共3页
本文通过在磁场下测定硅熔体的粘度,根据ηeff=（μBb）2σ关系式,间接计算出硅熔体的电导率。其结果与用其他方法测试的数值吻合。用电子导电、离子导电的变化,解释了硅熔体在1420～1690℃范围电导率的变化,研究结果对指导大直径硅单...
本文通过在磁场下测定硅熔体的粘度,根据ηeff=（μBb）2σ关系式,间接计算出硅熔体的电导率。其结果与用其他方法测试的数值吻合。用电子导电、离子导电的变化,解释了硅熔体在1420～1690℃范围电导率的变化,研究结果对指导大直径硅单晶生长具有实际意义。
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关键词
环境相
磁粘度
熔硅电导率
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职称材料
题名
半导体硅熔体电导率的间接测量
被引量：
3
1
作者
徐岳生
刘彩池
王海云
张雯
石义情
机构
河北工业大学信息功能材料研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期102-103,101,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50372016)
教育部科学研究重点项目(No.205017)
文摘
本文通过在磁场下测定硅熔体的粘度,根据ηeff=（μBb）2σ关系式,间接计算出硅熔体的电导率。其结果与用其他方法测试的数值吻合。用电子导电、离子导电的变化,解释了硅熔体在1420～1690℃范围电导率的变化,研究结果对指导大直径硅单晶生长具有实际意义。
关键词
环境相
磁粘度
熔硅电导率
Keywords
environmental phase
magnetic viscosity
conductivity of silicon melt
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
半导体硅熔体电导率的间接测量
徐岳生
刘彩池
王海云
张雯
石义情
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
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