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热迁移掺杂浓度分布的测量
被引量：
4
1
作者
张治国
吴巧兰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第2期55-58,共4页
本文介绍了一种热迁移掺杂后形成的片状掺杂区纵向浓度分布的测量方法，并实际测量了约１０００微米范围内的浓度分布。对计量公式和测量误差也给了较为详细的推导和分析。实测发现热迁移掺杂后反型层的杂质浓度基本上是一恒量。
关键词
热迁移掺杂
浓度分布
测量
在线阅读
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职称材料
用石墨做电热器的热迁移掺杂设备
被引量：
5
2
作者
张治国
燕光
《电子工业专用设备》
1989年第2期29-31,共3页
本文叙述了用石墨做电热器热迁移掺杂设备的研制,给出了温度梯度的控制方法,同时对石墨电热器的实际效果进行了小结。
关键词
热迁移掺杂
电
热
器
石墨
在线阅读
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职称材料
题名
热迁移掺杂浓度分布的测量
被引量：
4
1
作者
张治国
吴巧兰
机构
内蒙古师范大学物理系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第2期55-58,共4页
文摘
本文介绍了一种热迁移掺杂后形成的片状掺杂区纵向浓度分布的测量方法，并实际测量了约１０００微米范围内的浓度分布。对计量公式和测量误差也给了较为详细的推导和分析。实测发现热迁移掺杂后反型层的杂质浓度基本上是一恒量。
关键词
热迁移掺杂
浓度分布
测量
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
用石墨做电热器的热迁移掺杂设备
被引量：
5
2
作者
张治国
燕光
机构
内蒙古师范大学物理系
出处
《电子工业专用设备》
1989年第2期29-31,共3页
文摘
本文叙述了用石墨做电热器热迁移掺杂设备的研制,给出了温度梯度的控制方法,同时对石墨电热器的实际效果进行了小结。
关键词
热迁移掺杂
电
热
器
石墨
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
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1
热迁移掺杂浓度分布的测量
张治国
吴巧兰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1994
4
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职称材料
2
用石墨做电热器的热迁移掺杂设备
张治国
燕光
《电子工业专用设备》
1989
5
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