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微型热膜传感器的水下壁面剪应力标定研究
被引量:
3
1
作者
李晓莹
李雁冰
+1 位作者
马炳和
王雷涛
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第10期11-13,16,共4页
针对水下壁面剪应力的测量需求,建立了恒流模式下微型热膜传感器的剪应力测量与标定的数学模型,设计采用了扁薄矩形水槽剪应力发生装置,并在0 ~5 Pa范围内对传感器进行了测量标定实验.实验结果验证了测量与标定模型的正确性,标定实验...
针对水下壁面剪应力的测量需求,建立了恒流模式下微型热膜传感器的剪应力测量与标定的数学模型,设计采用了扁薄矩形水槽剪应力发生装置,并在0 ~5 Pa范围内对传感器进行了测量标定实验.实验结果验证了测量与标定模型的正确性,标定实验的确定系数均超过了0.995,均方差保持在10-4量级,呈现良好的重复性与一致性,为水下壁面剪应力的测量应用奠定了重要基础.
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关键词
微型
热膜传感器
水下壁面剪应力
标定
恒流模式
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职称材料
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
被引量:
10
2
作者
马炳和
赵建国
+1 位作者
邓进军
苑伟政
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1971-1977,共7页
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从...
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。
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关键词
镍
柔性
热膜传感器
阵列
电阻温度系数
微加工
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职称材料
柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正
被引量:
6
3
作者
马炳和
王毅
+2 位作者
姜澄宇
李雁冰
王雷涛
《实验流体力学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期39-44,共6页
柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时,流体温度对传感器输出有很大影响,因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和...
柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时,流体温度对传感器输出有很大影响,因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和流体物理性质与温度的相关性,建立了流体温度与传感器过热比和标定系数的函数关系。在此基础上,提出了一种用于水下剪应力测量的温度修正方法,可以有效减小水温对传感器输出的影响。经实验验证,该方法可以使工作在25℃、28℃水温环境下的传感器输出值与其20℃标定值的相对误差从23.7%和37.1%回落到0.82%和0.83%。
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关键词
剪应力
柔性
热膜传感器
水下测量
温度修正
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职称材料
热膜式无线风速廓线仪
被引量:
4
4
作者
陈智
郭旺
+2 位作者
宣传忠
张永
武佩
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期99-102,110,共5页
针对目前常用的压差式风速廓线仪测量误差大、移动不便等问题,设计了一种热膜式无线风速廓线仪,并在风蚀风洞中进行了标定。该测试系统可实现多点数据采集和无线传输,具有结构简单、性能可靠、便于携带安装、抗污染和测速范围宽等优点...
针对目前常用的压差式风速廓线仪测量误差大、移动不便等问题,设计了一种热膜式无线风速廓线仪,并在风蚀风洞中进行了标定。该测试系统可实现多点数据采集和无线传输,具有结构简单、性能可靠、便于携带安装、抗污染和测速范围宽等优点。结果表明,经过标定后的热膜式无线风速廓线仪标定误差在0.379 8 m/s以内,所测试的风速廓线呈指数分布,符合近地表风速垂直分布规律。
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关键词
风蚀
风洞
风速廓线仪
热膜传感器
标定
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职称材料
基于连续小波变换的二维边界层分离点判定
5
作者
李晓莹
钟军威
+1 位作者
马炳和
苑伟政
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2008年第1期134-136,140,共4页
边界层分离点位置的检测是实现主动流动控制的基础和关键,采用可挠性的微型热膜传感器阵列对二维边界层分离点进行实时在线测量是一种新方法。针对小波变换在边界层分离流多尺度旋涡处理方面的优势,采用Morlet连续小波变换对传感器阵列...
边界层分离点位置的检测是实现主动流动控制的基础和关键,采用可挠性的微型热膜传感器阵列对二维边界层分离点进行实时在线测量是一种新方法。针对小波变换在边界层分离流多尺度旋涡处理方面的优势,采用Morlet连续小波变换对传感器阵列信号进行时频域分析,根据边界层分离前后脉动旋涡频率段在时域上的百分比来确定分离点位置。结果显示采用该方法可以有效地判定出边界层分离点振荡区间。
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关键词
微型
热膜传感器
阵列
边界层分离点
小波变换
时频分析
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职称材料
风沙流环境地表剪切力测量
6
作者
黄宁
杨博
+1 位作者
何畏
张洁
《实验流体力学》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第5期93-100,共8页
地表剪切力是风沙运动的关键驱动力,在风沙运动研究中非常重要,但目前针对风沙流环境地表剪切力的实验测量却较为匮乏,已经成为风沙运动研究深入发展的瓶颈。本文介绍了一种基于热膜技术的适用于风沙流环境地表剪切力精确测量的方法,使...
地表剪切力是风沙运动的关键驱动力,在风沙运动研究中非常重要,但目前针对风沙流环境地表剪切力的实验测量却较为匮乏,已经成为风沙运动研究深入发展的瓶颈。本文介绍了一种基于热膜技术的适用于风沙流环境地表剪切力精确测量的方法,使用热膜传感器和二维热线探头对净风条件下的地表剪切力进行了测量,结果显示:热膜传感器对地表剪切力有较好的响应,其与二维热线探头对摩阻风速的测量结果相差小于6.6%。热膜传感器对方柱绕流条件下地表剪切力的测量结果与OpenFOAM数值模拟结果具有较好的一致性,进一步证明了热膜传感器测量地表剪切力的可行性。热膜传感器的沙粒撞击实验结果表明:沙粒撞击对热膜信号的影响可以忽略,在风沙流环境中可以采用热膜传感器对地表剪切力进行有效测量。基于该技术测量了风沙流环境地表剪切力沿流向的空间分布特征,采用实测方式获得了风沙流环境地表剪切力的空间分布规律。
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关键词
热膜传感器
风沙流
地表剪切力
二维
热
线探头
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职称材料
实用化壁面切应力测量技术的综述与展望
被引量:
7
7
作者
高南
刘玄鹤
《空气动力学学报》
CSCD
北大核心
2023年第3期1-24,I0001,共25页
本文围绕“实用化”这一主题对低速条件下常用的壁面切应力测量方法进行综述。实用化壁面切应力测量技术指的是能够方便、可靠、经济地测量运载工具局部摩阻的方法。具体包括天平法、近壁速度法、普莱斯顿管法、图像法、热膜法等。在实...
本文围绕“实用化”这一主题对低速条件下常用的壁面切应力测量方法进行综述。实用化壁面切应力测量技术指的是能够方便、可靠、经济地测量运载工具局部摩阻的方法。具体包括天平法、近壁速度法、普莱斯顿管法、图像法、热膜法等。在实用化过程中,现有的测量方法展现出各自的优缺点,其中缺点包括:不便于安装、使用与维护;传感器对运载工具姿态、振动、加速度、温度变化等因素有过大的响应;传感器无法标定或标定结果不唯一;传感器结构强度弱、易损坏、易被污染或易氧化变性;传感器昂贵导致无法实现大规模部署,等等。这些缺点限制了实际应用。本文分析了多种方法的特点和局限性,介绍了应用案例,并评估了实用化潜力。本文重点介绍了新型双层热膜摩阻测量技术。该技术利用一种具有上、下两层金属膜的双层“三明治”热膜传感器测量壁面切应力,两层热膜在相同的温度下协同工作,这样下层热膜“封堵”了上层热膜产生的热量,使其仅传给流体,进而解决了困扰该技术发展的热损失问题。该方法可根据上层热膜的发热量直接计算壁面切应力的大小,这一“免标定”特性提高了测量的便利性及可靠性,令其具有良好的实用化前景。
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关键词
摩阻测量
MEMS
传感器
微型天平
热膜传感器
免标定
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职称材料
题名
微型热膜传感器的水下壁面剪应力标定研究
被引量:
3
1
作者
李晓莹
李雁冰
马炳和
王雷涛
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第10期11-13,16,共4页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2013YQ040911)
文摘
针对水下壁面剪应力的测量需求,建立了恒流模式下微型热膜传感器的剪应力测量与标定的数学模型,设计采用了扁薄矩形水槽剪应力发生装置,并在0 ~5 Pa范围内对传感器进行了测量标定实验.实验结果验证了测量与标定模型的正确性,标定实验的确定系数均超过了0.995,均方差保持在10-4量级,呈现良好的重复性与一致性,为水下壁面剪应力的测量应用奠定了重要基础.
关键词
微型
热膜传感器
水下壁面剪应力
标定
恒流模式
Keywords
micro hot-film sensor
underwater wall shear stress
calibration
constant current(CC) mode
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
被引量:
10
2
作者
马炳和
赵建国
邓进军
苑伟政
机构
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1971-1977,共7页
基金
国家自然科学基金航空飞行器重大研究计划项目(No.90305017)
航空科学基金项目(No.04I53074)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z347)
文摘
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。
关键词
镍
柔性
热膜传感器
阵列
电阻温度系数
微加工
Keywords
nickel
flexible hot film sensor array
temperature coefficient of resistance
mierofabrication
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正
被引量:
6
3
作者
马炳和
王毅
姜澄宇
李雁冰
王雷涛
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
出处
《实验流体力学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期39-44,共6页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ040911)
文摘
柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时,流体温度对传感器输出有很大影响,因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和流体物理性质与温度的相关性,建立了流体温度与传感器过热比和标定系数的函数关系。在此基础上,提出了一种用于水下剪应力测量的温度修正方法,可以有效减小水温对传感器输出的影响。经实验验证,该方法可以使工作在25℃、28℃水温环境下的传感器输出值与其20℃标定值的相对误差从23.7%和37.1%回落到0.82%和0.83%。
关键词
剪应力
柔性
热膜传感器
水下测量
温度修正
Keywords
shear stress
flexible
thermal sensor
underwater measurement
temperature cor-rection
分类号
TH823 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
热膜式无线风速廓线仪
被引量:
4
4
作者
陈智
郭旺
宣传忠
张永
武佩
机构
内蒙古农业大学机电工程学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期99-102,110,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(40861013)
文摘
针对目前常用的压差式风速廓线仪测量误差大、移动不便等问题,设计了一种热膜式无线风速廓线仪,并在风蚀风洞中进行了标定。该测试系统可实现多点数据采集和无线传输,具有结构简单、性能可靠、便于携带安装、抗污染和测速范围宽等优点。结果表明,经过标定后的热膜式无线风速廓线仪标定误差在0.379 8 m/s以内,所测试的风速廓线呈指数分布,符合近地表风速垂直分布规律。
关键词
风蚀
风洞
风速廓线仪
热膜传感器
标定
Keywords
Wind erosion, Wind tunnel, Wind profiler, Hot-film sensor, Calibration
分类号
TH765.43 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
基于连续小波变换的二维边界层分离点判定
5
作者
李晓莹
钟军威
马炳和
苑伟政
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2008年第1期134-136,140,共4页
基金
国家自然科学基金项目(90305017)
西北工业大学教改项目(W015159)资助
文摘
边界层分离点位置的检测是实现主动流动控制的基础和关键,采用可挠性的微型热膜传感器阵列对二维边界层分离点进行实时在线测量是一种新方法。针对小波变换在边界层分离流多尺度旋涡处理方面的优势,采用Morlet连续小波变换对传感器阵列信号进行时频域分析,根据边界层分离前后脉动旋涡频率段在时域上的百分比来确定分离点位置。结果显示采用该方法可以有效地判定出边界层分离点振荡区间。
关键词
微型
热膜传感器
阵列
边界层分离点
小波变换
时频分析
Keywords
micro-thermal-film sensor array
boundary layer separation point
wavelet transformation
time-frequency analysis
分类号
V557 [航空宇航科学与技术—人机与环境工程]
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职称材料
题名
风沙流环境地表剪切力测量
6
作者
黄宁
杨博
何畏
张洁
机构
兰州大学土木工程与力学学院
兰州大学西部灾害与环境力学教育部重点实验室
温州理工学院建筑与能源工程学院
出处
《实验流体力学》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第5期93-100,共8页
文摘
地表剪切力是风沙运动的关键驱动力,在风沙运动研究中非常重要,但目前针对风沙流环境地表剪切力的实验测量却较为匮乏,已经成为风沙运动研究深入发展的瓶颈。本文介绍了一种基于热膜技术的适用于风沙流环境地表剪切力精确测量的方法,使用热膜传感器和二维热线探头对净风条件下的地表剪切力进行了测量,结果显示:热膜传感器对地表剪切力有较好的响应,其与二维热线探头对摩阻风速的测量结果相差小于6.6%。热膜传感器对方柱绕流条件下地表剪切力的测量结果与OpenFOAM数值模拟结果具有较好的一致性,进一步证明了热膜传感器测量地表剪切力的可行性。热膜传感器的沙粒撞击实验结果表明:沙粒撞击对热膜信号的影响可以忽略,在风沙流环境中可以采用热膜传感器对地表剪切力进行有效测量。基于该技术测量了风沙流环境地表剪切力沿流向的空间分布特征,采用实测方式获得了风沙流环境地表剪切力的空间分布规律。
关键词
热膜传感器
风沙流
地表剪切力
二维
热
线探头
Keywords
hot-film probe
wind-blown sand
wall shear stress
two-dimensional hot-wire probe
分类号
O359 [理学—流体力学]
O368 [理学—流体力学]
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职称材料
题名
实用化壁面切应力测量技术的综述与展望
被引量:
7
7
作者
高南
刘玄鹤
机构
大连航华科技有限公司
出处
《空气动力学学报》
CSCD
北大核心
2023年第3期1-24,I0001,共25页
基金
国家自然基金项目(12172111,91752101)。
文摘
本文围绕“实用化”这一主题对低速条件下常用的壁面切应力测量方法进行综述。实用化壁面切应力测量技术指的是能够方便、可靠、经济地测量运载工具局部摩阻的方法。具体包括天平法、近壁速度法、普莱斯顿管法、图像法、热膜法等。在实用化过程中,现有的测量方法展现出各自的优缺点,其中缺点包括:不便于安装、使用与维护;传感器对运载工具姿态、振动、加速度、温度变化等因素有过大的响应;传感器无法标定或标定结果不唯一;传感器结构强度弱、易损坏、易被污染或易氧化变性;传感器昂贵导致无法实现大规模部署,等等。这些缺点限制了实际应用。本文分析了多种方法的特点和局限性,介绍了应用案例,并评估了实用化潜力。本文重点介绍了新型双层热膜摩阻测量技术。该技术利用一种具有上、下两层金属膜的双层“三明治”热膜传感器测量壁面切应力,两层热膜在相同的温度下协同工作,这样下层热膜“封堵”了上层热膜产生的热量,使其仅传给流体,进而解决了困扰该技术发展的热损失问题。该方法可根据上层热膜的发热量直接计算壁面切应力的大小,这一“免标定”特性提高了测量的便利性及可靠性,令其具有良好的实用化前景。
关键词
摩阻测量
MEMS
传感器
微型天平
热膜传感器
免标定
Keywords
skin friction measurement
MEMS sensor
miniature force balance
hot-film sensor
calibration-free
分类号
O357.43 [理学—流体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型热膜传感器的水下壁面剪应力标定研究
李晓莹
李雁冰
马炳和
王雷涛
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014
3
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职称材料
2
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
马炳和
赵建国
邓进军
苑伟政
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
10
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职称材料
3
柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正
马炳和
王毅
姜澄宇
李雁冰
王雷涛
《实验流体力学》
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
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职称材料
4
热膜式无线风速廓线仪
陈智
郭旺
宣传忠
张永
武佩
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
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职称材料
5
基于连续小波变换的二维边界层分离点判定
李晓莹
钟军威
马炳和
苑伟政
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
6
风沙流环境地表剪切力测量
黄宁
杨博
何畏
张洁
《实验流体力学》
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
7
实用化壁面切应力测量技术的综述与展望
高南
刘玄鹤
《空气动力学学报》
CSCD
北大核心
2023
7
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职称材料
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