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CMOS数字热真空传感器芯片设计
被引量：
1
1
作者
李金凤
刘沁
+1 位作者
张治国
曹顺
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期905-908,共4页
基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统。工作在恒电流模式的传感器,气压敏感区间为1～105Pa。运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨...
基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统。工作在恒电流模式的传感器,气压敏感区间为1～105Pa。运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨的共模输入范围。为满足精度要求,对SAR ADC中数模转换器电容阵列进行优化设计,并采用输出失调存储技术消除比较器的失调电压。数字电路采用查表法将电压信号变换为气压值。结果表明:运算放大器能无失真地驱动200Ω电阻,模数转换器的有效位为9.5 bit。运算放大器、模数转换器、数字信号处理电路性能良好,满足传感器系统要求。
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关键词
集成
传感器
热真空传感器
模数转换器
运算放大器
逐次逼近寄存器
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职称材料
题名
CMOS数字热真空传感器芯片设计
被引量：
1
1
作者
李金凤
刘沁
张治国
曹顺
机构
沈阳化工大学信息工程学院
沈阳仪表科学研究院传感器国家工程研究中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期905-908,共4页
基金
辽宁省教育厅科研项目资助(L2011064)
文摘
基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统。工作在恒电流模式的传感器,气压敏感区间为1～105Pa。运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨的共模输入范围。为满足精度要求,对SAR ADC中数模转换器电容阵列进行优化设计,并采用输出失调存储技术消除比较器的失调电压。数字电路采用查表法将电压信号变换为气压值。结果表明:运算放大器能无失真地驱动200Ω电阻,模数转换器的有效位为9.5 bit。运算放大器、模数转换器、数字信号处理电路性能良好,满足传感器系统要求。
关键词
集成
传感器
热真空传感器
模数转换器
运算放大器
逐次逼近寄存器
Keywords
integrated sensor
thermal vacuum sensor
analog to digital converter（ADC）
operational amplifier
successive approximation register（SAR）
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CMOS数字热真空传感器芯片设计
李金凤
刘沁
张治国
曹顺
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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