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题名一种双端排布热电堆结构设计与仿真优化
被引量：1
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作者
雷程
关一浩
梁庭
武学占
白悦杭
熊继军
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机构
中北大学动态测试技术省部共建国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第5期573-580,共8页
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基金
中央引导地方科技发展资金(YDZX20201400001664)
山西省重点研发计划项目(201903D121123)。
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文摘
微机电系统(MEMS)红外热电堆是光谱仪、气体传感器、远程温度传感器等现代信息探测系统的核心工作器件,较高的表面利用率和响应度以及更简易的制备工艺将是未来该类器件制造技术的发展趋势。分别采用热偶条双端对称排布、取消红外吸收区、扩大冷端欧姆接触面积、支撑膜边缘开通绝热槽、充分发挥氮化硅钝化与红外吸收双功能作用等设计理念,对热偶条温差分布进行优化,研究热电堆性能的变化规律。采用ANSYS Workbench有限元分析软件对器件进行仿真发现:当传感器设计尺寸为1.5 mm×1.5 mm×0.3 mm,有效面积为1.21 mm^(2),绝热槽为1.1 mm×20μm时,双端开槽的热电堆探测器在具备更低制备成本的同时表现出最优性能。通过与普通双端热电堆性能进行仿真对比,发现绝热槽的引入使得探测器输出电压提升88.5%。这为未来温度传感器的设计制造提供了新颖的思路。
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关键词
热电堆红外探测器
绝热槽
双端对称排布
Ansys
workbench有限元分析
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Keywords
infrared thermopile
adiabatic groove
double-ended symmetrical arrangement
ANSYS workbench finite element analysis
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分类号
TH377
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名智能轮椅床的多方位红外体温检测系统设计
被引量：8
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作者
刘继忠
贺清云
张华
姚靖靖
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机构
南昌大学江西省机器人与焊接自动化重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012年第1期130-132,共3页
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基金
江西省科技厅科技计划资助项目(2008BA00400)
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文摘
针对智能轮椅床对人体体温采集的问题,提出了一种非接触式多方位红外体温检测的方法和系统的总体设计方案与软硬件的具体实现。该系统采用热电堆红外探测器TPS334采集温度信号,利用S3C2410内部集成的AD模块进行A/D转换,同时在软硬件方面对温度实现了补偿,进一步提高测试精度。最后给出了相关的实验验证与分析,结果表明:该系统运行稳定,效果良好,在社区医疗和医学测试领域有较好的发展前景。
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关键词
S3C2410
红外测温
热电堆红外探测器TPs334
温度补偿
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Keywords
S3C2410
infrared temperature measurement
thermopile infrared detector TPS334
temperature compensation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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