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单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器
1
作者
薛丹
王家畴
李昕欣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期822-825,共6页
在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings Inte...
在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings Inter-etch&Sealing)工艺技术使得加工后的芯片尺寸仅为0.7 mm×0.7 mm,测试结果表明:传感器灵敏度为107.88m V/(m/s)W(无放大处理),检测响应时间仅为1.53 ms,综合精度为±4%。
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关键词
热温差式流量传感器
热
隔离
单硅片单面硅微机械加工
仿真分析
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职称材料
题名
单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器
1
作者
薛丹
王家畴
李昕欣
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期822-825,共6页
基金
国家自然科学基金面上项目(61674160)
文摘
在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings Inter-etch&Sealing)工艺技术使得加工后的芯片尺寸仅为0.7 mm×0.7 mm,测试结果表明:传感器灵敏度为107.88m V/(m/s)W(无放大处理),检测响应时间仅为1.53 ms,综合精度为±4%。
关键词
热温差式流量传感器
热
隔离
单硅片单面硅微机械加工
仿真分析
Keywords
thermal flow sensor
thermal isolating
single-side silicon bulk-micromaching
simulation analysis
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器
薛丹
王家畴
李昕欣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018
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