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热流量传感器温度补偿方法研究 被引量:4
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作者 梁长垠 张守权 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第4期18-19,23,共3页
在热流量传感器测量电路中,利用惠斯登电桥平衡电路和热敏电阻器补偿不能解决流体本身温度变化带来的测量误差。介绍一种用于补偿流体温度变化引起测量误差的方法。试验结果表明:采用该方法进行温度补偿后,可以基本消除流体温度变化引... 在热流量传感器测量电路中,利用惠斯登电桥平衡电路和热敏电阻器补偿不能解决流体本身温度变化带来的测量误差。介绍一种用于补偿流体温度变化引起测量误差的方法。试验结果表明:采用该方法进行温度补偿后,可以基本消除流体温度变化引起的测量误差,提高系统的测量精度。 展开更多
关键词 热流量传感器 温度补偿 斜率补偿
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结构参数对硅热流量传感器热性能的影响 被引量:2
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作者 高冬晖 秦明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期45-46,共2页
基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型。在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论。
关键词 热流量传感器 热模拟 ANSYS模拟
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基于双原理的热流量传感器的研究 被引量:3
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作者 尚丽平 郑德忠 +1 位作者 谢华冰 余思源 《传感器技术》 CSCD 2000年第4期14-16,共3页
介绍了一种基于测热原理的新型流量传感器 ,它采用加热器对流体加热 ,利用薄膜温度传感器 ,通过测量流体的温度差和热脉冲上升时间 ,实现流量的测量。两种测量方法相结合使得测量范围有了较大的提高 (0 .1~ 15 0mm/s) ,响应时间缩短到... 介绍了一种基于测热原理的新型流量传感器 ,它采用加热器对流体加热 ,利用薄膜温度传感器 ,通过测量流体的温度差和热脉冲上升时间 ,实现流量的测量。两种测量方法相结合使得测量范围有了较大的提高 (0 .1~ 15 0mm/s) ,响应时间缩短到了 2ms,并且 ,这种传感器对杂物不敏感。 展开更多
关键词 加热器 热流量传感器 测热原理
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