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基于显微数字全息的FPA热机械灵敏度测量
1
作者
刘滨
钱晓凡
+2 位作者
曹强
荣文秀
张永安
《激光杂志》
北大核心
2017年第11期42-45,共4页
焦平面阵列是光学读出非制冷红外成像系统的重要部分。在理论分析的基础上设计了一个显微数字全息系统,测量了一种FPA的热机械灵敏度,结果为0.199deg/K。实验还发现FPA反光板上不同位置处热机械灵敏度是不同的,实验给出了热机械灵敏度...
焦平面阵列是光学读出非制冷红外成像系统的重要部分。在理论分析的基础上设计了一个显微数字全息系统,测量了一种FPA的热机械灵敏度,结果为0.199deg/K。实验还发现FPA反光板上不同位置处热机械灵敏度是不同的,实验给出了热机械灵敏度随到反光板固定端距离的变化函数关系式。
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关键词
信息光学
非制冷红外成像
焦平面阵列
热机械灵敏度
数字全息
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职称材料
电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计
被引量：
1
2
作者
李博翰
于晓梅
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期762-767,共6页
设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7...
设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7 W/K,热机械灵敏度为162nm/K,热时间常数为35ms,该热时间常数满足人眼识别频率的需要。讨论了焦平面阵列能够高灵敏度工作的关键参数—噪声等效温差,分析计算显示,得到噪声等效温差为6mK。进行了仿真计算,得到的噪声等效温差为5mK,与计算结果非常吻合。实验表明,该系统的噪声等效温差足够小,可满足稳定输出信号的需要。最后,基于牺牲层工艺制备了长支腿结构焦平面阵列,验证了制备工艺的可行性。
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关键词
红外焦平面阵列
热机械灵敏度
热时间常数
噪声等效温差
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职称材料
题名
基于显微数字全息的FPA热机械灵敏度测量
1
作者
刘滨
钱晓凡
曹强
荣文秀
张永安
机构
昆明理工大学理学院
出处
《激光杂志》
北大核心
2017年第11期42-45,共4页
文摘
焦平面阵列是光学读出非制冷红外成像系统的重要部分。在理论分析的基础上设计了一个显微数字全息系统,测量了一种FPA的热机械灵敏度,结果为0.199deg/K。实验还发现FPA反光板上不同位置处热机械灵敏度是不同的,实验给出了热机械灵敏度随到反光板固定端距离的变化函数关系式。
关键词
信息光学
非制冷红外成像
焦平面阵列
热机械灵敏度
数字全息
Keywords
information optics
uncooled infrared imaging
focal plane arrays
thermo- mechanical sensitivity
digital holographic
分类号
O438 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计
被引量：
1
2
作者
李博翰
于晓梅
机构
北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期762-767,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61036006)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA04Z316)
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2009CB320305)
文摘
设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7 W/K,热机械灵敏度为162nm/K,热时间常数为35ms,该热时间常数满足人眼识别频率的需要。讨论了焦平面阵列能够高灵敏度工作的关键参数—噪声等效温差,分析计算显示,得到噪声等效温差为6mK。进行了仿真计算,得到的噪声等效温差为5mK,与计算结果非常吻合。实验表明,该系统的噪声等效温差足够小,可满足稳定输出信号的需要。最后,基于牺牲层工艺制备了长支腿结构焦平面阵列,验证了制备工艺的可行性。
关键词
红外焦平面阵列
热机械灵敏度
热时间常数
噪声等效温差
Keywords
infrared Focal Plane Array（FPA）
thermomechanical sensitivity
thermal time constant
Noise Equivalent Temperature Difference（NETD）
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于显微数字全息的FPA热机械灵敏度测量
刘滨
钱晓凡
曹强
荣文秀
张永安
《激光杂志》
北大核心
2017
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计
李博翰
于晓梅
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
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职称材料
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