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基于驱动电流的水下热敏剪应力微传感器灵敏度研究
被引量：
1
1
作者
朱鹏飞
马炳和
+2 位作者
姜澄宇
邓进军
王云龙
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第9期52-54,61,共4页
驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输...
驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I-V特性测试实验,确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压—剪应力特性测试实验,验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系,得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究,发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8mV/Pa。
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关键词
驱动电流
热敏微传感器
剪应力
水下
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职称材料
题名
基于驱动电流的水下热敏剪应力微传感器灵敏度研究
被引量：
1
1
作者
朱鹏飞
马炳和
姜澄宇
邓进军
王云龙
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第9期52-54,61,共4页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2013YQ040911)
文摘
驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I-V特性测试实验,确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压—剪应力特性测试实验,验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系,得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究,发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8mV/Pa。
关键词
驱动电流
热敏微传感器
剪应力
水下
Keywords
drive current
thermal micro sensor
shear stress
underwater
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于驱动电流的水下热敏剪应力微传感器灵敏度研究
朱鹏飞
马炳和
姜澄宇
邓进军
王云龙
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014
1
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