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高于室温环境的热式气体微流量传感器性能分析被引量：4: 1; 作者李伟李杰超闫卫平《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期160-164,共5页; 为了探索平板微热管的传热特性,了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性,开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构,利用MEMS工艺进行加工制作,在不同环境温度下对其性... 展开更多; 关键词热式气体微流量传感器 Pt薄膜电阻流量检测系统高于室温环境; 在线阅读下载PDF 职称材料

面向呼吸监测的热式气体流量传感器设计被引量：1: 2; 作者任帅胡慧 +2 位作者张昂黄祎淼王涛《北京理工大学学报》北大核心 2025年第6期621-628,共8页; 为了优化呼吸监测气体流量传感器的体积与精度,基于国产化热式流量测量芯片,设计了一种融合热分布和恒温差模式的高精度、宽量程和快速响应气体流量传感器.首先设计了热式流量测量芯片的驱动放大电路,进行了PCB绘制及加工,使得传感器能... 展开更多; 关键词气体流量传感器微机电系统热式流量测量呼吸监测; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MEMS的量热式传感器气体流量测量的模型研究被引量：3: 3; 作者孙宏军徐浩文 +1 位作者丁红兵刘雨航《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期111-119,共9页; 气体流量测量广泛应用于呼吸监测、管道运输等领域。本研究细致分析了MEMS量热式传感器温度一维分布模型中的热边界层参数,进行了相应的经验修正。并且在温度一维分布模型的基础上,针对具有两对上下游测温电阻芯片结构的MEMS量热式传感... 展开更多; 关键词 MEMS 量热式流量传感器温度1D分布模型热边界层气体流量测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

多探头热式气体流量传感器的设计与仿真被引量：4: 4; 作者沈平平梁国伟 +1 位作者赵伟国冯洁《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期104-106,109,共4页; 在组合铂膜探头的基础上,提出了一种多探头热式气体流量传感器的结构形式,运用FLUENT软件在不同直管段条件下对其所在的管道内的流场进行仿真研究。运用多传感器数据融合的方法对每个探头所在测量点的仿真流速值进行处理融合,并与单点... 展开更多; 关键词热式气体流量传感器组合铂膜探头数据融合 FLUENT软件; 在线阅读下载PDF 职称材料

多传感器热式气体流量计的研制被引量：8: 5; 作者沈平平赵伟国《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第6期619-622,共4页; 针对大中型管道以及不规则流场中气体流量测量存在的问题，研制了一种多传感器结构的气体流量计。在测量管道中按照对数线性法选取测量特征点，采用4个热式气体流量传感器获取特征点的流量信号，利用正交多项式拟合建立特性曲线的函数... 展开更多; 关键词计量学热式气体流量计不规则流场多传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

热式微小流量传感器温度场及信号提取分析被引量：2: 6; 作者陈光锋胡向宇 +3 位作者刘泽李增科王钦惠王鷁《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1184-1190,共7页; 热式流量传感器由于其结构简单、没有机械运动部件等固有的优点,在微小流量测量领域具有明显优势。针对微小气体流量测量领域毛细取样管路及其内部气体流体,进行热力学、流体力学理论分析,配合信号处理电路的分析,提出了消除环境温度影... 展开更多; 关键词热式流量传感器温度场气体微小流量信号分析环境温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作被引量：1: 7; 作者芦琦陈翔 +1 位作者肖丽君陈迪《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1519-1523,共5页; 根据微流量传感器测热式原理,利用Comsol多物理场模拟仿真软件,对微流量传感器进行模拟仿真,分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响.在此基础上,设计了一种集成在微流体管道内的微流量传感器.以离子束刻蚀方法制作微电极,SU-8负... 展开更多; 关键词流量传感器负光刻胶微流体测热式原理; 在线阅读下载PDF 职称材料

热式质量流量传感器混合对流传热模型被引量：2: 8; 作者徐英姚浩楠 +2 位作者曹忠林张涛段春剑《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期406-412,共7页; 考虑自然对流的影响,改进King定律,深入研究热式气体质量流量传感器的混合对流传热模型.针对恒流式热式气体质量流量传感器原理样机,分析不同流速下自然对流与强迫对流的关系.从自然对流的角度进行分析,指出King定律模型中指数n与对流... 展开更多; 关键词 King定律自然对流混合对流热式气体质量流量传感器指数n 对流强度比; 在线阅读下载PDF 职称材料

电气设备中SF_6混合气体混气比检测技术的研究被引量：8: 9; 作者陈英苏镇西 +3 位作者马凤翔程伟徐霄筱朱峰《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期178-183,共6页; SF_6混合绝缘气体被认为是短期内最具发展前景的SF_6替代介质。开展电气设备中SF_6混合绝缘气体混气比检测技术研究,对SF_6混合绝缘气体电气设备开展状态评价工作具有重要作用。文中提出了基于微流量热导传感器原理的混气比检测技术,研... 展开更多; 关键词 SF6混合气体混气比微流量热导传感器检测技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高于室温环境的热式气体微流量传感器性能分析被引量：4: 1; 作者李伟李杰超闫卫平; 机构大连理工大学电子科学与技术学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期160-164,共5页; 基金国家自然科学基金项目(61376115); 文摘为了探索平板微热管的传热特性,了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性,开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构,利用MEMS工艺进行加工制作,在不同环境温度下对其性能进行了测试,得到了环境温度与热式微流量传感器性能的关系。基于MSP430单片机和C#语言自主开发了流量传感器检测系统,可对一定范围内的流量进行实时检测,并实时绘制流速随时间的变化曲线。研究表明,采用本文设计的热式微流量传感器结构,可以检测高于室温环境下的微流量气体,并可通过提高加热器温度或改变测温电阻对的测量位置来提高测量灵敏度。; 关键词热式气体微流量传感器 Pt薄膜电阻流量检测系统高于室温环境; Keywords thermal gas micro flow sensor Pt thin film resistors detection and display system higher than room temperature; 分类号 TB937 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名面向呼吸监测的热式气体流量传感器设计被引量：1: 2; 作者任帅胡慧张昂黄祎淼王涛; 机构北京理工大学自动化学院北京航天动力研究所北京理工大学郑州研究院; 出处《北京理工大学学报》北大核心 2025年第6期621-628,共8页; 基金北京自然科学基金资助项目(3232014) 国家自然科学基金资助项目(52005015)。; 文摘为了优化呼吸监测气体流量传感器的体积与精度,基于国产化热式流量测量芯片,设计了一种融合热分布和恒温差模式的高精度、宽量程和快速响应气体流量传感器.首先设计了热式流量测量芯片的驱动放大电路,进行了PCB绘制及加工,使得传感器能够在呼吸流量监测范围-200~200 L/min的情况下实现模拟量0.5~4.5 V输出;其次设计了带有支路的气体流道结构及具有良好防水性的封装结构,使得传感器满足医用呼吸监测高湿环境需求;最后完成了整体传感器的装配测试,并对传感器进行了参数标定.实验结果表明,该传感器整机功率为20 mW,流量测量误差低于±1%F.S.,响应时间低于15 ms,线性度低于±3%.; 关键词气体流量传感器微机电系统热式流量测量呼吸监测; Keywords gas flow sensor micro electromechanical systems thermal mass flowmeter respiratory monitoring; 分类号 TH772 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS的量热式传感器气体流量测量的模型研究被引量：3: 3; 作者孙宏军徐浩文丁红兵刘雨航; 机构天津大学电气自动化与信息工程学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期111-119,共9页; 基金国家自然科学基金(62373270,52276159)项目资助。; 文摘气体流量测量广泛应用于呼吸监测、管道运输等领域。本研究细致分析了MEMS量热式传感器温度一维分布模型中的热边界层参数,进行了相应的经验修正。并且在温度一维分布模型的基础上,针对具有两对上下游测温电阻芯片结构的MEMS量热式传感器,提出了一种新的传感器输出电压关于气体流量的半修正理论模型。该理论模型能够适用于不同类型的单介质气体。同时,开展了N_(2)、CO_(2)流量测量实验,与理论模型进行对比,证明所提出的理论模型可以正确预测不同气体介质的流量,其中针对CO_(2)测量介质的均方根误差为0.15%。此外,结合理论分析,提出了一种高精度,拟合形式简单、针对确定气体适用性更好的测量模型,其中针对CO_(2)测量介质的均方根误差为0.05%。; 关键词 MEMS 量热式流量传感器温度1D分布模型热边界层气体流量测量; Keywords MEMS calorimetric flow sensor temperature 1D distribution model thermal boundary layer gas flow measurement; 分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多探头热式气体流量传感器的设计与仿真被引量：4: 4; 作者沈平平梁国伟赵伟国冯洁; 机构中国计量学院计量测试工程学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第11期104-106,109,共4页; 文摘在组合铂膜探头的基础上,提出了一种多探头热式气体流量传感器的结构形式,运用FLUENT软件在不同直管段条件下对其所在的管道内的流场进行仿真研究。运用多传感器数据融合的方法对每个探头所在测量点的仿真流速值进行处理融合,并与单点仿真结果进行比较。仿真结果表明:在直管段长度较短,流场分布不规则的情况下,多探头流量传感器的测量精度明显比单个探头要高。; 关键词热式气体流量传感器组合铂膜探头数据融合 FLUENT软件; Keywords thermal gas flow sensor combined platinum-film probe data fusion FLUENT software; 分类号 TB937 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多传感器热式气体流量计的研制被引量：8: 5; 作者沈平平赵伟国; 机构中国计量大学浙江省流量计量技术研究重点实验室; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第6期619-622,共4页; 基金浙江省教育厅科研项目(Y201431549); 文摘针对大中型管道以及不规则流场中气体流量测量存在的问题，研制了一种多传感器结构的气体流量计。在测量管道中按照对数线性法选取测量特征点，采用4个热式气体流量传感器获取特征点的流量信号，利用正交多项式拟合建立特性曲线的函数关系式。在不规则流场条件下对200mm口径样机进行实验。实验结果表明，多传感器测量方法能够明显改善单传感器的测量精度不高的问题。; 关键词计量学热式气体流量计不规则流场多传感器; Keywords metrology thermal gas flowmeter irregular flow field muhi-sensor; 分类号 TB937 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热式微小流量传感器温度场及信号提取分析被引量：2: 6; 作者陈光锋胡向宇刘泽李增科王钦惠王鷁; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1184-1190,共7页; 文摘热式流量传感器由于其结构简单、没有机械运动部件等固有的优点,在微小流量测量领域具有明显优势。针对微小气体流量测量领域毛细取样管路及其内部气体流体,进行热力学、流体力学理论分析,配合信号处理电路的分析,提出了消除环境温度影响的电路方法,同时使用MATLAB语言,用数值计算方法,获得了气体流量与毛细取样管路温度场之间的关系,进一步获得了热式流量传感器动态特性的传递函数,并对不同组态模式下的热式传感器在微小流量下的测量性能进行了仿真分析和实验,获得了有益的结果。; 关键词热式流量传感器温度场气体微小流量信号分析环境温度; Keywords Thermal mass flow sensor Temperature field Gas Micro mass flow Signal analysis Environment temperature; 分类号 TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作被引量：1: 7; 作者芦琦陈翔肖丽君陈迪; 机构上海交通大学微纳科学技术研究院; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1519-1523,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(20905047); 文摘根据微流量传感器测热式原理,利用Comsol多物理场模拟仿真软件,对微流量传感器进行模拟仿真,分析了流量传感器的关键参数对其灵敏性的影响.在此基础上,设计了一种集成在微流体管道内的微流量传感器.以离子束刻蚀方法制作微电极,SU-8负光刻胶直接制作流道,将该负光刻胶与聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行键合封装.最后,对该微流量传感器进行了流速测试.; 关键词流量传感器负光刻胶微流体测热式原理; Keywords flow sensor negative photoresist microfluid calorimetric theory; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热式质量流量传感器混合对流传热模型被引量：2: 8; 作者徐英姚浩楠曹忠林张涛段春剑; 机构天津大学电气自动化与信息工程学院天津市过程检测与控制重点实验室中国石油长城钻探工程公司四川页岩气项目部; 出处《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期406-412,共7页; 文摘考虑自然对流的影响,改进King定律,深入研究热式气体质量流量传感器的混合对流传热模型.针对恒流式热式气体质量流量传感器原理样机,分析不同流速下自然对流与强迫对流的关系.从自然对流的角度进行分析,指出King定律模型中指数n与对流强度比Gr/Re^2之间的变化规律.在天津大学常压气体流量标准实验装置上进行实验研究,实验管道管径为200,mm,流速范围为0.03~23.05,m/s.结合实验数据,建立指数n的数学模型,改进King定律模型,在低流速范围(0.03~1.00,m/s)内,与原King定律模型比较,质量流量测量精度有较大提高,平均误差从69.27%,减小到1.15%,.; 关键词 King定律自然对流混合对流热式气体质量流量传感器指数n 对流强度比; Keywords King’s law free convection mixed convection thermal gas mass flow sensor exponent n convection intensity ratio; 分类号 TH814 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电气设备中SF_6混合气体混气比检测技术的研究被引量：8: 9; 作者陈英苏镇西马凤翔程伟徐霄筱朱峰; 机构国网安徽省电力公司电力科学研究院国网公司六氟化硫气体特性分析与净化处理技术重点实验室; 出处《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期178-183,共6页; 文摘 SF_6混合绝缘气体被认为是短期内最具发展前景的SF_6替代介质。开展电气设备中SF_6混合绝缘气体混气比检测技术研究,对SF_6混合绝缘气体电气设备开展状态评价工作具有重要作用。文中提出了基于微流量热导传感器原理的混气比检测技术,研制了混气比检测装置,可检测SF_6/CF_4、SF_6/N_2、SF_6/Air、SF_6/CO_2标准混合气体,检测值与标准值偏差均在1.5%以内;而且该检测装置可运用于现场混合气体电气设备中的混气比例检测,耗气量小,方便快速,大量试验数据验证了检测结果的准确性及现场检测的可行性。; 关键词 SF6混合气体混气比微流量热导传感器检测技术; Keywords SF6 gas mixtures mixing ratio thermal conductivity sensor detection technology; 分类号 TM507 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	高于室温环境的热式气体微流量传感器性能分析	李伟李杰超闫卫平	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	面向呼吸监测的热式气体流量传感器设计	任帅胡慧张昂黄祎淼王涛	《北京理工大学学报》北大核心	2025	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于MEMS的量热式传感器气体流量测量的模型研究	孙宏军徐浩文丁红兵刘雨航	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	多探头热式气体流量传感器的设计与仿真	沈平平梁国伟赵伟国冯洁	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2010	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	多传感器热式气体流量计的研制	沈平平赵伟国	《计量学报》 CSCD 北大核心	2016	8	在线阅读下载PDF 职称材料
6	热式微小流量传感器温度场及信号提取分析	陈光锋胡向宇刘泽李增科王钦惠王鷁	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作	芦琦陈翔肖丽君陈迪	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	热式质量流量传感器混合对流传热模型	徐英姚浩楠曹忠林张涛段春剑	《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CSCD 北大核心	2018	2	在线阅读下载PDF 职称材料
9	电气设备中SF_6混合气体混气比检测技术的研究	陈英苏镇西马凤翔程伟徐霄筱朱峰	《高压电器》 CAS CSCD 北大核心	2016	8	在线阅读下载PDF 职称材料