基于MEMS技术的微型热导检测器的研制 被引量：3

1

作者 孙建海 崔大付 +3 位作者 张璐璐 任艳飞 李辉 陈兴 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期318-320,共3页

文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex 7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻,而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻... 文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex 7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻,而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到,热导池的体积为0.4μL.这种热导检测器具有灵敏度高,不受气流影响,不易氧化等特点,适用各种混合气体分离检测。 展开更多

关键词 热导检测器 热敏电阻 热导池

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利用热导检测器实时检测混合气体组分含量的方法及装置 被引量：4

2

作者 费广平 李瑞军 +1 位作者 解东来 乔伟艳 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期2257-2260,共4页

化工生产过程中,经常需要对混合气体中某一组分的含量进行实时检测。本文提出了一种利用热导检测器实时检测混合气体中某一组分浓度变化的方法及装置,详细介绍了该新型检测系统的原理、构造和使用方法。采用该装置对某流化床冷态模型中... 化工生产过程中,经常需要对混合气体中某一组分的含量进行实时检测。本文提出了一种利用热导检测器实时检测混合气体中某一组分浓度变化的方法及装置,详细介绍了该新型检测系统的原理、构造和使用方法。采用该装置对某流化床冷态模型中示踪气体的浓度进行了检测验证,实验结果表明,该套装置操作简单,通用性强,准确度较高。 展开更多

关键词 热导检测器 实时检测 气体组分

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供气相色谱仪使用的热导检测器的设计与实现 被引量：5

3

作者 毛秀芬 靳斌 苏垒 《色谱》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期781-785,共5页

为了提高气相色谱仪用热导检测器的性能,设计了热导检测器的精密恒流源和差压检测电路。恒流源由场效应管IRF460、运算放大器AD8672和线性光耦HCNR201构成,低噪声电桥差压检测电路由2片AD8597构成。建立了差压检测电路的噪声模型,计算... 为了提高气相色谱仪用热导检测器的性能,设计了热导检测器的精密恒流源和差压检测电路。恒流源由场效应管IRF460、运算放大器AD8672和线性光耦HCNR201构成,低噪声电桥差压检测电路由2片AD8597构成。建立了差压检测电路的噪声模型,计算了噪声理论值。实际测试结果表明,该热导检测器的基线噪声达到4μV,50min的基线漂移为15μV,恒流源波动接近1μA,优于现有热导检测器的技术指标。所介绍的设计方案和噪声分析方法对热导检测器的电路设计有较大的参考价值。 展开更多

关键词 气相色谱仪 热导检测器 恒流源 微弱信号检测 设计

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微型气相色谱仪热导检测器放大电路设计 被引量：7

4

作者 刘鸿飞 陈忠 《色谱》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期737-742,共6页

Agilent公司生产的Agilent3000+系列色谱仪是微型气相色谱仪(micro GC)的典型代表,其热导检测器的信号放大电路和模数转换器(analog-to-digital convertor,ADC)存在功耗大、工作温度过高等不足。文中分析了microGC电路的功能需求,从选... Agilent公司生产的Agilent3000+系列色谱仪是微型气相色谱仪(micro GC)的典型代表,其热导检测器的信号放大电路和模数转换器(analog-to-digital convertor,ADC)存在功耗大、工作温度过高等不足。文中分析了microGC电路的功能需求,从选用低噪声的24bitΔ-ΣADC ADS1255入手,设计了高共模电压容限、低噪声的全差分放大电路及其他外围电路,并且对全差分放大电路建立了噪声模型,计算了其噪声理论值,优化了系统设计参数。另外,还设计了一个测试平台,对所设计的全差分放大电路和ADC的性能进行了全面的测试评估,结果表明新设计的热导检测器放大电路与ADC的总噪声(以美国材料与试验协会(ASTM)标准值计)仅为1.25μV,总功耗降低了3.7W,满足micro GC的功能需求,而且可靠性高、体积小、结构简单,可用于新一代micro GC的研发和生产。 展开更多

关键词 微型气相色谱仪 热导检测器 低噪声 全差分放大电路 模数转换器

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微型热导检测器的研究进展 被引量：5

5

作者 张敏刚 胡君杰 +7 位作者 熊可 潘义 王少楠 范挺 周理 谷雨 周玉龙 许向东 《中国测试》 CAS 北大核心 2020年第8期1-8,共8页

热导检测器是气相色谱仪的关键部件,主要用于气体成分和浓度的检测。与传统热导检测器相比较,微型热导检测器(μTCD)具有质量轻、体积小、灵敏度高等优点,能够集成到便携式气相色谱仪中,符合当前气相色谱仪微型化的发展趋势。该文系统... 热导检测器是气相色谱仪的关键部件,主要用于气体成分和浓度的检测。与传统热导检测器相比较,微型热导检测器(μTCD)具有质量轻、体积小、灵敏度高等优点,能够集成到便携式气相色谱仪中,符合当前气相色谱仪微型化的发展趋势。该文系统概括μTCD的研究理论,从优化μTCD性能的角度,详细比较4种典型的μTCD的结构及其制备方法,并且基于μTCD热导池的封装技术,对其发展趋势进行展望。分析结果表明,当μTCD的热导池热丝支撑梁采用Si/SiNx复合结构时,输出信号可靠,检测灵敏度高。另外,与静电键合技术相比较,新型低温封装技术能够在室温条件下进行,更有利于检测到稳定的输出信号。 展开更多

关键词 微型热导检测器 热导池 灵敏度 综述

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微型热导检测器温控模块研究 被引量：3

6

作者 游文斌 冯飞 +3 位作者 俞正寅 戈肖鸿 刘明 李昕欣 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第2期11-13,17,共4页

作为微型气相色谱仪(Micro GC)的关键部件的微型热导检测器(Micro TCD),其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块... 作为微型气相色谱仪(Micro GC)的关键部件的微型热导检测器(Micro TCD),其噪声主要来自于温度波动和气流抖动等因素。从理论上分析了Micro TCD噪声的主要来源,使用COMSOL仿真得到了温度波动对系统噪声的影响,并详述了Micro TCD加热模块的电路部分和算法部分。测试表明:Micro TCD的温度波动约为0.09℃,达到了商用GC控温精度的标准。 展开更多

关键词 微型气相色谱仪 热导检测器 噪声 PID算法

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热导池检测器低压气相色谱的性能研究 被引量：2

7

作者 周宇 陈贻文 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1997年第5期23-26,共4页

低压下，载气流经色谱柱及检测器的速度加快，峰扩展减弱，同时柱效和检测灵敏度提高．对低压色谱过程的传质系数和分离性能进行了探讨．

关键词 低压气相色谱 传质系数 气相色谱 热导池 检测器

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煤炭元素分析仪中高灵敏度热导检测器的研究 被引量：2

8

作者 胡彪 郭志明 +2 位作者 徐开群 谭中柱 何帅 《中国测试》 CAS 北大核心 2022年第11期120-125,137,共7页

根据热导检测器的工作原理,分析影响其灵敏度的主要因素,并建立检测器的热平衡模型,可指导优化其性能设计。通过采用四壁直通式流通结构,选用10 kΩNTC热敏电阻作为热敏元件,设计稳定的恒流电源、高精度控温电路和信号处理电路,研制出... 根据热导检测器的工作原理,分析影响其灵敏度的主要因素,并建立检测器的热平衡模型,可指导优化其性能设计。通过采用四壁直通式流通结构,选用10 kΩNTC热敏电阻作为热敏元件,设计稳定的恒流电源、高精度控温电路和信号处理电路,研制出高灵敏度的煤炭元素分析仪用热导检测器。经测试,检测器基线噪声为1.5μV,30 min内的基线漂移为8μV,灵敏度为12288 mV·mL/mg,碳元素检出限为28.4μg/g,氢元素检出限为28.8μg/g,氮元素检出限为11.3μg/g,满足高通量煤炭元素分析仪多组分联测需求。 展开更多

关键词 热导检测器 灵敏度 热平衡 检出限

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微型热导检测器气相色谱法在天然气总硫含量测定中的应用 被引量：5

9

作者 王晓琴 曾文平 +1 位作者 蔡黎 李晓红 《石油与天然气化工》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期106-113,121,共9页

建立了微型热导检测器(μTCD)气相色谱法测定天然气中总硫含量的方法。在优化的实验条件下,评价了方法的可靠性,探讨了分析方法的有效性、重复性、准确性和烃类组分对待测目标物的影响,在天然气气质组分不含丁烷及以上组分的条件下,方... 建立了微型热导检测器(μTCD)气相色谱法测定天然气中总硫含量的方法。在优化的实验条件下,评价了方法的可靠性,探讨了分析方法的有效性、重复性、准确性和烃类组分对待测目标物的影响,在天然气气质组分不含丁烷及以上组分的条件下,方法的定性重复性(色谱峰保留时间的相对标准偏差)≤0.3%,定量重复性(测量结果的相对标准偏差)≤2%,准确性的分析偏差≤5%,不同测量方法的比对结果满足GB/T 11060.8-2020总硫测定方法仲裁标准中再现性的要求。μTCD气相色谱法与常规气相色谱仪相比,具有灵敏度高、分析周期短、操作简便、运行成本低等特点,容易实现在线检测,对于气质组分中不含丁烷及以上组分时,该方法优势显著。 展开更多

关键词 天然气 微型热导检测器 气相色谱法 硫化合物 总硫含量

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毛细管色谱柱-国产热导检测器系统的改装

10

作者 王建 秦金平 +1 位作者 周力 高记 《理化检验（化学分册）》 CSCD 北大核心 2017年第5期555-558,共4页

用于气相色谱分析的检测器种类繁多,其中以热导检测器（TCD）、氢火焰离子化检测器（FID）最为常用。但有些物质在氢火焰中基本没有响应,用FID不能解决这些检测问题。所以,在色谱分析工作中对TCD的研究具有重要意义。国产热导型气相色... 用于气相色谱分析的检测器种类繁多,其中以热导检测器（TCD）、氢火焰离子化检测器（FID）最为常用。但有些物质在氢火焰中基本没有响应,用FID不能解决这些检测问题。所以,在色谱分析工作中对TCD的研究具有重要意义。国产热导型气相色谱仪死体积大,灵敏度相对较低,通常选用填充柱与其使用。 展开更多

关键词 热导检测器 毛细管色谱柱 气相色谱仪 死体积 填充柱 氢火焰 进样器 乙烯基三氯硅烷 三氯氢硅 理论塔板数

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顶空毛细管气相色谱-热导检测器法测定抗菌药物中的水分 被引量：1

11

作者 符传武 洪薇 +4 位作者 钟文俊 覃华亮 覃子龙 李俊霖 刘永逸 《医药导报》 CAS 北大核心 2019年第9期1207-1211,共5页

目的建立测定抗菌药物中水分含量的顶空毛细管气相色谱法。方法采用顶空毛细管气相色谱-热导检测器法,使用AgilentHP-PLOT/Q毛细管色谱柱(30m×0.530mm,40μm),载气为高纯氦气,流量3mL·min^-1,进样量250μL,分流比20:1,进样口... 目的建立测定抗菌药物中水分含量的顶空毛细管气相色谱法。方法采用顶空毛细管气相色谱-热导检测器法,使用AgilentHP-PLOT/Q毛细管色谱柱(30m×0.530mm,40μm),载气为高纯氦气,流量3mL·min^-1,进样量250μL,分流比20:1,进样口温度为200℃;柱升温程序:初始温度150℃,保持6min,以60℃·min^-1的速率升到250℃,保持5min;热导检测器温度为250℃,电流为70mA。结果水在1.717~16.667mg·mL^-1范围内,峰面积与其浓度线性关系良好(r=0.9998),平均回收率为92.76%~103.55%,重复性实验RSD为4.7%(n=6)。结论该方法准确,简便,快速,可用于测定抗菌药物中的水分。 展开更多

关键词 抗菌药物 水分 顶空毛细管气相色谱 热导检测器

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热导检测技术在线分析氢同位素气体 被引量：5

12

作者 叶小球 秦城 +1 位作者 桑革 彭丽霞 《核化学与放射化学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期98-102,共5页

以高纯氕作载气,对热导检测技术（TCD）在线分析氢同位素气体进行了实验研究,考察了进样压力、氘丰度以及样品中HD含量对测量结果的影响。实验结果表明,TCD对氘的响应与氘的压力呈良好的线性关系;对已知氘丰度为1%～90%的氕氘混合物样... 以高纯氕作载气,对热导检测技术（TCD）在线分析氢同位素气体进行了实验研究,考察了进样压力、氘丰度以及样品中HD含量对测量结果的影响。实验结果表明,TCD对氘的响应与氘的压力呈良好的线性关系;对已知氘丰度为1%～90%的氕氘混合物样品进行了测定,测量结果的误差与氕氘混合气体中的HD丰度成正比,绝对误差范围在0.000～0.025。 展开更多

关键词 热导检测器 氢同位素 分析

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基于微机电系统技术的微型气相色谱检测器在测定白酒微量乙酸乙酯中的应用

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作者 彭强 邢婉丽 +1 位作者 梁冬 程京 《分析科学学报》 CAS CSCD 2006年第6期723-725,共3页

本文构建了一种新型的用于微型化气相色谱的热导检测器(TCD)。在优化的色谱条件下测定了白酒中微量乙酸乙酯的含量。TCD检测器的测定结果与商用火焰离子化检测器(FID)的测定结果一致。

关键词 气相色谱 微型化热导检测器 FID

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热导校正因子的估算以及在工业氯甲烷生产中的应用

14

作者 李洪宽 《色谱》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期152-154,共3页

热导校正因子的估算以及在工业氯甲烷生产中的应用李洪宽（山东省化工研究院色谱中心济南２５００１４）关键词气相色谱法，一氯甲烷，热导检测器，校正因子１前言热导检测器定量校正因子的测定和计算是气相色谱热导定量的关键。近年来... 热导校正因子的估算以及在工业氯甲烷生产中的应用李洪宽（山东省化工研究院色谱中心济南２５００１４）关键词气相色谱法，一氯甲烷，热导检测器，校正因子１前言热导检测器定量校正因子的测定和计算是气相色谱热导定量的关键。近年来国内发表的气相色谱文章中有关校正因... 展开更多

关键词 热导检测器 校正因子 氯甲烷 气相色谱

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热导式氢气纯度分析仪的设计 被引量：3

15

作者 王凯 《现代电子技术》 2005年第19期82-84,共3页

热导检测器是利用被测组分和参考气的热导系数不同而响应的浓度型检测器,是一种非破坏性检测器,可与其他检测器联用。本文介绍了一种利用热导检测器测量氢气纯度的方法,提出了热导式氢气纯度分析仪的总体设计方案。本设计的特点是将参考... 热导检测器是利用被测组分和参考气的热导系数不同而响应的浓度型检测器,是一种非破坏性检测器,可与其他检测器联用。本文介绍了一种利用热导检测器测量氢气纯度的方法,提出了热导式氢气纯度分析仪的总体设计方案。本设计的特点是将参考气(氮气)直接密封于热导检测器中,测量时不用再向仪器持续输入参考气,再利用数字温度传感器DS18B20检测温度,对恒流源及运放的温漂进行补偿。主要介绍了氢气热导池检测器、信号处理电路、键盘显示等电路的工作原理及部分程序的设计思想。并给出了样机的应用测试数据。 展开更多

关键词 热导池检测器 89C58 氢气纯度 热导系数

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气相色谱法快速测定烟用滤棒中水分含量

16

作者 徐淑浩 饶颖 +3 位作者 凌春丽 周沅桢 白永忠 关斌 《农产品加工》 2025年第4期51-53,57,共4页

建立了气相色谱(GC)法快速测定烟用滤棒中水分含量的分析方法。采用异丙醇-乙醇内标溶剂体系,以乙醇为内标、异丙醇为萃取试剂,通过气相色谱-热导检测器(GC-TCD)检测,在恒温恒湿环境条件下进行振荡萃取处理的分析途径,与已实施的行业标... 建立了气相色谱(GC)法快速测定烟用滤棒中水分含量的分析方法。采用异丙醇-乙醇内标溶剂体系,以乙醇为内标、异丙醇为萃取试剂,通过气相色谱-热导检测器(GC-TCD)检测,在恒温恒湿环境条件下进行振荡萃取处理的分析途径,与已实施的行业标准方法进行了对比。结果表明,该方法的定量限为0.043 mg/mL,加标回收率为98.68%,变异系数为2.06%,同时该方法分析时间短、萃取溶液消耗量少、结果准确可靠,适合于烟用滤棒中水分含量的快速测定。 展开更多

关键词 烟用滤棒 水分 气相色谱(GC) 热导检测器(tcd)

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MEMS技术在变压器故障监测中应用研究 被引量：3

17

作者 康建爽 蒋书波 +1 位作者 程明霄 储琴 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第12期21-23,共3页

分析了变压器在线检测过程,重点分析了热导池检测器检测原理,并针对传统的热导池检测器的不足,设计了一种基于MEMS技术的热导池检测器并应用于变压器在线监测系统。测试结果证明:该装置能够满足对变压器油中微量故障特征气体的精确分析。

关键词 变压器 在线监测 故障特征气体 热导池检测器

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Agilent 3000A微型气相色谱仪在矿井气体分析中的应用 被引量：9

18

作者 张军杰 李长录 《工矿自动化》 2010年第6期106-108,共3页

针对很多操作员对Agilent 3000A微型气相色谱仪操作及条件设定不熟练的问题,详细介绍了该仪器在矿井气体分析中的使用方法,并给出了采用该仪器分析H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、C2H4、C2H6、C2H2等9种混合气体成分的结果。结果表明,使用Ag... 针对很多操作员对Agilent 3000A微型气相色谱仪操作及条件设定不熟练的问题,详细介绍了该仪器在矿井气体分析中的使用方法,并给出了采用该仪器分析H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、C2H4、C2H6、C2H2等9种混合气体成分的结果。结果表明,使用Agilent 3000A微型气相色谱仪的分析方法精度高,色谱峰形对称,便于准确定量测定,可为矿井的防灭火工作提供一定的支持。 展开更多

关键词 矿井 气相色谱仪 毛细管柱 热导检测器 气体检验 色谱峰形 AGILENT 3000A

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用气相色谱法测定碳酸二甲酯的纯度及其杂质 被引量：5

19

作者 章炜 马竞涛 王华玲 《分析测试学报》 CAS CSCD 2000年第3期58-60,共3页

提出用HP -Wax强极性毛细管柱分离,热导检测器检测,以环戊醇作内标定量,同时测定碳酸二甲酯纯度及其杂质。探讨了方法的内标校正因子、各组分的线性相关性及微量水的分离和定量等,结果令人满意。其相对标准偏差<4.6% ,绝对误差<0.... 提出用HP -Wax强极性毛细管柱分离,热导检测器检测,以环戊醇作内标定量,同时测定碳酸二甲酯纯度及其杂质。探讨了方法的内标校正因子、各组分的线性相关性及微量水的分离和定量等,结果令人满意。其相对标准偏差<4.6% ,绝对误差<0.04%。 展开更多

关键词 气相色谱法 碳酸二甲酯 热导检测器 纯度测定

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气相色谱法测定流化床部分煤气化煤气中的组分 被引量：2

20

作者 周宏仓 金保升 仲兆平 《洁净煤技术》 CAS 2003年第3期59-62,共4页

建立采用气相色谱法同时测定流化床部分煤气化煤气中5种组分的方法。采集的煤气样品由6通阀进样,TDX-01填充色谱柱分离,热导检测器检测。结果在实验浓度范围内相关系数在0 999以上,平均变异系数为1 538%。因此,气相色谱法用于流化床部... 建立采用气相色谱法同时测定流化床部分煤气化煤气中5种组分的方法。采集的煤气样品由6通阀进样,TDX-01填充色谱柱分离,热导检测器检测。结果在实验浓度范围内相关系数在0 999以上,平均变异系数为1 538%。因此,气相色谱法用于流化床部分煤气化煤气组分分析具有快速、经济、灵敏、准确、重现性好的优点。 展开更多

关键词 气相色谱法 流化床 煤气化 煤气组分测定 热导检测器

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