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热壁外延碲化镉薄膜光学特性的分析及测试 被引量:2
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作者 陈庭金 姚朝晖 +3 位作者 王履芳 汤叶华 夏朝凤 袁海荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期936-941,共6页
用热壁外延的方法,在清洁的玻璃衬底上外延生长了不同厚度的CdTe薄膜,对薄膜的本征吸收光学特性进行了全面的研究分析和测量。对玻璃衬底的样品模式:空气-CdTe薄膜-玻璃-空气系统经光照的反射、吸收和透射问题进行了严格的数学处理,给... 用热壁外延的方法,在清洁的玻璃衬底上外延生长了不同厚度的CdTe薄膜,对薄膜的本征吸收光学特性进行了全面的研究分析和测量。对玻璃衬底的样品模式:空气-CdTe薄膜-玻璃-空气系统经光照的反射、吸收和透射问题进行了严格的数学处理,给出了总反射率和透射率的表达式。用Cary5000型双光束分光光度计测试了样品薄膜的反射谱和透射谱,据测量结果经数学处理,计算得到了描述薄膜宏观光学特性的重要物理量,即薄膜的本征光学吸收系数、消光系数、折射率和联系宏观可测量与微观量之间桥梁作用的复介电函数ε=ε1-iε2。用"Tauc"作图法,得到了薄膜的光学能隙Egopt,证明了材料是直接带隙结构,得到了薄膜厚度分别为0.12、0.48、0.81μm时相应的多晶晶粒尺寸增大的样品,其光学能隙分别变窄为1.54、1.48和1.46eV,向单晶CdTe能隙值1.44eV逼近。薄膜在本征吸收的可见光区有高的吸收系数。 展开更多
关键词 热壁外延 CDTE薄膜 光学特性 测量
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热壁外延法生长Zn_(1-x)Mn_xSe半磁半导体薄膜 被引量:1
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作者 王杰 吕宏强 +3 位作者 沈军 李哲深 王建宝 沈孝良 《应用科学学报》 CAS CSCD 1992年第2期161-166,共6页
作者用热壁外延方法在(100)GaAs衬底上生长Zn_(1-x)Mn_xSe拉半磁半导体薄膜,并用X射线衍射(XRD)、喇曼散射、俄歇电子能谱(AES)等技术对薄膜性能作了研究.实验结果表明已成功地生长出(100)Zn_(1-x)Mn_xSe单晶薄膜,其中x最大达到0.17.
关键词 薄膜 热壁外延 半磁半导体 ZnMnSe
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热壁外延ZnSe单晶薄膜
3
作者 杨玉琨 吴连民 +3 位作者 孟庆巨 王海峰 杨慧 孙明岩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第1期57-60,共4页
介绍了一种结构更加简单的热壁外延装置,以及用该装置在GaAs(100)面上生长ZnSe单晶外延层的工艺。扫描电镜和X射线衍射分析表明用该装置生长的ZnSe单晶外延层是比较理想的。
关键词 热壁外延 硒化锌 薄膜 单晶
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GaAs上热壁外延Cd_(0.96)Zn_(0.04)Te薄膜
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作者 陶长远 刘达清 《红外与激光技术》 EI CSCD 1994年第3期15-17,共3页
国内首次报道用热壁外延(HWE)技术在(100)GaAs衬底上生长出Cd_(0.96)Zn_(0.04)Te(111)薄膜。结果表明,薄膜在15~20μm厚时X射线双晶衍射回摆曲线半高宽在100弧秒以下,其位错腐蚀坑... 国内首次报道用热壁外延(HWE)技术在(100)GaAs衬底上生长出Cd_(0.96)Zn_(0.04)Te(111)薄膜。结果表明,薄膜在15~20μm厚时X射线双晶衍射回摆曲线半高宽在100弧秒以下,其位错腐蚀坑密度等于甚至小于10 ̄3cm ̄(-2)薄膜组分、层厚均匀,表面光亮如镜,质量达到国际先进水平,优于国内Cd_(0.96)Zn_(0.04)Te块晶,是外延生长HgCdTe的理想替代式衬底。文章强调了生长前GaAs衬底,多晶源预处理的重要性。 展开更多
关键词 砷化镓 热壁外延 碲锌镉 薄膜
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在导电玻璃衬底上热壁外延生长GaAs薄膜
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作者 涂洁磊 陈庭金 +2 位作者 章晨静 吴长树 施兆顺 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期82-85,共4页
该文报道以导电玻璃为衬底,采用热壁外延方法,制备GaAs多晶薄膜材料.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌,x射线衍射(XRD)分析生长薄膜的结构,Raman散射(RSS)、光致发光光谱(PL)分析其光学性能.结果表明该薄膜性能良好、... 该文报道以导电玻璃为衬底,采用热壁外延方法,制备GaAs多晶薄膜材料.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌,x射线衍射(XRD)分析生长薄膜的结构,Raman散射(RSS)、光致发光光谱(PL)分析其光学性能.结果表明该薄膜性能良好、表面呈绒面结构、适合制作GaAs薄膜太阳电池.并全面分析了现有制备工艺条件对GaAs薄膜性能的影响,得出最佳的生长温度条件:源温为900~930℃,衬底温度为500℃. 展开更多
关键词 GaAs/导电玻璃 热壁外延 太阳电池 薄膜材料
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HWE生长PbTe单晶薄膜及生长机理的研究 被引量:4
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作者 杨玉琨 杨易 +3 位作者 赵斌 吴连民 姜亦忠 刘岩峰 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期249-255,共7页
本文介绍了一种简单的热壁外延(HWE)装置,和利用它在BaF_2(111)衬底上生长PbTe(111)单晶薄膜的工艺,并讨论了生长机理.
关键词 热壁外延 薄膜 单晶 碲化铅
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HWE生长大面积CdTe/CdZnTe/Si薄膜的结构和形貌分析
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作者 杨爱明 吴长树 +1 位作者 杨宇 唐利斌 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期457-459,共3页
用热壁外延法 (HWE)生长直径 30mm的CdTe/CdZnTe/Si薄膜 ,经XRD测试说明它是晶面为 (111)取向的立方闪锌矿结构。SEM对Si衬底、CdZnTe缓冲层和CdTe薄膜三层分别测试 ,结果发现 :Si衬底表面结构粗糙 ,CdZnTe缓冲层较Si衬底表面结构细致 ,... 用热壁外延法 (HWE)生长直径 30mm的CdTe/CdZnTe/Si薄膜 ,经XRD测试说明它是晶面为 (111)取向的立方闪锌矿结构。SEM对Si衬底、CdZnTe缓冲层和CdTe薄膜三层分别测试 ,结果发现 :Si衬底表面结构粗糙 ,CdZnTe缓冲层较Si衬底表面结构细致 ,CdTe薄膜较CdZnTe缓冲层表面结构光滑细密 ,即缺陷较CdZnTe缓冲层少很多。通过对该片子照像看出其表面如镜面。 展开更多
关键词 热壁外延 大面积 硅衬底 碲镉薄膜 结构 表面形貌
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