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题名金属玻璃微制造技术现状与研究进展
被引量：4
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作者
韩磊
明平美
孔泽宇
张新民
牛屾
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机构
河南理工大学机械与动力工程学院
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出处
《精密成形工程》
北大核心
2022年第3期40-49,共10页
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基金
国家自然科学基金(51875178)
河南省高校基本科研业务费专项资金(NSFRF21038)。
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文摘
金属玻璃,又称非晶态合金,因具有长程无序、短程有序的独特组织结构而拥有超常的综合性能,是制造微纳器件的理想材料之一,然而,其易过热变性且禀性钝惰硬脆,是一种典型难加工的材料之一。在分析金属玻璃组织结构特点和力学性能的基础上,按等材、减材和增材3种成形方式对金属玻璃的微制造方法与技术进行了综述。介绍各自的加工与成形原理、工艺特点、技术优势、基础应用和发展现状,分析了它们的不足与发展趋势。目前,等材成形是主流的微成形加工方法,是基于非晶材料内在特性的一种成形方式。减材与增材成形加工现阶段仍处于探索之中,工程应用案例较少,有一定的发展潜力。最后展望了金属玻璃微纳制造领域的未来发展方向与研究重点。
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关键词
金属玻璃
微纳制造
热塑性微成形
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Keywords
metallic glass
micro-nano manufacturing
thermoplastic micro-forming
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分类号
TH142
[一般工业技术—材料科学与工程]
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