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大面积高深宽比微结构硅片的热氧化实验研究 被引量:1
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作者 罗建东 周彬 +3 位作者 吕文峰 雷耀虎 郭金川 牛憨笨 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期105-110,共6页
利用大面积硅片制作X射线光栅和硅基微通道板等都涉及硅的热氧化工艺。热氧化使具有高深宽比微结构的大面积硅片产生形变,严重影响了这些器件的应用。本文以5英寸硅片为例,研究了硅基微结构在热氧化过程中的变形问题,定性分析了产生形... 利用大面积硅片制作X射线光栅和硅基微通道板等都涉及硅的热氧化工艺。热氧化使具有高深宽比微结构的大面积硅片产生形变,严重影响了这些器件的应用。本文以5英寸硅片为例,研究了硅基微结构在热氧化过程中的变形问题,定性分析了产生形变的力学因素,提出了减小形变的氧化方法。首先实验制作了具有高深宽比微结构的硅片,采用不同的氧化方法,比较了变形的大小。结果表明,通过控制热氧化过程中的温度来控制热膨胀系数和在热氧化过程中施加外部热塑应力等方法能够有效地减小热氧化变形量。 展开更多
关键词 热氧化 高深宽比 热膨胀系数 热塑性形变
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A new mathematical model for predicting flow stress of X70HD under hot deformation 被引量:2
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作者 王健 王小巩 +2 位作者 杨海涛 余超 肖宏 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期2052-2059,共8页
To realize numerical simulation of rolling and obtain the hot forming process parameters for X70 HD steel, the flow stress behaviors of X70 HD steel were investigated under different temperatures(820-1100 ℃ and stra... To realize numerical simulation of rolling and obtain the hot forming process parameters for X70 HD steel, the flow stress behaviors of X70 HD steel were investigated under different temperatures(820-1100 ℃ and strain rates(0.01-10 s-1) on a Gleeble-3500 thermo-simulation machine. A new flow stress model was established. The linear and exponential relationship methods were applied to the parameters with respect to temperature and deformation rates. The rise of curve ends under certain conditions was analyzed. The flow stress of X70 HD steel predicted by the proposed model agrees well with the experimental results. So, it greatly improves the precision of the metal thermoplastic processing through finite element method and practical application of engineering. 展开更多
关键词 flow stress dynamic recovery dynamic reerystallization Z parameter
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点焊过程的超声波图形
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《宇航材料工艺》 CAS 1976年第3期16-30,共15页
前言电阻点焊在航空工业中使用较为广泛,焊点是结构件的组成部分。为了保证产品质量,必须使焊点具有足够的强度。对此,除了材料和工艺条件的选择外,还须保证生产过程的稳定和可靠,这就需要一套检验制度。过去采用焊前、焊后试验检查,依... 前言电阻点焊在航空工业中使用较为广泛,焊点是结构件的组成部分。为了保证产品质量,必须使焊点具有足够的强度。对此,除了材料和工艺条件的选择外,还须保证生产过程的稳定和可靠,这就需要一套检验制度。过去采用焊前、焊后试验检查,依靠检验人员和工人师傅的实践经验,一般来说是可以达到目的的。但是在焊机故障或其他原因引起焊点质量的不稳定时,需要及时发现。 展开更多
关键词 焊核 冶金缺陷 点焊过程 超声波 电磁波 金属熔化 焊点质量 电极头 热塑性形变 试片 焊接压力
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