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飞秒激光烧蚀减薄石英玻璃研究进展
被引量：
5
1
作者
姚龙元
刘畅
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期345-352,共8页
飞秒激光烧蚀加工与传统皮秒或纳秒激光加工相比,具有热作用区域小、激光分辨率高、能够抑制等离子体的物理屏蔽效应等优势,因而被广泛应用。基于雪崩电离和多光子电离效应,阐述了飞秒激光烧蚀透明电介质材料机理,介绍了飞秒激光烧蚀制...
飞秒激光烧蚀加工与传统皮秒或纳秒激光加工相比,具有热作用区域小、激光分辨率高、能够抑制等离子体的物理屏蔽效应等优势,因而被广泛应用。基于雪崩电离和多光子电离效应,阐述了飞秒激光烧蚀透明电介质材料机理,介绍了飞秒激光烧蚀制备不同微结构件现状,综述了近年来国内外飞秒激光微纳加工石英玻璃烧蚀点、烧蚀线和烧蚀面微特征的研究方法和研究进展,对微功能结构件的实际应用情况进行了总结,分析了现阶段飞秒激光在加工透明电介质领域存在的不足,最后对该技术的发展进行了展望。
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关键词
激光技术
飞秒激光
石英玻璃
烧蚀减薄
微特征
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职称材料
题名
飞秒激光烧蚀减薄石英玻璃研究进展
被引量：
5
1
作者
姚龙元
刘畅
机构
山东建筑大学机电工程学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第3期345-352,共8页
文摘
飞秒激光烧蚀加工与传统皮秒或纳秒激光加工相比,具有热作用区域小、激光分辨率高、能够抑制等离子体的物理屏蔽效应等优势,因而被广泛应用。基于雪崩电离和多光子电离效应,阐述了飞秒激光烧蚀透明电介质材料机理,介绍了飞秒激光烧蚀制备不同微结构件现状,综述了近年来国内外飞秒激光微纳加工石英玻璃烧蚀点、烧蚀线和烧蚀面微特征的研究方法和研究进展,对微功能结构件的实际应用情况进行了总结,分析了现阶段飞秒激光在加工透明电介质领域存在的不足,最后对该技术的发展进行了展望。
关键词
激光技术
飞秒激光
石英玻璃
烧蚀减薄
微特征
Keywords
laser technique
femtosecond laser
quartz glass
ablation thinning
micro-features
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
V261.8 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
飞秒激光烧蚀减薄石英玻璃研究进展
姚龙元
刘畅
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2023
5
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