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点衍射干涉系统光学结构参数优化研究
被引量：
5
1
作者
邵卫红
杨甬英
+2 位作者
陈晓钰
刘东
沈亦兵
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期10-16,共7页
采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干...
采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。
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关键词
点衍射干涉检测
时域有限差分方法
衍射
波前误差
衍射
光强
光强均匀度
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职称材料
题名
点衍射干涉系统光学结构参数优化研究
被引量：
5
1
作者
邵卫红
杨甬英
陈晓钰
刘东
沈亦兵
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期10-16,共7页
基金
国家重大科技专项
现代光学仪器国家重点实验室创新基金项目(MOI201208)
文摘
采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点衍射干涉系统和Zygo干涉仪对球面镜的测量结果,得到测量面形误差的均方根之差为波长的1/1000,且获得的干涉条纹具有合适的对比度和亮度,验证了光学结构参数选择的合理性。
关键词
点衍射干涉检测
时域有限差分方法
衍射
波前误差
衍射
光强
光强均匀度
Keywords
point diffraction interferometry testing
finite difference time domain （FDTD） method
diffracted wavefronterror
diffracted intensity
intensity uniformity
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
点衍射干涉系统光学结构参数优化研究
邵卫红
杨甬英
陈晓钰
刘东
沈亦兵
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
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