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Y60A单晶炉的热场设计及测试
被引量：
1
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作者
梁秀梅
张冰毅
《电子工业专用设备》
2001年第2期21-26,共6页
结合LBO、BBO等氧化物晶体生长的工艺条件 ,在一台包含三温区的晶体生长炉中进行热场控制的实验研究 ,实验结果表明该炉室恒温区内控温精度≤± 0 2℃ ;炉温均匀度≤± 1℃。
关键词
热场设计
三温区
控温精
度
炉温均匀度
晶体炉
Y60A型
测试
晶体生长
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职称材料
题名
Y60A单晶炉的热场设计及测试
被引量：
1
1
作者
梁秀梅
张冰毅
机构
西安理工大学
出处
《电子工业专用设备》
2001年第2期21-26,共6页
文摘
结合LBO、BBO等氧化物晶体生长的工艺条件 ,在一台包含三温区的晶体生长炉中进行热场控制的实验研究 ,实验结果表明该炉室恒温区内控温精度≤± 0 2℃ ;炉温均匀度≤± 1℃。
关键词
热场设计
三温区
控温精
度
炉温均匀度
晶体炉
Y60A型
测试
晶体生长
Keywords
Heat Field
Three-Temperature Zone
Temperature Control Accuracy
Uniformity
Crystal Furnace
分类号
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
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作者
出处
发文年
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1
Y60A单晶炉的热场设计及测试
梁秀梅
张冰毅
《电子工业专用设备》
2001
1
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