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HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果(英文)
被引量：
2
1
作者
郭建
金基用
+3 位作者
林承武
明星
周伟峰
李斗熙
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期327-333,共7页
针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析。给出了...
针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析。给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明。
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关键词
半色
调
掩膜
灰色调掩膜
薄膜晶体管液晶显示器
曝光
衍射
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职称材料
题名
HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果(英文)
被引量：
2
1
作者
郭建
金基用
林承武
明星
周伟峰
李斗熙
机构
北京京东方光电科技有限公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期327-333,共7页
文摘
针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析。给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明。
关键词
半色
调
掩膜
灰色调掩膜
薄膜晶体管液晶显示器
曝光
衍射
Keywords
halftone mask
gray tone mask
TFT LCD
exposure
diffraction
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果(英文)
郭建
金基用
林承武
明星
周伟峰
李斗熙
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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