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基于SIFT技术的集成电路失效缺陷分析
被引量：
3
1
作者
刘迪
顾晓峰
+1 位作者
陆坚
梁海莲
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期336-340,共5页
激励源诱导故障测试(SIFT)是一种新型的失效定位技术,可用于集成电路和分立器件中漏电、击穿、短路等失效点的定位及失效机理的分析。在介绍SIFT技术工作原理的基础上,利用该技术进行了六反相器电路的深埋层缺陷、收发器电路中电源与地...
激励源诱导故障测试(SIFT)是一种新型的失效定位技术,可用于集成电路和分立器件中漏电、击穿、短路等失效点的定位及失效机理的分析。在介绍SIFT技术工作原理的基础上,利用该技术进行了六反相器电路的深埋层缺陷、收发器电路中电源与地之间漏电流失效和串行输出模数转换电路MOS器件欧姆短路的定位,并结合微结构观测分析了失效原因。研究结果表明,SIFT技术能有效分析光发射显微镜(EMMI)和激光光束诱导阻抗变化测试(OBIRCH)技术较难定位的缺陷,弥补了这些常规失效分析技术的不足。
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关键词
激励源诱导故障测试
失效分析
失效定位
光发射显微镜
激光光束
诱导
阻抗变化
测试
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职称材料
SOI电路可靠性筛选技术及失效机理研究
被引量：
2
2
作者
黄龙
刘迪
+1 位作者
陆坚
顾晓峰
《电子与封装》
2013年第12期30-34,共5页
可靠性筛选是提高电子产品良率的重要技术手段。针对绝缘体上硅(SOI)技术日益广泛的应用,通过大量实验研究了SOI电路的常用筛选试验,并对失效样品进行了相应的失效机理研究。首先讨论了SOI电路失效模式和筛选方法之间的关系;其次,针对三...
可靠性筛选是提高电子产品良率的重要技术手段。针对绝缘体上硅(SOI)技术日益广泛的应用,通过大量实验研究了SOI电路的常用筛选试验,并对失效样品进行了相应的失效机理研究。首先讨论了SOI电路失效模式和筛选方法之间的关系;其次,针对三款SOI电路分别开展了老炼应力、高温贮存及恒定加速度试验来进行可靠性筛选;最后,利用光发射显微镜、扫描电子显微镜、聚焦离子束和激励源诱导故障测试等失效分析手段,对失效样品进行了失效模式及机理分析,揭示了失效根源,为改进工艺、提高SOI电路可靠性提供了依据。
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关键词
可靠性筛选
绝缘体上硅
失效分析
光发射显微镜
激励源诱导故障测试
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职称材料
题名
基于SIFT技术的集成电路失效缺陷分析
被引量：
3
1
作者
刘迪
顾晓峰
陆坚
梁海莲
机构
轻工过程先进控制教育部重点实验室
中国电子科技集团公司第
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期336-340,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11074280)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(JUSRP20914,JUDCF1003)
江苏省普通高校研究生创新计划资助项目(CXLX11-0486)
文摘
激励源诱导故障测试(SIFT)是一种新型的失效定位技术,可用于集成电路和分立器件中漏电、击穿、短路等失效点的定位及失效机理的分析。在介绍SIFT技术工作原理的基础上,利用该技术进行了六反相器电路的深埋层缺陷、收发器电路中电源与地之间漏电流失效和串行输出模数转换电路MOS器件欧姆短路的定位,并结合微结构观测分析了失效原因。研究结果表明,SIFT技术能有效分析光发射显微镜(EMMI)和激光光束诱导阻抗变化测试(OBIRCH)技术较难定位的缺陷,弥补了这些常规失效分析技术的不足。
关键词
激励源诱导故障测试
失效分析
失效定位
光发射显微镜
激光光束
诱导
阻抗变化
测试
Keywords
SIFT
failure analysis
failure location
EMMI
OBIRCH
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
SOI电路可靠性筛选技术及失效机理研究
被引量：
2
2
作者
黄龙
刘迪
陆坚
顾晓峰
机构
轻工过程先进控制教育部重点实验室
中国电子科技集团公司第
出处
《电子与封装》
2013年第12期30-34,共5页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金(JUSRP1026
JUDCF13032)
+1 种基金
江苏省普通高校研究生创新计划(CXLX13_747)
江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD)
文摘
可靠性筛选是提高电子产品良率的重要技术手段。针对绝缘体上硅(SOI)技术日益广泛的应用,通过大量实验研究了SOI电路的常用筛选试验,并对失效样品进行了相应的失效机理研究。首先讨论了SOI电路失效模式和筛选方法之间的关系;其次,针对三款SOI电路分别开展了老炼应力、高温贮存及恒定加速度试验来进行可靠性筛选;最后,利用光发射显微镜、扫描电子显微镜、聚焦离子束和激励源诱导故障测试等失效分析手段,对失效样品进行了失效模式及机理分析,揭示了失效根源,为改进工艺、提高SOI电路可靠性提供了依据。
关键词
可靠性筛选
绝缘体上硅
失效分析
光发射显微镜
激励源诱导故障测试
Keywords
reliability screening
SOl
failure analysis
EMMI
SIFT
分类号
TN306 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于SIFT技术的集成电路失效缺陷分析
刘迪
顾晓峰
陆坚
梁海莲
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
SOI电路可靠性筛选技术及失效机理研究
黄龙
刘迪
陆坚
顾晓峰
《电子与封装》
2013
2
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职称材料
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