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题名用于移动式激光通信的微型激光阵列器件
被引量：1
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作者
陈非凡
苑京立
陈益峰
尤政
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机构
清华大学精密仪器系
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期88-90,共3页
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基金
国防科技预研基金资助项目
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文摘
文中提出了一种微型半导体激光器和光电探测器混合激光阵列器件 ,采用MOEMS(微光机电系统 )技术进行集成 ,基于该阵列器件的激光通信系统具有结构简单 ,体积小 ,可自动跟踪目标实现移动通信的特点。并具体设计制作了完整样机 ,讨论了基于此器件的自动应答激光通信系统的结构和工作原理。实验研究表明
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关键词
移动式
激光阵列器件
自动应答
激光通信
微光电机械
MOEMS
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Keywords
auto responding
laser communication
array
MOEMS
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
TN929.5
[电子电信—通信与信息系统]
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题名新型垂直腔面发射半导体激光器阵列
被引量：4
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作者
刘文莉
钟景昌
晏长岭
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机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
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出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期519-525,共7页
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基金
教育部博士点基金资助项目
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文摘
设计出四次质子注入工艺制备垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列的方法,实现了对阵列中单元器件间的隔离以及对单元器件注入电流限制的分别作用。一方面通过对VCSEL外延片上分布布拉格反射镜(DBR)两次较浅的质子注入形成高电阻区域实现对阵列中单元器件间的隔离,另一方面通过再次的两次较深度的可以达到有源区上表面的质子注入形成高电阻区域实现对单元器件注入电流的限制。由瞬态热传导方程对阵列中单元器件间的热相互作用进行了理论分析。采用四次质子注入工艺实现了2×2、3×3简单的二维GaAs/A lGaAs量子阱VCSEL阵列,并对器件的激射近场、光谱特性及功率等进行了测量。
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关键词
垂直腔面发射激光器
激光器阵列器件
质子注入
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Keywords
VCSEL
laser array
proton implantation.
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分类号
O482.31
[理学—固体物理]
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