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激光辐照薄膜镜面产生损伤现象的研究 被引量:6
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作者 赖祖武 谈效华 +1 位作者 赖宗力 向伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1992年第2期255-259,共5页
描述了薄膜镜面因激光辐照产生的波纹现象,对产生机理进行了分析,提出热导波模型。热导波模型比通常的光学模型能更好的解释波纹现象。
关键词 激光辐照损伤 铜薄膜镜面 损伤机理
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193 nm激光下不同含量Y杂质CaF_(2)晶体辐照损伤研究 被引量:2
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作者 王华进 寇华敏 +8 位作者 王墉哲 姜大朋 张博 钱小波 王静雅 朱琳玲 曾爱军 杨秋红 苏良碧 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期219-224,共6页
氟化钙晶体的抗辐照性能是其在深紫外光刻应用中的关键性能之一,目前氟化钙晶体在193 nm激光辐照下的损伤过程尚不清楚。本文报道了193 nm激光辐照下氟化钙晶体的损伤行为及影响损伤的关键缺陷因素。通过193 nm激光辐照试验,发现晶体损... 氟化钙晶体的抗辐照性能是其在深紫外光刻应用中的关键性能之一,目前氟化钙晶体在193 nm激光辐照下的损伤过程尚不清楚。本文报道了193 nm激光辐照下氟化钙晶体的损伤行为及影响损伤的关键缺陷因素。通过193 nm激光辐照试验,发现晶体损伤主要表现为晶体内部产生的辐照诱导色心与表面产生的辐照诱导损伤坑。通过紫外–可见分光光度计对辐照诱导色心分析,并将不同色心吸收系数与Y杂质含量进行线性拟合。结果表明:Y离子具有与F心结构波函数发生重叠的低位轨道,两者发生轨道杂化易形成色心稳定结构;线性拟合结果表明Y离子含量与氟化钙晶体本征色心之间存在线性关系,说明Y元素是影响色心形成的关键杂质离子。实验表征了辐照诱导损伤坑的元素分布和结构缺陷。EDS结果表明损伤坑处伴随着钙元素含量上升和氟元素含量下降,证实H心扩散、F心聚集导致了辐照损伤;EBSD结果表明表面辐照损伤优先在位错处产生。因此,降低杂质含量及位错密度是提高氟化钙晶体在193 nm激光下抗辐照损伤性能的重要途径。 展开更多
关键词 氟化钙晶体 色心 激光辐照损伤 杂质含量 位错密度
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杂质对溶胶-凝胶SiO_2薄膜激光损伤的影响 被引量:4
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作者 章春来 李熙斌 +3 位作者 吕海兵 袁晓东 王治国 祖小涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1267-1271,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的... 采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的样品微透镜效应很明显,容易成为损伤起始的种子,激光预处理后情况有所改善;含有CeO2颗粒杂质的样品表现出了很强的吸收性质,损伤阈值降低到不足洁净样品的一半。所有样品激光预处理后损伤形貌未发生变化,透光率峰值均有约50 nm的蓝移。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 SiO2增透膜 激光预处理 激光辐照损伤
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