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题名微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统
被引量：6
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作者
陈叶金
范光照
刘玉圣
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机构
合肥工业大学仪器仪表学院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期12-17,共6页
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基金
国家自然科学基金(50275048)
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文摘
采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。
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关键词
计量学
微/纳米探头
激光读取头
聚焦误差信号
音圈马达
磁滞补偿
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Keywords
Metrology
Micro/nano probe
Pickup head
Focus error signal
Voice coil motor
Hysteresis compensation
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定(英文)
被引量：1
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作者
钱剑钊
黄强先
李瑞君
龚伟
王志伟
王晨晨
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期604-608,共5页
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基金
国家高技术研究发展计划(863计划)No.2008AA042409
国家自然科学基金Nos.50875073与Nos.50975075
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文摘
三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成。通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数。实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性。
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关键词
模拟探头
DVD激光读取头
标定
纳米三坐标测量机
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Keywords
analogue probe
DVD pick-up head
calibration
micro/nano-coordinate measurement machine
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分类号
TP216
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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