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短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究: 1; 作者卢希钊颜丙功江开勇《电加工与模具》 2022年第4期53-56,共4页; 薄盖玻片由于强度低、透明度好、光学性能影响小的优点在图像、光电、生物等传感器中大量应用,激光诱导等离子体辅助加工技术因能对薄透材质有效间接加工成为了一种新选择。基于激光诱导等离子体辅助加工技术加工薄盖玻片的机理,研究了... 展开更多; 关键词激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片能量密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化图案电路研究被引量：3: 2; 作者易根苗林新贵 +3 位作者何林梁良姜长城江鲲《有色金属工程》 CAS 北大核心 2023年第4期13-19,共7页; 激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)在玻璃表面金属化制备中具有经济、环境友好且高效的优点,本文研究在纳秒激光下以金属铜作为牺牲靶材于玻璃基板上采用LIPAA工艺实现金属化图案电路的可行性。为此,首先对逐行扫描LIPAA制备的玻璃基板... 展开更多; 关键词激光诱导等离子体辅助烧蚀表面金属化电路导电性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化实验研究被引量：1: 3; 作者姜长城何林 +4 位作者姜志康冯万欣林新贵易根苗梁良《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2023年第2期14-19,47,共7页; 由于激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)在玻璃表面金属化加工中具有经济、环境友好且高效的特点,该文研究了在纳秒激光下以金属铜作为牺牲靶材,于玻璃基板上采用LIPAA工艺实现直接平面金属化的可行性。为此,对逐行扫描LIPAA制备的玻璃基... 展开更多; 关键词激光诱导等离子体辅助烧蚀表面金属化纳秒激光玻璃; 在线阅读下载PDF 职称材料

金刚石等离子体刻蚀技术研究进展: 4; 作者焦硕沛张旭芳 +2 位作者李明坤张雪恰张静《表面技术》北大核心 2025年第7期34-49,共16页; 金刚石因其优越的电学、物理及化学性质,如超宽的禁带宽度、高硬度、高热导率和高稳定性,被广泛应用于电子器件、光学元件及微机电系统(MEMS)等领域。然而,由于其高度稳定的物理和化学性质,使得金刚石的加工具有极大的挑战性。在众多金... 展开更多; 关键词金刚石等离子体刻蚀微纳加工金属催化图案化激光诱导; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光加工过程中激光诱导等离子体的动态过程研究: 5; 作者樊永发秦水介《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第B04期199-202,共4页; 本文利用高速摄影机对激光加工过程中伴随产生的等离子体在室温大气压下的动态过程进行监测研究．对等离子体持续过程及其随时间的变化进行实验分析，提出等离子体在通道内突然消失的可能机制，并为进一步控制等离子体的形成提供了实验... 展开更多; 关键词激光诱导等离子体激光微加工动态过程; 在线阅读下载PDF 职称材料

电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展: 6; 作者肖荣诗魏佳硕 +1 位作者崔梦雅黄婷《航空制造技术》北大核心 2025年第1期22-35,共14页; 电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发... 展开更多; 关键词激光加工金属功能图案激光刻蚀选择性激光烧结(SLS) 脉冲激光沉积(PLD) 激光诱导化学液相沉积(LCLD) 激光诱导化学气相沉积(LCVD) 激光辅助化学镀(LEP); 在线阅读下载PDF 职称材料

激光诱导放电加工中的延时放电现象实验研究被引量：4: 7; 作者王之桐杨明江《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期29-32,共4页; 本文研究在空气中使用 1 0 6 μmYAG激光在毫米量级上触发和诱导放电的现象。比较了有、无激光触发的U50 ,在不同的延时下测量U50 和击穿时间 ,研究不同延时下等离子体的触发和诱导放电能力。; 关键词激光诱导放电加工延时放电现象实验研究 YAG激光等离子体; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究: 1; 作者卢希钊颜丙功江开勇; 机构华侨大学机电及自动化学院厦门大学机电工程系福建省特种能场制造重点实验室; 出处《电加工与模具》 2022年第4期53-56,共4页; 基金福建省自然科学面上基金项目(2019J01059)。; 文摘薄盖玻片由于强度低、透明度好、光学性能影响小的优点在图像、光电、生物等传感器中大量应用,激光诱导等离子体辅助加工技术因能对薄透材质有效间接加工成为了一种新选择。基于激光诱导等离子体辅助加工技术加工薄盖玻片的机理,研究了激光能量密度、扫描速度、加工距离等参数对加工效果的影响规律,为下一代薄透介质的研究应用提供参考。; 关键词激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片能量密度; Keywords laser induced plasma assisted ablation coverslip energy density; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化图案电路研究被引量：3: 2; 作者易根苗林新贵何林梁良姜长城江鲲; 机构广州番禺职业技术学院智能制造学院华南理工大学机械与汽车工程学院华南理工大学、国家金属材料近净成形工程技术研究中心; 出处《有色金属工程》 CAS 北大核心 2023年第4期13-19,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(51575193) 广东省普通高校特色创新项目(2020KTSCX283) +1 种基金广州市高校创新创业(就业)教育项目(2020KC002)。; 文摘激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)在玻璃表面金属化制备中具有经济、环境友好且高效的优点,本文研究在纳秒激光下以金属铜作为牺牲靶材于玻璃基板上采用LIPAA工艺实现金属化图案电路的可行性。为此,首先对逐行扫描LIPAA制备的玻璃基板上金属化图案电路的导电性能进行详细探讨。针对氧化致其导电率下降的弊端,进一步采用氢气还原对其进行后处理优化,并结合扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)对电路性能进行分析,揭示了纳秒激光LIPAA方法制备的玻璃金属化图案电路表面的形貌特征及电阻率的变化规律。结果表明,通过激光图案化去除工艺对玻璃表面金属层进行直接烧蚀,可以在玻璃表面制备精细图案化电路。同时,采用化学氢气还原法可克服金属层氧化严重影响电路电阻率这一弊端。化学氢气还原后的平均电阻率仅为8.18×10^(-7)Ω·m,大幅地提升了玻璃表面图案化电路的导电性,具有广阔的应用前景。; 关键词激光诱导等离子体辅助烧蚀表面金属化电路导电性; Keywords laser-induced plasma-assisted ablation surface metallization electrical circuit electrical conductivity; 分类号 TG146 [金属学及工艺—金属材料]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化实验研究被引量：1: 3; 作者姜长城何林姜志康冯万欣林新贵易根苗梁良; 机构华南理工大学机械与汽车工程学院华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心广州番禺职业技术学院智能制造学院; 出处《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2023年第2期14-19,47,共7页; 基金广州市教育局创新团队科研项目(202032764) 广州市科技计划项目(202102080424) +1 种基金华南理工大学本科教研教改资助项目(Y1190251)。; 文摘由于激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)在玻璃表面金属化加工中具有经济、环境友好且高效的特点,该文研究了在纳秒激光下以金属铜作为牺牲靶材,于玻璃基板上采用LIPAA工艺实现直接平面金属化的可行性。为此,对逐行扫描LIPAA制备的玻璃基板上平面金属层的形态和化学成分进行了详细表征;进一步,结合扫描电子显微镜及X射线能谱分析仪对试件在不同激光扫描速度、线间距、激光功率及频率下金属化的表面形貌演变进行了深入分析,揭示了以上加工参数对玻璃表面金属化覆盖率及形貌的影响规律。实验结果表明,当激光功率为20 W,激光频率为20 kHz,激光扫描线间距为2.5μm,扫描速度为300 mm/s时,玻璃表面的金属化可实现全区域覆盖且厚度适中。; 关键词激光诱导等离子体辅助烧蚀表面金属化纳秒激光玻璃; Keywords laser-induced plasma-assisted ablation surface metallization nanosecond laser glass; 分类号 TG146 [金属学及工艺—金属材料]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金刚石等离子体刻蚀技术研究进展: 4; 作者焦硕沛张旭芳李明坤张雪恰张静; 机构北方工业大学信息学院; 出处《表面技术》北大核心 2025年第7期34-49,共16页; 基金国家自然科学基金资助项目(62304005) 北方工业大学校内专项(110051360024XN147-07/150-23/245/246)。; 文摘金刚石因其优越的电学、物理及化学性质,如超宽的禁带宽度、高硬度、高热导率和高稳定性,被广泛应用于电子器件、光学元件及微机电系统(MEMS)等领域。然而,由于其高度稳定的物理和化学性质,使得金刚石的加工具有极大的挑战性。在众多金刚石刻蚀方法中,等离子体刻蚀技术因其高精度和低损伤的优势,成为金刚石微加工的重要手段。综述了不同类型等离子体刻蚀金刚石的研究进展,分别介绍了氧等离子体、氢等离子体以及其他混合气体的刻蚀特点,详细阐明了各种等离子体刻蚀金刚石的刻蚀机理。此外,还分析了影响刻蚀的主要因素,包括气压、功率、温度和金刚石类型等,这些参数共同决定了刻蚀的速率、粗糙度和选择比。最后,探讨了等离子体刻蚀拓展工艺的研究进展,说明了激光诱导等离子体刻蚀的工作原理和其在金刚石加工领域的应用前景,以及金属催化等离子体刻蚀的刻蚀机理及此方法在金刚石薄膜图案化上的应用前景。通过总结不同刻蚀气体及工艺参数对刻蚀效果的影响,本文旨在为实现对金刚石的精确刻蚀提供理论依据,并为不同用途的金刚石器件的制备提供参考。最后,展望了等离子体刻蚀技术在金刚石微纳加工领域的未来发展方向,包括新型刻蚀气体的探索、与其他加工技术的结合以及工艺参数的进一步优化。; 关键词金刚石等离子体刻蚀微纳加工金属催化图案化激光诱导; Keywords diamond plasma etching micro nano processing metal-catalyzed patterning laser-induced; 分类号 TG172 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光加工过程中激光诱导等离子体的动态过程研究: 5; 作者樊永发秦水介; 机构贵州大学光电子技术及应用重点实验室; 出处《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第B04期199-202,共4页; 基金国家自然科学基金（50375031）,教育部优秀青年教师资助计划（2003年）,春晖计划（批文：2003年591号）,贵州省科学基金（合同号.No.3014,No,3005）,贵州省国际科技合作计划（黔科合国字（2004）11004号）及贵州省高层次人才特助经费.; 文摘本文利用高速摄影机对激光加工过程中伴随产生的等离子体在室温大气压下的动态过程进行监测研究．对等离子体持续过程及其随时间的变化进行实验分析，提出等离子体在通道内突然消失的可能机制，并为进一步控制等离子体的形成提供了实验基础。; 关键词激光诱导等离子体激光微加工动态过程; 分类号 O644.18 [理学—物理化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展: 6; 作者肖荣诗魏佳硕崔梦雅黄婷; 机构北京工业大学材料科学与工程学院北京工业大学物理与光电工程学院; 出处《航空制造技术》北大核心 2025年第1期22-35,共14页; 基金国家重点研发计划(2022YFB4602700) 北京市自然科学基金青年项目(2244087)。; 文摘电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发展迅速。按照自上而下和自下而上的技术路线,分别概述激光刻蚀、选择性激光烧结、脉冲激光沉积、激光诱导化学液相沉积、激光诱导化学气相沉积、激光辅助化学镀6种激光加工技术的原理和优势,及它们在电介质表面加工金属功能图案的最新研究进展,并总结相应的技术瓶颈和未来发展趋势。; 关键词激光加工金属功能图案激光刻蚀选择性激光烧结(SLS) 脉冲激光沉积(PLD) 激光诱导化学液相沉积(LCLD) 激光诱导化学气相沉积(LCVD) 激光辅助化学镀(LEP); Keywords Laser processing Functional metal patterning Laser ablation,Selective laser sintering(SLS) Pulsed laser deposition(PLD) Laser-induced chemical liquid deposition(LCLD) Laser-induced chemical vapor deposition(LCVD) Laser-assisted electroless plating(LEP); 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光诱导放电加工中的延时放电现象实验研究被引量：4: 7; 作者王之桐杨明江; 机构中国科学院力学研究所激光毛化国家中心; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期29-32,共4页; 文摘本文研究在空气中使用 1 0 6 μmYAG激光在毫米量级上触发和诱导放电的现象。比较了有、无激光触发的U50 ,在不同的延时下测量U50 和击穿时间 ,研究不同延时下等离子体的触发和诱导放电能力。; 关键词激光诱导放电加工延时放电现象实验研究 YAG激光等离子体; Keywords 1.06μm YAG laser,delay time,triggering and guiding discharge machine,plasma; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究	卢希钊颜丙功江开勇	《电加工与模具》	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化图案电路研究	易根苗林新贵何林梁良姜长城江鲲	《有色金属工程》 CAS 北大核心	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于纳秒激光诱导等离子体辅助烧蚀的玻璃表面金属化实验研究	姜长城何林姜志康冯万欣林新贵易根苗梁良	《实验技术与管理》 CAS 北大核心	2023	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	金刚石等离子体刻蚀技术研究进展	焦硕沛张旭芳李明坤张雪恰张静	《表面技术》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	激光加工过程中激光诱导等离子体的动态过程研究	樊永发秦水介	《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展	肖荣诗魏佳硕崔梦雅黄婷	《航空制造技术》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	激光诱导放电加工中的延时放电现象实验研究	王之桐杨明江	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料