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LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区
被引量：
5
1
作者
吕衍秋
乔辉
+4 位作者
韩冰
唐恒敬
吴小利
李雪
龚海梅
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第5期708-710,共3页
利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器...
利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,扩大了有效光敏感区。
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关键词
激光诱导电流技术
INGAAS
探测器
串音
光敏感区
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职称材料
题名
LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区
被引量：
5
1
作者
吕衍秋
乔辉
韩冰
唐恒敬
吴小利
李雪
龚海梅
机构
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第5期708-710,共3页
基金
国家自然科学基金重点资助项目(50632060)
文摘
利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,扩大了有效光敏感区。
关键词
激光诱导电流技术
INGAAS
探测器
串音
光敏感区
Keywords
LBIC technique
InGaAs
Detector
Crosstalk
Photoactive area
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区
吕衍秋
乔辉
韩冰
唐恒敬
吴小利
李雪
龚海梅
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
5
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