检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

连续波激光诱导扩散区温度的不接触测量被引量：11: 1; 作者李忠东叶玉堂 +2 位作者洪永和叶婧李家旭《应用科学学报》 CAS CSCD 1997年第4期413-417,共5页; 激光诱导扩散中曝光区的大小在10μm数量级，其温度分布的测量是比较困难的．该文报道一种曝光区中极微小面元温度的不接触测量．文中介绍了测量原理、实验装置，给出了实验结果，并特地介绍了测量系统的定标．; 关键词激光诱导扩散温度测量半导体不接触测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

SIMS测量激光诱导扩散Zn的浓度分布: 2; 作者张雪琴吴云峰 +1 位作者叶玉堂焦世龙《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期21-24,共4页; 通过SIMS对激光诱导扩散杂质浓度分布的研究,提出了一个测量扩散区只在μm量级或10μm 量级范围内的杂质浓度分布的方法。首先利用光刻的方法在基片表面标识出扩散窗口,然后进行激光诱导处理。用SIMS对制成的扩散样品定量分析,通过扫描... 展开更多; 关键词激光诱导扩散微小扩散区二次离子质谱仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

用激光微细加工制作平面型InGaAs/InPPIN光探测器被引量：2: 3; 作者吴云峰廖云 +2 位作者叶玉堂焦世龙张雪琴《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期13-16,共4页; 采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p 区掺杂。制作出平面型顶部入射的InGaAs/InPPIN光探测器, 响应度为0.21A/W。分析了激光诱导扩散中... 展开更多; 关键词激光微细加工单片集成光接收机 PIN光探测器激光诱导扩散; 在线阅读下载PDF 职称材料

双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化: 4; 作者王昱琳叶玉堂 +3 位作者吴云峰赵爱英焦世龙范超《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期6-10,共5页; 激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质... 展开更多; 关键词激光诱导扩散双次曝光积分效应扩散杂质浓度分布均匀化整形; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名连续波激光诱导扩散区温度的不接触测量被引量：11: 1; 作者李忠东叶玉堂洪永和叶婧李家旭; 机构电子科技大学; 出处《应用科学学报》 CAS CSCD 1997年第4期413-417,共5页; 基金国家自然科学基金国防科工委资助; 文摘激光诱导扩散中曝光区的大小在10μm数量级，其温度分布的测量是比较困难的．该文报道一种曝光区中极微小面元温度的不接触测量．文中介绍了测量原理、实验装置，给出了实验结果，并特地介绍了测量系统的定标．; 关键词激光诱导扩散温度测量半导体不接触测量; Keywords laser assisted diffusion,laser assisted processing,measurement of temperature,semiconductor; 分类号 TN304.07 [电子电信—物理电子学] TH811.2 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SIMS测量激光诱导扩散Zn的浓度分布: 2; 作者张雪琴吴云峰叶玉堂焦世龙; 机构中国电子科技大学光电信息学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期21-24,共4页; 基金国家自然科学基金(60277008)教育部重点科技项目(03147)电科院资助项目(J.5.2.3); 文摘通过SIMS对激光诱导扩散杂质浓度分布的研究,提出了一个测量扩散区只在μm量级或10μm 量级范围内的杂质浓度分布的方法。首先利用光刻的方法在基片表面标识出扩散窗口,然后进行激光诱导处理。用SIMS对制成的扩散样品定量分析,通过扫描探针显微镜测量刻蚀深度,由此实现了微小扩散区掺杂浓度-深度分布的研究。; 关键词激光诱导扩散微小扩散区二次离子质谱仪; Keywords laser assisted diffusion extrasmall diffused areas SIMS; 分类号 TN304.07 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用激光微细加工制作平面型InGaAs/InPPIN光探测器被引量：2: 3; 作者吴云峰廖云叶玉堂焦世龙张雪琴; 机构电子科技大学光电信息学院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期13-16,共4页; 基金国家自然科学基金资助课题(60277008) 教育部重点科技项目资助课题(03147) 中国电子科技集团电子科学研究院资助课题; 文摘采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p 区掺杂。制作出平面型顶部入射的InGaAs/InPPIN光探测器, 响应度为0.21A/W。分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素,因此提出了扩散温度自动控制、扩散区温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法。; 关键词激光微细加工单片集成光接收机 PIN光探测器激光诱导扩散; Keywords Laser applications Micromachining Monolithic integrated circuits Semiconducting indium gallium arsenide Semiconducting indium phosphide; 分类号 TN21 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化: 4; 作者王昱琳叶玉堂吴云峰赵爱英焦世龙范超; 机构电子科技大学光电信息学院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期6-10,共5页; 基金国家自然科学基金资助课题(60277008) 教育部重点科技项目资助课题(03147) 四川省科技厅资助课题(04GG021-020-01); 文摘激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质浓度分布的均匀化整形。对于InP衬底的CO2激光诱导Zn扩散,利用温度闭环测控系统测得的基片表面热斑温度场分布,分析计算了两次激光诱导扩散重叠区域的浓度分布积分效应。在此基础上模拟计算出,用双次曝光积分效应做杂质浓度分布的均匀化整形时,基片上两次激光照射位置的最佳间隔为20μm。这为改进激光诱导扩散工艺,用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。; 关键词激光诱导扩散双次曝光积分效应扩散杂质浓度分布均匀化整形; Keywords Laser induced diffusion Integration effects of twice irradiations Distribution of impurity concentration Homogenization; 分类号 TN21 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	连续波激光诱导扩散区温度的不接触测量	李忠东叶玉堂洪永和叶婧李家旭	《应用科学学报》 CAS CSCD	1997	11	在线阅读下载PDF 职称材料
2	SIMS测量激光诱导扩散Zn的浓度分布	张雪琴吴云峰叶玉堂焦世龙	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用激光微细加工制作平面型InGaAs/InPPIN光探测器	吴云峰廖云叶玉堂焦世龙张雪琴	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化	王昱琳叶玉堂吴云峰赵爱英焦世龙范超	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料