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Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银 被引量:1
1
作者 孙克 赵岩 +1 位作者 张彩碚 李正林 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期391-393,共3页
Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线· 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s·SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表... Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线· 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s·SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况·以Ag颗粒为催化中心 ,在沉积线表面选区化学镀铜 ,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力· 展开更多
关键词 Nd:YAG脉冲激光 激光诱导化学沉积 选区化学 Si基底 硅基底 大规模集成电路
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通过激光诱导化学气相沉积来制造微碳柱的研究 被引量:8
2
作者 温宗胤 李宝灵 周健 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期79-82,共4页
使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构。试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均... 使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构。试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均生长率随照射时间、焦点移动速度的变化规律。根据实验数据,使用焦距移动方法,生成长径比超过500的微碳柱。 展开更多
关键词 激光诱导化学气相沉积 生长速度 直径 微碳柱
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退火处理对激光诱导化学气相沉积制备纳米硅红外光谱的影响
3
作者 张海燕 陈可心 +2 位作者 刘颂豪 梁礼正 王卫乡 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第S2期169-173,共5页
研究激光诱导化学相沉积(LICVD)法制备纳米硅粒子的工艺过程,分析了影响纳米硅形成及尺寸的主要工艺参数,获得了最佳的工艺条件并讨论了退火处理对纳米硅红外光谱各吸收峰的强度。
关键词 纳米硅 激光诱导化学气相沉积(LICVD) 红外光谱
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基于PMAC的激光诱导化学液相沉积实验系统研究
4
作者 宋丹路 陈维闯 +1 位作者 杨玲玲 师晓 《机械设计与制造》 北大核心 2010年第9期176-178,共3页
在介绍激光诱导化学液相沉积(LCLD)技术的基础上,给出了基于该技术的新型快速原型系统图,并分析了系统的工作过程。针对该原型系统,采用半导体光纤激光器和PMAC运动控制卡,设计了用于CAD模型分层后二维薄层沉积的LCLD实验系统,详细介绍... 在介绍激光诱导化学液相沉积(LCLD)技术的基础上,给出了基于该技术的新型快速原型系统图,并分析了系统的工作过程。针对该原型系统,采用半导体光纤激光器和PMAC运动控制卡,设计了用于CAD模型分层后二维薄层沉积的LCLD实验系统,详细介绍了实验系统的硬件平台,给出了典型零部件的设计计算。在室温条件下,以45#钢为基体,激光波长808nm,在实验系统上进行了LCLD沉积Cu的实验。结果表明,采用快速成型系统获得的CLI文件,实验系统能够满足LCLD进行二维薄层沉积的需要,具有较好的速度。 展开更多
关键词 激光诱导化学液相沉积 快速原型系统 PMAC运动控制卡 三维运动平台
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基于激光诱导化学液相沉积的快速成型方法
5
作者 周红燕 《机床与液压》 北大核心 2006年第3期86-88,共3页
对当前常用的RP工艺,如立体光刻、分层实体制造、熔融挤压成型、选区激光烧结等的原理、工艺和优缺点进行了简单评述,认为上述工艺均存在一些固有缺陷,距离企业的需求(如金属模具直接成型等)还有比较大的差距。在介绍激光诱导化学液相沉... 对当前常用的RP工艺,如立体光刻、分层实体制造、熔融挤压成型、选区激光烧结等的原理、工艺和优缺点进行了简单评述,认为上述工艺均存在一些固有缺陷,距离企业的需求(如金属模具直接成型等)还有比较大的差距。在介绍激光诱导化学液相沉积(LCLD)技术的基础上,本文提出了一种基于该技术的新型快速成型方法,给出了其成型系统原理图,并详细介绍了系统的工作过程。分析表明,该种RP系统能够较好地弥补现有系统的不足之处,具有极其广阔的应用前景。 展开更多
关键词 RP工艺 激光诱导化学液相沉积 新型RP系统
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电介质表面金属功能图案激光加工技术研究进展
6
作者 肖荣诗 魏佳硕 +1 位作者 崔梦雅 黄婷 《航空制造技术》 北大核心 2025年第1期22-35,共14页
电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发... 电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长。激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发展迅速。按照自上而下和自下而上的技术路线,分别概述激光刻蚀、选择性激光烧结、脉冲激光沉积、激光诱导化学液相沉积、激光诱导化学气相沉积、激光辅助化学镀6种激光加工技术的原理和优势,及它们在电介质表面加工金属功能图案的最新研究进展,并总结相应的技术瓶颈和未来发展趋势。 展开更多
关键词 激光加工 金属功能图案 激光刻蚀 选择性激光烧结(SLS) 脉冲激光沉积(PLD) 激光诱导化学液相沉积(LCLD) 激光诱导化学气相沉积(LCVD) 激光辅助化学镀(LEP)
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激光诱导制备纳米SiC粉体 被引量:7
7
作者 线全刚 梁勇 +1 位作者 杨柯 王淑兰 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2003年第2期170-172,共3页
以硅烷SiH4和乙炔C2H2为反应原料,采用激光诱导化学气相沉积制各(LICVD)理想纳米SiC粉体.用化学分析、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及比表面积(BET)等分析测试手段对粉体进行了表征,结果表明粉体中SiC含量高于98%,平均粒径为20... 以硅烷SiH4和乙炔C2H2为反应原料,采用激光诱导化学气相沉积制各(LICVD)理想纳米SiC粉体.用化学分析、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及比表面积(BET)等分析测试手段对粉体进行了表征,结果表明粉体中SiC含量高于98%,平均粒径为20nm,晶体结构为β SiC,粉体产率大于200g/h,粉体中含氧量低于1%. 展开更多
关键词 制备 纳米碳化硅粉体 纳米SIC粉体 激光诱导化学气相沉积
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激光合成硅粉中的分形结构 被引量:1
8
作者 王卫乡 吉玉泓 +2 位作者 梅宴标 刘颂豪 陈俊芳 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1996年第S1期25-28,共4页
本文对激光合成硅粉过程中出现的分形现象进行了分析,计算了其分维。
关键词 分形 激光诱导化学气相沉积 硅粉
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纳米粉体的激光制备方法
9
作者 李保家 周明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第F11期20-23,共4页
总结了激光技术制备纳米粉末的特点,介绍了激光诱导化学气相沉积法、激光烧蚀法、激光诱导液-固界面反应法以及激光-感应复合加热法等的基本原理、装置及特点,综述了目前纳米粉体激光制备技术的应用研究现状,指出了其今后的研究方向... 总结了激光技术制备纳米粉末的特点,介绍了激光诱导化学气相沉积法、激光烧蚀法、激光诱导液-固界面反应法以及激光-感应复合加热法等的基本原理、装置及特点,综述了目前纳米粉体激光制备技术的应用研究现状,指出了其今后的研究方向和应用前景。 展开更多
关键词 纳米粉体 激光 制备 激光诱导化学气相沉积 激光烧蚀法 激光诱导液-固界面反应法 激光-感应复合加热法
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激光科研应用
10
《中国光学》 EI CAS 1997年第4期39-40,共2页
O644.18 97042376激光诱导化学沉积(铜)的实验研究=Experimentalstudy of laser induced deposition of copper[刊,中]/黄妙良,林建明,林煜,肖子敬,俞平利,许承晃(华侨大学材料物理化学研究所.福建,泉州(362011))
关键词 激光诱导化学沉积 激光功率 共混物 理论与实验研究 聚乙烯 材料物理 华侨大学 化学研究所 半导体 融合过程
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激光科研应用
11
《中国光学》 EI CAS 1996年第5期37-38,共2页
O644.18 96053068激光诱导化学气相沉积纳米硅的红外光谱=Infraredspectra of nanosized silicon prepared byLICVD[刊,中]/王卫乡(中科院国际材料物理中心.辽宁,沈阳(110015)),刘颂豪(华南师范大学量子电子学研究所.广东,广州(510631))... O644.18 96053068激光诱导化学气相沉积纳米硅的红外光谱=Infraredspectra of nanosized silicon prepared byLICVD[刊,中]/王卫乡(中科院国际材料物理中心.辽宁,沈阳(110015)),刘颂豪(华南师范大学量子电子学研究所.广东,广州(510631)),李道火,刘宗才(中科院安徽光机所.安徽,合肥(510631))∥量子电子学.— 展开更多
关键词 量子电子学 激光诱导化学气相沉积 纳米硅 红外光谱 激光状态方程 中科院 材料物理 华南师范大学 激光等离子体 安徽
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LICVD法制备纳米Si_3N_4粒子及红外光谱特性 被引量:1
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作者 王锐 李道火 +1 位作者 高峰 何晓雄 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期290-293,298,共5页
采用激光诱导化学气相沉积法制备出超细(7~15nm)、理想化学剂量(N/Si=1.314)、无团聚的非晶纳米氮化硅粉体.为了提高粉体的纯度,在传统激光诱导化学气相沉积装置中加一束正交的紫外光束.以促进NH3分子光解,从而减少游离硅的... 采用激光诱导化学气相沉积法制备出超细(7~15nm)、理想化学剂量(N/Si=1.314)、无团聚的非晶纳米氮化硅粉体.为了提高粉体的纯度,在传统激光诱导化学气相沉积装置中加一束正交的紫外光束.以促进NH3分子光解,从而减少游离硅的存在,提高N/Si原子数比.观察到了红外吸收光谱中的“蓝移”和“宽化”现象.并认为这些现象是由表面效应和量子尺寸效应造成的.同时,红外吸收光谱的反常现象也验证了粉体的纳米特性. 展开更多
关键词 激光诱导化学气相沉积 双光束激励 氮化硅 红外吸收光谱
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LICVD法纳米硅制备过程中的成核及生长 被引量:5
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作者 尹衍升 刘英才 李静 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期1-5,共5页
自行设计制备了激光诱导化学气相沉积法(LICVD)纳米制粉装置,利用该装置制备的纳米硅粉其粒度波动在30~60nm之间。通过对不同反应气体流量条件下的激光能量阈值研究表明,随反应气体流量的增加,所需激光能量阈值大致成线性增加。利用透... 自行设计制备了激光诱导化学气相沉积法(LICVD)纳米制粉装置,利用该装置制备的纳米硅粉其粒度波动在30~60nm之间。通过对不同反应气体流量条件下的激光能量阈值研究表明,随反应气体流量的增加,所需激光能量阈值大致成线性增加。利用透射电镜和高分辨电镜对其形貌进行了表征,并对其成核与生长进行了分析,在成核长大初期,晶核周围的Si原子浓度较高,纳米硅晶应以层状长大方式为主。当纳米晶中有螺型位错等晶体缺陷形成时,会为Si原子的"落座"提供生长所需的台阶源,晶粒将以螺旋状生长方式长大。在长大过程中,纳米晶会发生跳跃式长大现象。以跳跃方式长大的晶粒通常在两晶粒的结合面处伴有晶体缺陷发生或亚晶界产生。较低的反应气体流速条件下,纳米硅的择优生长方向为<112>晶向;而在较高的反应气体流速条件下其择优生长方向变为<111>晶向。 展开更多
关键词 LICVD法 纳米硅 激光诱导化学气相沉积 激光能量阈值 气体流量 亚晶界 气相成核率 晶粒
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纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究(英文)
14
作者 刘英才 尹衍升 +2 位作者 李静 李嘉 初蕾 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期644-646,共3页
利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒。研究了不同反应气体流量条件下 ,纳米硅微结构的转变规律 ,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制。研究表明 ,在激光功率密度恒定条件下 ,随着反应气体流量的增加 ,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变... 利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒。研究了不同反应气体流量条件下 ,纳米硅微结构的转变规律 ,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制。研究表明 ,在激光功率密度恒定条件下 ,随着反应气体流量的增加 ,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小 ,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加。 展开更多
关键词 纳米硅 制备 微结构 反应气体流量 LICVD方法 晶体生长 激光诱导化学气相沉积
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其他应用
15
《中国光学》 EI CAS 2003年第4期53-55,共3页
O644.18 2003042798激光诱导环氧树脂表面液相化学局域增强沉积镍的实验研究=Near infrared laser-induced chemical localized depositionsof nickel on the substrate of epoxy resin[刊,中]/黄妙良(华侨大学材料物理化学研究所.福建... O644.18 2003042798激光诱导环氧树脂表面液相化学局域增强沉积镍的实验研究=Near infrared laser-induced chemical localized depositionsof nickel on the substrate of epoxy resin[刊,中]/黄妙良(华侨大学材料物理化学研究所.福建,泉州(362011)),林建明…∥激光杂志.-2002,23(1).-48-49利用1079.5 nm Nd:YAP激光作诱导光源,环氧树脂作为基体,研究了激光功率、辐照时间对激光诱导化学局域镀覆金属镍的形成过程、微观形貌、厚度分布影响规律,确定了最佳的激光工艺参数。图3参11(李瑞琴)TB43 2003042799脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究=Study of pulsedexcimer laser deposited films[刊,中]/刘晶儒(西北核技术研究所.陕西,西安(710024)),白婷… 展开更多
关键词 激光功率 实验研究 环氧树脂 激光 激光 非晶硅薄膜 激光诱导化学气相沉积 形成过程 激光技术 纳米粉体制备
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其他应用
16
《中国光学》 EI CAS 2003年第3期36-37,共2页
O644.13 2003031878激光法制备高纯纳米SiC粉体及其产率=Synthesis ofhigh pure nanometer SiC powders by lasermethod and itsproduction rate[刊,中]/战可涛(北京化工大学理学院.北京(100029))∥北京化工大学学报.—2002,29(5)... O644.13 2003031878激光法制备高纯纳米SiC粉体及其产率=Synthesis ofhigh pure nanometer SiC powders by lasermethod and itsproduction rate[刊,中]/战可涛(北京化工大学理学院.北京(100029))∥北京化工大学学报.—2002,29(5).—75-78以硅烷SiH<sub>4</sub>和乙烯C<sub>2</sub>H<sub>4</sub>为反应原料,采用激光诱导化学气相沉积法(LICVD)制备了高纯、低团聚、近球形的理想纳米SiC粉体。用化学分析、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及比表面积(BET)等分析测试手段对粉体进行了表征,结果表明粉体中SiC含量高于98%, 展开更多
关键词 激光诱导化学气相沉积 粉体 透射电子显微镜 光子局域化 激光离子源 分析测试手段 化学分析 比表面积 激光技术 纳米
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