期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
被引量：
1
1
作者
贺锋涛
王晓琳
+2 位作者
张凯
米波
张冠芳
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期71-74,共4页
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振...
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测.
展开更多
关键词
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
被引量：
1
1
作者
贺锋涛
王晓琳
张凯
米波
张冠芳
机构
西安邮电大学电子工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期71-74,共4页
基金
国家自然科学基金项目(No.61201193)
陕西省自然基金基础研究计划项目(No.2012JQ8014)资助
文摘
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测.
关键词
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
Keywords
Semiconductor chip
Infrared laser micro-imaging
Multimode silica fiber
Voice coil motor
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
贺锋涛
王晓琳
张凯
米波
张冠芳
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
