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石英玻璃薄板激光精密切割技术
被引量:
12
1
作者
袁明权
凌宏芝
彭勃
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期406-408,共3页
为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法。通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm^20μm范围...
为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法。通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm^20μm范围内。对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于3μm。这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的。
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关键词
激光
技术
激光精密切割
石英玻璃薄板
光学吸收率
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职称材料
福建物构所“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”专题通过验收
2
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期486-486,共1页
2月18日,中国科学院福建物质结构研究所研究员林文雄承担的省科技重大专项专题“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”通过福建省科技厅组织的专题验收。
关键词
激光精密切割
专用设备
全固态
福建省
专题
研发
紫外
福建物质结构研究所
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职称材料
激光微纳加工领域的代表人物
被引量:
1
3
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期1230-1233,共4页
自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表...
自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米等不同的尺度,成为不可或缺的先进制造技术。其中,激光微纳加工技术涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科技等学科,必将推动制造及相关学科的深入发展,并为航空、能源、集成电路制造、国防、汽车、生物医疗等领域实现跨越式发展提供重要的制造支撑。各国科研工作者纷纷投身于激光微纳加工技术的研究之中,以期用先进的科技力量,改写人类社会的工业文明。作为行业研究中的佼佼者,美国的陆永枫教授、英国的李琳教授、日本的杉冈幸次教授以及我国的钟敏霖教授正以其卓越的科研成就引领着激光微纳加工领域的发展方向。
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关键词
微纳加工技术
激光
打标
先进制造技术
激光
表面处理
人物
激光精密切割
集成电路制造
纳米颗粒
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职称材料
数控金属板材加工设备产业基地获国家火炬计划批准
4
《工具技术》
北大核心
2004年第4期61-61,共1页
关键词
数控转台冲床
数控
精密
激光
切割
机
金属板材
数控加工
数控机床
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职称材料
题名
石英玻璃薄板激光精密切割技术
被引量:
12
1
作者
袁明权
凌宏芝
彭勃
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期406-408,共3页
基金
国防科技"十五"预研基金重点资助项目(421010401)
文摘
为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法。通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm^20μm范围内。对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于3μm。这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的。
关键词
激光
技术
激光精密切割
石英玻璃薄板
光学吸收率
Keywords
laser teelmique
precision laser cutting
thin quartz glass plates
optical absorptivity
分类号
TG485 [金属学及工艺—焊接]
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
福建物构所“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”专题通过验收
2
机构
中国科学院福建物质结构研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期486-486,共1页
文摘
2月18日,中国科学院福建物质结构研究所研究员林文雄承担的省科技重大专项专题“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”通过福建省科技厅组织的专题验收。
关键词
激光精密切割
专用设备
全固态
福建省
专题
研发
紫外
福建物质结构研究所
分类号
TG485 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
题名
激光微纳加工领域的代表人物
被引量:
1
3
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期1230-1233,共4页
文摘
自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米等不同的尺度,成为不可或缺的先进制造技术。其中,激光微纳加工技术涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科技等学科,必将推动制造及相关学科的深入发展,并为航空、能源、集成电路制造、国防、汽车、生物医疗等领域实现跨越式发展提供重要的制造支撑。各国科研工作者纷纷投身于激光微纳加工技术的研究之中,以期用先进的科技力量,改写人类社会的工业文明。作为行业研究中的佼佼者,美国的陆永枫教授、英国的李琳教授、日本的杉冈幸次教授以及我国的钟敏霖教授正以其卓越的科研成就引领着激光微纳加工领域的发展方向。
关键词
微纳加工技术
激光
打标
先进制造技术
激光
表面处理
人物
激光精密切割
集成电路制造
纳米颗粒
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
数控金属板材加工设备产业基地获国家火炬计划批准
4
出处
《工具技术》
北大核心
2004年第4期61-61,共1页
关键词
数控转台冲床
数控
精密
激光
切割
机
金属板材
数控加工
数控机床
分类号
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石英玻璃薄板激光精密切割技术
袁明权
凌宏芝
彭勃
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
福建物构所“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”专题通过验收
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
3
激光微纳加工领域的代表人物
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
4
数控金属板材加工设备产业基地获国家火炬计划批准
《工具技术》
北大核心
2004
0
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