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水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验被引量：8: 1; 作者齐立红李忠芳 +1 位作者尼启良陈波《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期272-275,共4页; 实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波... 展开更多; 关键词激光等离子体光源光谱测量软X射线水靶; 在线阅读下载PDF 职称材料

CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱被引量：2: 2; 作者尼启良陈波《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2465-2468,共4页; 基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使... 展开更多; 关键词液体微滴喷射靶激光等离子体光源极紫外投影光刻; 在线阅读下载PDF 职称材料

Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验被引量：3: 3; 作者尼启良《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期939-943,共5页; 基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转... 展开更多; 关键词 Xe液体微滴喷射靶激光等离子体光源极紫外投影光刻; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于激光驱动等离子体X光源的X射线相衬成像被引量：6: 4; 作者晏骥江少恩阴泽杰《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2047-2050,共4页; 为了诊断惯性约束聚变(ICF)内爆靶丸球壳的多层信息,在神光Ⅱ激光器上对激光驱动等离子体X光源的相衬成像进行了研究。利用神光Ⅱ第9路激光驱动平面Ti靶获得X光源,在10μm的针孔约束下作为次级点光源对样品成像,用X光胶片记录。成功地... 展开更多; 关键词惯性约束聚变相衬成像激光等离子体X光源针孔辅助点背光; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光光谱学: 5; 《中国光学》 EI CAS 2003年第3期11-12,共2页; O433.54 2003031680激光等离子体软X射线光源的一种诊断方法=Diagnosticmethod for laser plasma soft X-ray source[刊,中]/尼启良(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),陈波…∥光学精密工程.—2002,10(3).—235-238介绍了一种新的... 展开更多; 关键词激光等离子体光源低噪声电荷灵敏前置放大器通道电子倍增器诊断方法线光源精密工程光源光谱脉冲信号激光光谱学; 在线阅读下载PDF 职称材料

13．9和19．6nm正入射Mo／Si多层膜反射镜的反射率测量被引量：3: 6; 作者李敏董宁宁 +6 位作者刘震刘世界李旭范鲜红王丽辉马月英陈波《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1666-1672,共7页; 为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组... 展开更多; 关键词 Mo/Si多层膜反射镜反射率测量表面粗糙度极紫外光源激光等离子体光源; 在线阅读下载PDF 职称材料

小型高精度软X射线-极紫外反射率计被引量：7: 7; 作者尼启良刘世界陈波《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1886-1890,共5页; 针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及... 展开更多; 关键词软X射线-极紫外反射率计多层膜液体靶激光等离子体光源; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验被引量：8: 1; 作者齐立红李忠芳尼启良陈波; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林大学原子与分子物理研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期272-275,共4页; 基金国家自然科学基金项目(No.10333010) 中国科学院知识创新基金项目(No.60223003); 文摘实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线极紫外辐射。利用McPHERSON247型掠入射软X射线真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20nm波段水靶激光等离子体光源的光谱。实验表明,在11～20nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生。所用单色仪光谱分辨率Δλ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm。另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温度骤降而结冰的问题,有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题。; 关键词激光等离子体光源光谱测量软X射线水靶; Keywords Electron transitions Monochromators Neodymium lasers Nozzles Photodiodes Plasma sources Spectrum analysis Water; 分类号 O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱被引量：2: 2; 作者尼启良陈波; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2465-2468,共4页; 基金国家自然科学基金项目(60677043 40774098)资助; 文摘基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻(EUVL)应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源。该光源由一个可连续控温的不锈钢电磁喷气阀门、YAG激光器和能同步控制喷气阀门和激光器的脉冲发生器组成。使用液氮作致冷剂,控温范围77～473 K。对于足够高的背景气压和低的阀门温度,当气体经过阀门脉冲式地喷入真空靶室内时,气体经过气-液相变碎裂成大量的液体微滴形成液体微滴喷射靶。首先,依据非相对论量子力学理论,使用原子光谱分析常用的Cowan程序,计算了O2,CO2和CF4等几种液体在1011～1012W.cm-2激光功率密度下可能相应产生的O4+,O5+,O6+,O7+,F5+,F6+和F7+离子的电偶极辐射跃迁波长和跃迁概率。其次,在激光焦点功率密度为8×1011W.cm-2时,测量了CO2,O2,CF4液体微滴喷射靶在6～20 nm波段的光谱。理论计算结果与实验结果相比较,得出了所测量谱线的电偶极辐射跃迁波长和跃迁概率以及跃迁能级所应归属的组态和光谱项。; 关键词液体微滴喷射靶激光等离子体光源极紫外投影光刻; Keywords Liquid aerosol spray target Laser-produced plasma（LPP） source EUVL; 分类号 O434.1 [机械工程—光学工程] O433.4 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验被引量：3: 3; 作者尼启良; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期939-943,共5页; 基金国家自然科学基金(No.60677043); 文摘基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况。实验结果表明，Xe在13．4nm的最高转换效率可以达到0．75％／2πsr／2%bw，辐射稳定性±4％（1σ），在激光打靶10^5次后无碎屑产生。; 关键词 Xe液体微滴喷射靶激光等离子体光源极紫外投影光刻; Keywords Xe liquid aerosol spray target Laser-produced Plasma（LPP） source Extreme Ultraviolet Lithography （EUVL）; 分类号 TN241 [电子电信—物理电子学] TL653 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于激光驱动等离子体X光源的X射线相衬成像被引量：6: 4; 作者晏骥江少恩阴泽杰; 机构中国科学技术大学近代物理系中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2047-2050,共4页; 基金国家自然科学基金项目(10775120); 文摘为了诊断惯性约束聚变(ICF)内爆靶丸球壳的多层信息,在神光Ⅱ激光器上对激光驱动等离子体X光源的相衬成像进行了研究。利用神光Ⅱ第9路激光驱动平面Ti靶获得X光源,在10μm的针孔约束下作为次级点光源对样品成像,用X光胶片记录。成功地将相衬成像技术应用于ICF实验,综合考虑成像放大倍数、分辨力、成像衬度和抑制烧蚀碎片等因素,选择合适的实验条件,成功获得了清晰的双层内爆靶丸球壳结构,空间分辨力优于10μm。; 关键词惯性约束聚变相衬成像激光等离子体X光源针孔辅助点背光; Keywords ICF phase contrast imaging laser-based plasma X-ray source pinhole assisted point backlight; 分类号 O539 [理学—等离子体物理] O434.19 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光光谱学: 5; 出处《中国光学》 EI CAS 2003年第3期11-12,共2页; 文摘 O433.54 2003031680激光等离子体软X射线光源的一种诊断方法=Diagnosticmethod for laser plasma soft X-ray source[刊,中]/尼启良(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),陈波…∥光学精密工程.—2002,10(3).—235-238介绍了一种新的、实用的测量激光等离子体软X射线光源光谱的方法。此方法以低噪声的通道电子倍增器探测来自光源的ns量级的脉冲光信号,并由低噪声、响应快的电荷灵敏前置放大器进一步将其放大,前放的输出电荷与输入的脉冲信号的峰值成正比。; 关键词激光等离子体光源低噪声电荷灵敏前置放大器通道电子倍增器诊断方法线光源精密工程光源光谱脉冲信号激光光谱学; 分类号 O433 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名13．9和19．6nm正入射Mo／Si多层膜反射镜的反射率测量被引量：3: 6; 作者李敏董宁宁刘震刘世界李旭范鲜红王丽辉马月英陈波; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1666-1672,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.40774098No.60677043); 文摘为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小型反射率计,将其安装在Mcpherson247单色仪出射狭缝附近,以铜靶激光等离子体辐射源为极紫外光源,组建了一套适合反射率测量的实验装置,利用此装置测量了实验室制备的多层膜反射镜的反射率。测量之前对单色仪进行了标定并对光源稳定性进行了测量,结果显示,波长准确度是0.08 nm,光源信号抖动范围<5%,光源稳定性好。反射率测量结果显示,实验室能够制备出中心波长分别是13.91和19.60 nm的Mo/Si多层膜反射镜,相应反射率分别为41.9%和22.6%,半宽度为0.56和1.70 nm。同时还用WYKO测量得到13.9和19.6 nmMo/Si多层膜的表面粗糙度分别为0.52和0.55 nm。; 关键词 Mo/Si多层膜反射镜反射率测量表面粗糙度极紫外光源激光等离子体光源; Keywords Mo/Si multilayer mirror reflectivity surfacd roughness Extreme Ultraviolet EUV） source Laser Produced Plasmas（LPP） source; 分类号 O484.5 [理学—固体物理] TH741.4 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小型高精度软X射线-极紫外反射率计被引量：7: 7; 作者尼启良刘世界陈波; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1886-1890,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.40774098); 文摘针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1～125nm，光谱分辨率〈0．08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏，而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13．5nm和30．4nm的Mo／Si多层膜的反射率，测量结果表明测量重复性优于±0．5％，实现了对多层膜反射率的高精度测量。; 关键词软X射线-极紫外反射率计多层膜液体靶激光等离子体光源; Keywords Coatings Debris Laser produced plasmas Laser pulses Lasers Light Light sources Lighting Mirrors Monochromators Optical instruments Plasmas Reflection Reflectometers Spectral resolution Targets Ultraviolet devices; 分类号 O434.12 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验	齐立红李忠芳尼启良陈波	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	CO_2,O_2,CF_4液体微滴喷射靶激光等离子体光源光谱	尼启良陈波	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验	尼启良	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于激光驱动等离子体X光源的X射线相衬成像	晏骥江少恩阴泽杰	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	激光光谱学		《中国光学》 EI CAS	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	13．9和19．6nm正入射Mo／Si多层膜反射镜的反射率测量	李敏董宁宁刘震刘世界李旭范鲜红王丽辉马月英陈波	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	小型高精度软X射线-极紫外反射率计	尼启良刘世界陈波	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	7	在线阅读下载PDF 职称材料