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物镜像差对激光扫描精度影响的测量与补偿
被引量：
2
1
作者
曹俊卿
吉建华
+1 位作者
陈家璧
庄松林
《上海理工大学学报》
CAS
1998年第3期273-276,共4页
在工程使用激光扫描进行放样时，物镜像差对扫描精度的影响是不能忽略的。本文提出的直接测量方法，可以对未知结构的大相对孔径物镜的扫描误差实现高精度测量，测量灵敏度可达最大扫描范围的０．０１％．根据这一测量结果采用线性插值...
在工程使用激光扫描进行放样时，物镜像差对扫描精度的影响是不能忽略的。本文提出的直接测量方法，可以对未知结构的大相对孔径物镜的扫描误差实现高精度测量，测量灵敏度可达最大扫描范围的０．０１％．根据这一测量结果采用线性插值对扫描误差进行补偿，能够保证像差造成的扫描误差小于０．０２％。实验结果及其数字模拟证明这种方法是有效的．
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关键词
像差
扫描
误差
测量
补偿
精度
激光扫描精度
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职称材料
题名
物镜像差对激光扫描精度影响的测量与补偿
被引量：
2
1
作者
曹俊卿
吉建华
陈家璧
庄松林
机构
上海理工大学仪器仪表学院
出处
《上海理工大学学报》
CAS
1998年第3期273-276,共4页
文摘
在工程使用激光扫描进行放样时，物镜像差对扫描精度的影响是不能忽略的。本文提出的直接测量方法，可以对未知结构的大相对孔径物镜的扫描误差实现高精度测量，测量灵敏度可达最大扫描范围的０．０１％．根据这一测量结果采用线性插值对扫描误差进行补偿，能够保证像差造成的扫描误差小于０．０２％。实验结果及其数字模拟证明这种方法是有效的．
关键词
像差
扫描
误差
测量
补偿
精度
激光扫描精度
Keywords
aberration
scanning error
measurement
compensation
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
物镜像差对激光扫描精度影响的测量与补偿
曹俊卿
吉建华
陈家璧
庄松林
《上海理工大学学报》
CAS
1998
2
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