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激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究
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作者 陈海峰 曹宇 +6 位作者 李祥友 蔡志祥 王小宝 王少飞 李金洪 曾晓雁 陈弘达 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期210-214,共5页
利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)——目前研究细胞电生理的常用工具之一,在电极阵列背面利用微笔直写技术直接“写”上加温和热敏电阻,完成了微电极阵列、电热器件和热敏... 利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)——目前研究细胞电生理的常用工具之一,在电极阵列背面利用微笔直写技术直接“写”上加温和热敏电阻,完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造。随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试,并在其上培养神经细胞。结果表明:激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关;电极和微加热器性能基本满足使用需求,但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响。今后将更换电子浆料材料,提高生物相容性。 展开更多
关键词 微电极阵列(MEA) 激光微细电子(lmcep)技术 微笔直写技术
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