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界面层对激光减反膜的影响研究
被引量：
7
1
作者
季一勤
刘华松
+7 位作者
王占山
陈德应
樊荣伟
姜玉刚
洪伟
刘丹丹
吴志新
王日
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011年第10期2003-2007,2027,共6页
激光技术的发展对减反膜提出了超高透过率的要求,基板的表面特征在高精度减反膜的设计与制造中不可忽略。选择熔融石英为基板,Ta2O5和SiO2为高低折射率膜层材料,针对在0°入射角下工作的532 nm激光减反膜进行设计与分析,得到膜层内...
激光技术的发展对减反膜提出了超高透过率的要求,基板的表面特征在高精度减反膜的设计与制造中不可忽略。选择熔融石英为基板,Ta2O5和SiO2为高低折射率膜层材料,针对在0°入射角下工作的532 nm激光减反膜进行设计与分析,得到膜层内的电场分布。在模拟计算中将基板的表面粗糙度等效为等比例混合膜,计算分析了理想设计条件下不同厚度界面层的V型减反膜,得到透过率与界面粗糙度的数值函数关系,最后利用数值优化的方法对理想设计进行修正,得到了存在界面层的减反膜修正结果,研究结果有助于实现超高透过率短波长激光减反膜的设计与制备。
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关键词
激光减反膜
界面层
表面粗糙度
修正设计
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职称材料
具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计
2
作者
刘华松
刘杰
+3 位作者
王利栓
姜玉刚
冷健
季一勤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第10期2737-2741,共5页
光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于...
光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于椭圆偏振仪测量基底表面的椭偏光谱,反演计算出SSD的物理厚度和折射率梯度。通过计算得到了亚表面的深度和梯度对激光减反膜反射率光谱的影响,证明了亚表面深度对反射率的影响具有周期效应。在考虑亚表面损伤层的深度和梯度存在的基础上,对激光减反膜的设计进行了理论修正,数值实验结果证明通过膜系的修正可以实现633 nm处的零反射。
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关键词
激光减反膜
亚表面损伤层
椭偏光谱
折射率梯度
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职称材料
题名
界面层对激光减反膜的影响研究
被引量：
7
1
作者
季一勤
刘华松
王占山
陈德应
樊荣伟
姜玉刚
洪伟
刘丹丹
吴志新
王日
机构
哈尔滨工业大学可调谐激光技术国防科技重点实验室
天津市薄膜光学重点实验室
同济大学精密光学工程技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011年第10期2003-2007,2027,共6页
基金
天津市科委项目(10JCYBJC01500)
文摘
激光技术的发展对减反膜提出了超高透过率的要求,基板的表面特征在高精度减反膜的设计与制造中不可忽略。选择熔融石英为基板,Ta2O5和SiO2为高低折射率膜层材料,针对在0°入射角下工作的532 nm激光减反膜进行设计与分析,得到膜层内的电场分布。在模拟计算中将基板的表面粗糙度等效为等比例混合膜,计算分析了理想设计条件下不同厚度界面层的V型减反膜,得到透过率与界面粗糙度的数值函数关系,最后利用数值优化的方法对理想设计进行修正,得到了存在界面层的减反膜修正结果,研究结果有助于实现超高透过率短波长激光减反膜的设计与制备。
关键词
激光减反膜
界面层
表面粗糙度
修正设计
Keywords
antireflection coating
interface layer
surface roughness
modified design
分类号
O432 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计
2
作者
刘华松
刘杰
王利栓
姜玉刚
冷健
季一勤
机构
天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室袁天津
中国人民解放军驻中国空军导弹研究院军事代表室袁河南洛阳
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013年第10期2737-2741,共5页
基金
国家自然科学基金(61235011)
天津市科委项目(10JCYBJC01500,12JCQNIC01200)
文摘
光学材料的亚表面损伤层(SSD)是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化,尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性,并借助于椭圆偏振仪测量基底表面的椭偏光谱,反演计算出SSD的物理厚度和折射率梯度。通过计算得到了亚表面的深度和梯度对激光减反膜反射率光谱的影响,证明了亚表面深度对反射率的影响具有周期效应。在考虑亚表面损伤层的深度和梯度存在的基础上,对激光减反膜的设计进行了理论修正,数值实验结果证明通过膜系的修正可以实现633 nm处的零反射。
关键词
激光减反膜
亚表面损伤层
椭偏光谱
折射率梯度
Keywords
antireflection coating
subsurface damage
spectroscopic ellipsometry
refractive index gradient
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
界面层对激光减反膜的影响研究
季一勤
刘华松
王占山
陈德应
樊荣伟
姜玉刚
洪伟
刘丹丹
吴志新
王日
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2011
7
在线阅读
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职称材料
2
具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计
刘华松
刘杰
王利栓
姜玉刚
冷健
季一勤
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2013
0
在线阅读
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职称材料
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