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基于PSD的长跨度孔系同轴度误差测量系统
被引量：
10
1
作者
余厚云
赵转萍
陆永华
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第2期70-73,共4页
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激...
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激光自准直数学模型,根据该模型由四自由度工作台调整激光器位置,实现了激光自准直。使用本测量系统完成了激光自准直实验和孔系同轴度误差测量实验。实验结果表明:经准直后激光束与工件两端孔中心连线之间的偏差在±0.032 mm以内,与三坐标测量机相比,本系统同轴度误差测量的相对误差为8%,具备了较高的准直精度和同轴度误差测量精度。
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关键词
长跨度孔系
同轴度误差
位置
敏感探测器
激光
自准直
激光光斑位置检测
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职称材料
题名
基于PSD的长跨度孔系同轴度误差测量系统
被引量：
10
1
作者
余厚云
赵转萍
陆永华
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013年第2期70-73,共4页
基金
沈阳飞机工业(集团)有限公司合作项目(101130192)
文摘
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激光自准直数学模型,根据该模型由四自由度工作台调整激光器位置,实现了激光自准直。使用本测量系统完成了激光自准直实验和孔系同轴度误差测量实验。实验结果表明:经准直后激光束与工件两端孔中心连线之间的偏差在±0.032 mm以内,与三坐标测量机相比,本系统同轴度误差测量的相对误差为8%,具备了较高的准直精度和同轴度误差测量精度。
关键词
长跨度孔系
同轴度误差
位置
敏感探测器
激光
自准直
激光光斑位置检测
Keywords
long-span holes
coaxiality error
position sensitive detector（PSD）
laser self collimation
laser spot position detection
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于PSD的长跨度孔系同轴度误差测量系统
余厚云
赵转萍
陆永华
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2013
10
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