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角位移传感器膜电阻全自动激光修刻系统试验研究 被引量:1
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作者 俞志根 《机床与液压》 北大核心 2016年第20期36-39,47,共5页
导电塑料角位移传感器中的膜电阻是其核心结构,直接影响传感器的各种输出性能,必须依靠修刻才能满足要求。激光修刻技术是近几年出现的膜电阻修刻新技术,利用了激光微加工精准、非接触并快速的优势,能达到非常高的修刻精度和效率。激光... 导电塑料角位移传感器中的膜电阻是其核心结构,直接影响传感器的各种输出性能,必须依靠修刻才能满足要求。激光修刻技术是近几年出现的膜电阻修刻新技术,利用了激光微加工精准、非接触并快速的优势,能达到非常高的修刻精度和效率。激光修刻系统主要由带自动调焦激光器、工件自动装卸机构、回转修刻台、阻值在线检测电路和工控机等组成。膜电阻修刻算法是实现快速高精度修刻的关键,依据离散逼近修正理论,通过采用反馈电压算法实现系统的自动修刻控制,试验结果表明:激光修刻系统能达到0.1%的电阻修刻精度和3 min/个的修刻速度。 展开更多
关键词 角位移传感器 膜电阻 激光修刻系统 离散逼近正理论 反馈电压算法
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