纳秒激光与水射流耦合加工实验研究 被引量：2

1

作者 李靖怡 王扬 +2 位作者 程柏 李元 杨立军 《电加工与模具》 2020年第S01期53-57,共5页

采用了纳秒激光与水射流耦合加工技术,使用不同的激光特性参数及水射流参数对304不锈钢、碳化硅、硅晶圆进行划槽实验,都获得了较好的加工质量,验证了纳秒激光与水射流耦合能束蚀除材料的优越性。

关键词 激光与水射流耦合加工 纳秒激光 划槽

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低压水射流辅助激光刻蚀加工多晶硅工艺参数的优化 被引量：1

2

作者 陈雪辉 张相炎 +2 位作者 张崇天 袁根福 张程 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2016年第10期30-33,69,共5页

利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光... 利用低压水射流辅助激光刻蚀加工技术对多晶硅进行刻蚀加工,通过正交试验分析了激光脉宽、频率、输入电流和水射流速度对加工表面质量的影响,得到了最终优化工艺参数。结果表明:最终优化工艺参数为低压水射流速度24m·s^(-1)、激光脉宽1.1ms、频率40Hz、电流180A,此时槽体截面锥度、表面粗糙度、截面深度分别为1.2°,2.63μm,1.88mm,槽体表面质量较好,边缘无开裂、无熔渣、无重铸层等缺陷。 展开更多

关键词 低压水射流辅助激光加工 刻蚀加工 多晶硅 工艺参数优化

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水辅助矢量激光表面加工特性的实验研究

3

作者 许佳康 王吉明 +1 位作者 欧盛美 王建磊 《激光技术》 北大核心 2025年第4期501-506,共6页

为了研究水辅助下调控矢量光场在硅片表面的加工特性,搭建了调控纳秒矢量激光水辅助表面加工系统。采用Nd:YAG脉冲调Q激光器,对厚度为3 mm的单晶硅进行激光打孔实验,在静水和水射流辅助下,对矢量激光的脉冲次数、光束的偏振态、拓扑荷... 为了研究水辅助下调控矢量光场在硅片表面的加工特性,搭建了调控纳秒矢量激光水辅助表面加工系统。采用Nd:YAG脉冲调Q激光器,对厚度为3 mm的单晶硅进行激光打孔实验,在静水和水射流辅助下,对矢量激光的脉冲次数、光束的偏振态、拓扑荷数以及水流流量对单晶硅表面加工的影响进行了系统研究。结果表明,在水辅助的情况下,热影响区和重铸层的影响基本消失,矢量光束相较于线偏振光,在高脉冲次数下会获得更大孔径;高拓扑荷数的广义柱矢量偏振光与径向和角向偏振光相比,打孔更为光滑;在水射流辅助的情况下,当水流流量超过0.8 L/min时,激光加工的孔的圆对称性会有所破坏,广义柱矢量偏振光相较于径向与角向偏振光能够更好保持孔的圆对称性。将水辅助与矢量激光相结合,可以完成更多精密加工的工作,在工业加工中具有实际应用的价值。 展开更多

关键词 激光技术 矢量光场 表面加工 水射流

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环形激光与管电极电解复合加工多能场耦合分析与实验研究

4

作者 许永波 谢万达 +3 位作者 陈珂 于子翔 杨立军 丁烨 《电加工与模具》 北大核心 2024年第6期59-66,共8页

为解决高效加工无缺陷大深径比微小孔的难题,提出一种将光、电、液分离传输式的环形激光与管电极电解复合加工技术,并通过Zemax和有限元法研究环形激光的形成与传输、多能场耦合及其与材料相互作用机制。结果表明:采用圆锥棱镜与聚焦镜... 为解决高效加工无缺陷大深径比微小孔的难题,提出一种将光、电、液分离传输式的环形激光与管电极电解复合加工技术,并通过Zemax和有限元法研究环形激光的形成与传输、多能场耦合及其与材料相互作用机制。结果表明:采用圆锥棱镜与聚焦镜汇组合方式可获得实验所需环形激光光斑;工件表面温度与电解液温度随着脉冲激光和脉冲电压的增大而快速升高,使得电流密度增大,材料定域去除能力和去除效率显著提高。 展开更多

关键词 管电极电解加工 激光加工 多物理场耦合 环形激光

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氮化硅陶瓷水射流辅助激光精密加工 被引量：10

5

作者 姚燕生 陈庆波 +2 位作者 汪俊 陈雪辉 袁根福 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期2723-2731,共9页

为解决工程陶瓷在激光加工中的表面质量问题提出了溶液辅助激光加工方法,首先在综合国内外有关研究的基础上,分析了激光穿越水层的能量传输、激光作用水下固体物质的热传导和静水及水射流辅助激光加工的作用机理;搭建了旁轴射流与超声... 为解决工程陶瓷在激光加工中的表面质量问题提出了溶液辅助激光加工方法,首先在综合国内外有关研究的基础上,分析了激光穿越水层的能量传输、激光作用水下固体物质的热传导和静水及水射流辅助激光加工的作用机理;搭建了旁轴射流与超声振动辅助激光复合加工系统,开展了不同加工条件下氮化硅陶瓷刻槽对比试验。借助扫描电子显微镜检测分析激光刻蚀槽体形貌,运用激光共聚焦显微镜观测了槽体截面轮廓。研究表明,水射流辅助激光加工氮化硅陶瓷,因激光穿越水层、水的对流冷却等作用减少了激光烧蚀材料的有效能量,刻蚀深度有所降低;同时由于水层的存在改变了加工区域能量分布,使得槽口变宽。当激光电流200A、频率50Hz、脉宽0.6ms时刻槽深度相对减小30%,宽度增大21%。水与氮化硅在激光作用下的会发生水解等效应,且水蒸汽、材料蒸汽、熔融粒子、气泡等沿水流动方向被带走,有利于表面质量的提高,综合效果良好。 展开更多

关键词 水射流辅助激光加工 表面质量 试验研究 氮化硅

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同轴水射流辅助激光加工效率及锥度实验研究

6

作者 王玉峰 王斌 +1 位作者 张广义 张文武 《电加工与模具》 2018年第3期35-38,共4页

对液体环境条件下的同轴水射流辅助激光加工技术及其加工机理进行了初步研究,并建立了加工实验装置,分别研究了加工效率和加工锥度随激光能量、水射流流速、喷口与工件间隙的变化规律。实验结果表明:同轴水射流辅助激光加工效率随着激... 对液体环境条件下的同轴水射流辅助激光加工技术及其加工机理进行了初步研究,并建立了加工实验装置,分别研究了加工效率和加工锥度随激光能量、水射流流速、喷口与工件间隙的变化规律。实验结果表明:同轴水射流辅助激光加工效率随着激光能量、水射流流速的增加而提高,当喷口与工件间隙约为3 mm时加工效率较高;加工微孔的锥度随着激光能量、水射流流速的增加而减小、随着喷口与工件间隙的增加而增大,当间隙大于5 mm时锥度基本保持不变。最终,利用优化的工艺参数,加工出锥度约为2°且无热影响层、再铸层和微裂纹的表面完整性好的微孔。 展开更多

关键词 激光加工 同轴水射流 加工效率 锥度 热影响层

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水导激光微细加工中激光与水束光纤耦合技术 被引量：16

7

作者 李灵 杨立军 +2 位作者 王扬 刘备 王哲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1614-1621,共8页

为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据... 为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据计算结果,采用激光烧斑法来确定会聚透镜与水束光纤起始端(喷嘴孔)的距离;研究了激光在水束光纤中发生全反射的最大入射角;通过流体动力学仿真,设计了腔内流场分布均匀的耦合装置,保证了直径0.12 mm的水束光纤的高耦合品质;研究了激光能量在水束光纤中的衰减,采用特定波长和脉冲能量的激光和特殊过滤的去离子水来减小激光能量在水束光纤中耦合的损耗率。实验结果表明,水束光纤导光长度超过100 mm;采用该耦合技术能够在0.2 mm厚的硅基晶片上以2 mm/s速度切割出缝宽为0.12 mm的均匀窄缝,且几乎无裂纹、无热影响区。该耦合技术能够很好地满足水导激光微细加工的要求。 展开更多

关键词 水导激光 激光微细加工 全反射 激光耦合 光纤耦合 仿真

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激光加工用5kW光纤耦合半导体激光器 被引量：27

8

作者 刘友强 曹银花 +5 位作者 李景 邱运涛 秦文斌 王智勇 王大勇 杨光辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1279-1287,共9页

针对国内大功率半导体激光光纤耦合存在的问题,设计了光纤耦合聚焦系统,研制了5kW光纤耦合半导体激光器。比较了常见圆光斑光纤耦合与半导体激光方光斑光纤耦合的区别;对国产阵列型半导体激光堆栈,采用光束质量均匀化、偏振合束、多波... 针对国内大功率半导体激光光纤耦合存在的问题,设计了光纤耦合聚焦系统,研制了5kW光纤耦合半导体激光器。比较了常见圆光斑光纤耦合与半导体激光方光斑光纤耦合的区别;对国产阵列型半导体激光堆栈,采用光束质量均匀化、偏振合束、多波长合束多路耦合等方式增加能量,将激光耦合进芯径为800μm,数值孔径(NA)为0.2的传能光纤中,实现了光纤耦合半导体激光输出光功率5 109W,光纤耦合效率85.69%,系统整体电光转换效率49.48%;在聚焦镜焦距为250mm时其激光功率密度达到2×105 W/cm2,可以用于金属的表面重熔、合金化、熔覆和焊接等领域。该激光器除了传能光纤外,其余部件均为为国产和自主研发,对我国国产高功率光纤耦合半导体激光器的开发具有重要的推动作用。 展开更多

关键词 激光加工 半导体激光器 光纤耦合 激光焊接 激光熔覆

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基于偏振复用技术的半导体激光加工光纤耦合模块 被引量：15

9

作者 朱洪波 李艳华 +4 位作者 郝明明 刘云 秦莉 宁永强 王立军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1137-1143,共7页

与半导体激光Bar条相比,单管半导体激光器具有光束质量好,寿命长等优点,但由于其输出功率小,故在激光加工等领域的应用受到限制。为提高单管半导体激光器的输出功率,提出了基于偏振复用技术对多个单管半导体激光器进行光纤耦合的方法。... 与半导体激光Bar条相比,单管半导体激光器具有光束质量好,寿命长等优点,但由于其输出功率小,故在激光加工等领域的应用受到限制。为提高单管半导体激光器的输出功率,提出了基于偏振复用技术对多个单管半导体激光器进行光纤耦合的方法。首先,将16只808nm单管半导体激光器分成两个单元,通过空间合束将每个单元上的激光器发出的光合成一路;然后,利用偏振复用技术将两个单元发出的光束再次合束,通过自行设计的聚焦系统将合束后的光束耦合进光纤实现光纤输出,从而提高了半导体激光器光纤耦合模块的功率水平。实验显示,当工作电流为5.8A时,通过芯径为200μm、数值孔径(NA)为0.2的光纤的输出功率为67 W,耦合效率达到84%。此模块在功率和光束质量方面满足激光塑料焊接等应用的要求。 展开更多

关键词 单管半导体激光器 偏振合束 光纤耦合 激光加工

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适用于金属薄板焊接的柔性光纤耦合半导体激光加工光源(英文) 被引量：15

10

作者 张俊 彭航宇 +2 位作者 刘云 秦莉 王立军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期895-900,共6页

研制了一种单光纤耦合的柔性半导体激光加工光源,该光源由20个传导热沉封装的激光列阵以线阵合束方式耦合而成,在大通道工业水冷条件下,从600μm芯径、NA为0.2的光纤中连续输出907 W功率,输出光束质量为47 mm·mrad,最终达到工件表... 研制了一种单光纤耦合的柔性半导体激光加工光源,该光源由20个传导热沉封装的激光列阵以线阵合束方式耦合而成,在大通道工业水冷条件下,从600μm芯径、NA为0.2的光纤中连续输出907 W功率,输出光束质量为47 mm·mrad,最终达到工件表面的功率密度为3.21×105W/cm2,最大插头效率达39%。该激光光源具有直接应用在金属薄板焊接的潜力。 展开更多

关键词 半导体激光 线阵合束 光纤耦合 柔性加工光源

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飞秒激光微细加工中光耦合器参数的数值模拟 被引量：6

11

作者 倪晓昌 王清月 胡明列 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期161-164,共4页

用有限差分迭代求解光束传输方程,对 1×2(Y型 )耦合器和 2×2(X型 )耦合器分路的夹角大小对分路中光束分配比例的影响进行了模拟研究 模拟结果显示:耦合器夹角控制在一定的范围内,对分路中光束能量分配影响不大; 2×2耦... 用有限差分迭代求解光束传输方程,对 1×2(Y型 )耦合器和 2×2(X型 )耦合器分路的夹角大小对分路中光束分配比例的影响进行了模拟研究 模拟结果显示:耦合器夹角控制在一定的范围内,对分路中光束能量分配影响不大; 2×2耦合器对分路夹角以及波导宽度的变化敏感 为飞秒激光加工光纤无源器件的可行性做了理论上的分析. 展开更多

关键词 飞秒激光加工 光纤通信 光束耦合器 光束传输法

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基于偏振耦合的千瓦级半导体激光加工系统 被引量：1

12

作者 尧舜 曹银花 +3 位作者 丁鹏 苏国强 张辉 王智勇 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期58-59,共2页

根据商用大功率半导体激光堆的偏振性和慢轴远场特性,结合商用光学设计软件ZEMAX将两个600W的半导体激光堆利用Glan-Taylor棱镜进行偏振耦合并准直聚焦输出配以自制加工头获得激光加工系统。系统输出功率大于1000W,在焦距100mm处光斑大... 根据商用大功率半导体激光堆的偏振性和慢轴远场特性,结合商用光学设计软件ZEMAX将两个600W的半导体激光堆利用Glan-Taylor棱镜进行偏振耦合并准直聚焦输出配以自制加工头获得激光加工系统。系统输出功率大于1000W,在焦距100mm处光斑大小约为1mm×6mm(能量大于95%),平均能量密度大于1.6×104W/cm2。利用该激光系统对U74钢轨的表面以1050mm/min进行扫描,获得表面相变硬化层深度约为0.25mm,表面硬度从250 HV10/20提高到800HVl0/20至900HV10/20。 展开更多

关键词 半导体激光器 偏振耦合 激光加工 表面处理

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淹没水射流式贝肉清洗装置设计与试验

13

作者 王杰群 李明智 +2 位作者 刘鹰 刘永睿 卢宏博 《渔业现代化》 CSCD 北大核心 2024年第3期98-112,共15页

随着贝类预制菜产业的发展,基于贝肉的精加工预制食品逐渐在市场上推广,虽然市场上清洗装置品类较多,但是尚未有适合各类贝肉产品清洗的装备,存在清洗效率低、洗净率差和易破损等问题。本研究基于淹没水射流机理,设计了以淹没水射流为... 随着贝类预制菜产业的发展,基于贝肉的精加工预制食品逐渐在市场上推广,虽然市场上清洗装置品类较多,但是尚未有适合各类贝肉产品清洗的装备,存在清洗效率低、洗净率差和易破损等问题。本研究基于淹没水射流机理,设计了以淹没水射流为清洗动力的贝肉清洗装置,并对清洗装置进行Fluent-EDEM耦合数值模拟,确定清洗装置的关键结构参数范围。通过2个阶段试验论证了该清洗装置的合理性,第1阶段通过清洗正交试验得出,当射流口直径为10 mm,清洗量为14 kg,清洗时间为6 min,淹没水射流式清洗效果最佳;第2阶段进行了生产性对比试验,并以洗净率和破损率作为评价指标,对比3种清洗装置洗净率。结果显示:以扇贝裙边为清洗对象时,淹没水射流式清洗装置的平均洗净率为97.77%,且无破损现象,较螺旋桨式清洗装置洗净率提高了14.4%,较超声波式清洗装置洗净率提高了7.3%;以鸟蛤肉为清洗对象时,淹没水射流式清洗装置的平均洗净率为98.23%,较螺旋桨式清洗装置的洗净率提高了12.49%,较超声波式清洗装置洗净率提高了6.7%,且无破损情况。研究表明,淹没水射流式装置具有较好的清洗效果,具备产业化推广价值。 展开更多

关键词 贝肉清洗 淹没水射流 水产品加工 Fluent-EDEM 流固耦合

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微机械振动陀螺模态耦合误差分析与激光修形方法研究 被引量：8

14

作者 贺琨 崔红娟 +3 位作者 侯占强 刘学 肖定邦 吴学忠 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第3期21-24,共4页

较大的模态耦合误差严重影响陀螺仪的零偏稳定性。研究了一种微机械振动陀螺仪的模态耦合误差形成机理,仿真分析了结构加工误差对模态耦合误差的影响规律。仿真结果表明:振动结构支撑梁上的加工误差是引起结构刚度不对称并产生模态耦合... 较大的模态耦合误差严重影响陀螺仪的零偏稳定性。研究了一种微机械振动陀螺仪的模态耦合误差形成机理,仿真分析了结构加工误差对模态耦合误差的影响规律。仿真结果表明:振动结构支撑梁上的加工误差是引起结构刚度不对称并产生模态耦合误差的主要因素,在与该加工误差对称的位置去除相应的材料可以减小甚至消除模态耦合误差。采用紫外激光微细加工技术,对微陀螺样机进行了结构平衡实验,激光修形后在没有输入角速度时,微陀螺样机模态耦合误差信号的峰峰值从2.88 V降低到0.24 V,取得了明显的修形效果。 展开更多

关键词 微机械振动陀螺 模态耦合 激光修形 加工误差

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水辅助激光微细加工技术进展 被引量：4

15

作者 郭兵 刘文超 +2 位作者 赵清亮 SATA Habib AMR Monier 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期11-19,共9页

介绍了水辅助激光加工技术的研究现状,系统总结了水辅助激光加工技术的产生原因以及包含的主要技术内容.针对每种水辅助激光加工技术,详细介绍了国内外研究者在理论与实验方面的主要研究成果,并对不同水辅助激光加工技术之间的技术差异... 介绍了水辅助激光加工技术的研究现状,系统总结了水辅助激光加工技术的产生原因以及包含的主要技术内容.针对每种水辅助激光加工技术,详细介绍了国内外研究者在理论与实验方面的主要研究成果,并对不同水辅助激光加工技术之间的技术差异和适用范围进行了论述.水辅助激光微细加工技术在解决激光加工热损伤导致的精度损失、效率降低等方面具有明显的效果,各种形式的水辅助装置以及组合技术也为类似工程问题解决方案的拟定提供了参考价值. 展开更多

关键词 激光加工技术 水辅助 水导激光 水射流辅助 喷雾辅助

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金属材料水导激光加工实验研究 被引量：5

16

作者 曹治赫 乔红超 赵吉宾 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期68-74,共7页

金属材料的激光加工目前正向着低表面粗糙度、小热影响区及大深径比结构的趋势发展。新近发展了一种基于激光-水射流耦合原理的水导激光加工技术,本文阐述了水导激光加工技术的基本原理及其相对于传统激光加工方法的优势,基于激光-水射... 金属材料的激光加工目前正向着低表面粗糙度、小热影响区及大深径比结构的趋势发展。新近发展了一种基于激光-水射流耦合原理的水导激光加工技术,本文阐述了水导激光加工技术的基本原理及其相对于传统激光加工方法的优势,基于激光-水射流耦合原理构建了一套水导激光加工设备,对多种金属材料进行了水导激光加工实验。利用超景深显微镜对加工工件表面进行了观测与分析,发现两种金属材料加工得到的盲孔边缘规则圆滑,切槽的边缘平直无毛刺,没有热影响区。实验结果说明对金属材料的水导激光精密加工具有可行性且有重要的应用价值。 展开更多

关键词 水导激光 耦合技术 激光加工 表面质量

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飞秒激光烧蚀齿曲面的复耦合模型及形貌影响 被引量：1

17

作者 明兴祖 李学坤 +4 位作者 米承继 何国旗 周贤 黎超 明瑞 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期10-21,共12页

针对飞秒激光烧蚀齿曲面过程中能量累积效应与变离焦效应对齿面形貌与烧蚀尺寸的影响问题,建立飞秒激光烧蚀复耦合模型,通过有限差分法求解得到激光烧蚀面齿轮材料18Cr2Ni4WA的电子与晶格在不同的脉宽与能量密度下的温度变化分布,对烧... 针对飞秒激光烧蚀齿曲面过程中能量累积效应与变离焦效应对齿面形貌与烧蚀尺寸的影响问题,建立飞秒激光烧蚀复耦合模型,通过有限差分法求解得到激光烧蚀面齿轮材料18Cr2Ni4WA的电子与晶格在不同的脉宽与能量密度下的温度变化分布,对烧蚀凹坑的深度及半径进行仿真。考虑激光束在加工齿面时,与被加工齿面之间存在倾斜角,根据光斑能量分布方式得到齿面底角与激光能量的定量关系,结合焦半径与折射率的变化,对飞秒激光烧蚀齿面深度、半径与形貌进行研究。通过实验得到当激光能量密度为1.783 J/cm^(2)且被加工齿面底角过大时,激光能量降低烧蚀过程只发生在材料表面;当能量密度为2.376 J/cm^(2)、激光脉冲数为3000时,烧蚀凹坑的微结构细密良好。研究结果表明飞秒激光烧蚀曲面时,激光有效能量随着倾斜角的变化降低,同时激光光斑的能量分布影响了烧蚀凹坑深度的变化,可为提高飞秒激光加工齿曲面质量提供参考。 展开更多

关键词 飞秒激光 能量累积 变离焦量 复耦合模型 曲面加工 18CR2NI4WA 激光烧蚀 齿面形貌

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高功率蓝光半导体激光加工光源

18

作者 张继业 王靖博 +6 位作者 张俊 彭航宇 陈磊 杨莹 王峙皓 张春林 王立军 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期1308-1314,共7页

针对目前铜、金等金属材料加工的实际应用需求,开展了连续输出功率500 W的光纤耦合输出蓝光半导体激光加工光源研究。基于平面窗口TO封装的蓝光半导体激光单管器件,设计采用长后工作距的快轴准直镜和慢轴准直镜分别准直,获得低发散角、... 针对目前铜、金等金属材料加工的实际应用需求,开展了连续输出功率500 W的光纤耦合输出蓝光半导体激光加工光源研究。基于平面窗口TO封装的蓝光半导体激光单管器件,设计采用长后工作距的快轴准直镜和慢轴准直镜分别准直,获得低发散角、高光束质量的单元准直光束;结合二维空间合束、偏振合束和光纤耦合,将144个蓝光单管器件耦合进200μm/NA 0.22光纤,通过ZEMAX软件对半导体激光光路进行光线追踪模拟;并从实验上实现,3 A电流驱动下,200μm/NA 0.22光纤输出连续功率523 W,电光转换效率29%。该激光光源具有直接加工铜、金等材料的能力。 展开更多

关键词 蓝光半导体激光器 光纤耦合 激光合束 激光加工

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特种加工技术的最新进展和研究热点 被引量：6

19

作者 管琪明 郭锐 赵万生 《电加工与模具》 2005年第3期14-18,共5页

综述了特种加工技术的最新进展,简要介绍了电火花加工、电化学加工、激光加工、电子束加工、水射流加工和快速成形的研究现状,指出特种加工技术的微细化、复合化和自动化等内容是当前的研究热点。

关键词 特种加工技术 研究热点 电火花加工 电化学加工 水射流加工 激光加工 研究现状 快速成形 微细化 自动化 复合化

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陶瓷基复合材料不同加工工艺的表面形貌分析研究 被引量：21

20

作者 焦健 王宇 +4 位作者 邱海鹏 陈明伟 李秀倩 高淑雅 张文武 《航空制造技术》 北大核心 2014年第6期89-92,共4页

主要对比分析了机械加工、高压水射流加工、激光加工的3种不同加工工艺对SiCf/SiC复合材料表面形貌的影响。结果显示机械加工与高压水射流加工表面孔洞和微裂纹均较多,水切割表面呈现出纤维拔出状态;空气环境中激光加工的表面平整,出现... 主要对比分析了机械加工、高压水射流加工、激光加工的3种不同加工工艺对SiCf/SiC复合材料表面形貌的影响。结果显示机械加工与高压水射流加工表面孔洞和微裂纹均较多,水切割表面呈现出纤维拔出状态;空气环境中激光加工的表面平整,出现了封孔特征,孔洞和微裂纹数量少,氮气环境中激光加工的表面形貌生长了一层SiC晶粒,可起到愈合表面孔洞和微裂纹的作用。 展开更多

关键词 机械加工 水射流加工 激光加工 表面 形貌

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