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热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响
被引量：
2
1
作者
穆健刚
张凤戈
+4 位作者
李建奎
梁俊才
王铁军
周武平
赵栋梁
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期1267-1271,共5页
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-T...
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。
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关键词
铁
磁
性靶材
磁
记录
热处理
漏磁率
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职称材料
题名
热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响
被引量：
2
1
作者
穆健刚
张凤戈
李建奎
梁俊才
王铁军
周武平
赵栋梁
机构
钢铁研究总院
安泰科技股份有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期1267-1271,共5页
文摘
基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{1 2 10}和{10 10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间。Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{1 2 10}和{10 10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因。
关键词
铁
磁
性靶材
磁
记录
热处理
漏磁率
Keywords
Ferromagnetic target
Magnetic record
Heat treatment
Pass through flux
分类号
TG156.31 [金属学及工艺—热处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响
穆健刚
张凤戈
李建奎
梁俊才
王铁军
周武平
赵栋梁
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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