期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法
被引量：
1
1
作者
程霞
陈志强
+3 位作者
方嬿
花雨
金炯
王旭迪
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期139-144,共6页
本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成。在测量系统中,流经传感元件的气流处于分子流状态,通...
本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成。在测量系统中,流经传感元件的气流处于分子流状态,通过测量传感元件两端的差压,计算质量流量,可以得到真空腔体的整体漏率。实验中对多个真空腔体漏率的测量结果表明,该方法可以实现对10^(-5)-10^(-3) Pa·m^(3)/s量级真空腔体漏率的准确测量。除去本底漏率之后,测量结果与理论结果高度拟合,测量结果显示最小偏差为0.05%,最大仅为0.62%。且通过改变分子流传感元件流导值和差压变送器量程可以进一步扩展该方法可测真空腔体整体漏率范围。
展开更多
关键词
分子流
整体
漏率测量
质量流量
流量守恒
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
被引量：
2
2
作者
王魁波
罗艳
吴晓斌
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期491-496,共6页
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封...
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封件的漏率。研制了一套密封件的漏率测量装置,装置极限真空可达10^(-7)Pa量级,漏率测量范围为:10^(-7)-10^(-14)Pa·m~3/s,可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试。采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试。结果表明:动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大,低于10^(-11)Pa·m~3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试。
展开更多
关键词
漏率测量
比对法
标准
漏
孔
四极质谱仪
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法
被引量：
1
1
作者
程霞
陈志强
方嬿
花雨
金炯
王旭迪
机构
合肥工业大学
北京卫星环境工程研究所
浙江赛威科光电科技有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期139-144,共6页
文摘
本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成。在测量系统中,流经传感元件的气流处于分子流状态,通过测量传感元件两端的差压,计算质量流量,可以得到真空腔体的整体漏率。实验中对多个真空腔体漏率的测量结果表明,该方法可以实现对10^(-5)-10^(-3) Pa·m^(3)/s量级真空腔体漏率的准确测量。除去本底漏率之后,测量结果与理论结果高度拟合,测量结果显示最小偏差为0.05%,最大仅为0.62%。且通过改变分子流传感元件流导值和差压变送器量程可以进一步扩展该方法可测真空腔体整体漏率范围。
关键词
分子流
整体
漏率测量
质量流量
流量守恒
Keywords
Molecular flow
Overall leak rate measurement
Mass flow
Conservation of flow
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
被引量：
2
2
作者
王魁波
罗艳
吴晓斌
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期491-496,共6页
基金
国家自然科学基金项目(62071464)。
文摘
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封件的漏率。研制了一套密封件的漏率测量装置,装置极限真空可达10^(-7)Pa量级,漏率测量范围为:10^(-7)-10^(-14)Pa·m~3/s,可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试。采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试。结果表明:动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大,低于10^(-11)Pa·m~3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试。
关键词
漏率测量
比对法
标准
漏
孔
四极质谱仪
Keywords
Leak rate measurement
Comparison method
Standard leak
Quadrupole mass spectrometer
分类号
TB74 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法
程霞
陈志强
方嬿
花雨
金炯
王旭迪
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
王魁波
罗艳
吴晓斌
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
